非垂直自动聚焦系统以及相应的光学仪器技术方案

本公开的各实施例涉及一种非垂直式自动聚焦系统以及相应的光学仪器，该非垂直式自动聚焦系统包括光源；入射模块,被配置为接收从所述光源发射的光，并且将所接收的光聚焦到样品上；出射模块，被配置为接收从所述样品反射的光，并且将所接收的光聚焦到光探测器的靶面上；以及光探测器，被配置为将聚焦于所述靶面的光信号转换电信号，并且用于计算处理，以自动计算并确定出所述入射模块的焦点位置的信息；其中，从所述入射模块到所述样品的入射光路和从所述样品到所述出射模块的出射光路与所述样品的表面法线的夹角均不等于零。本公开的非垂直式自动聚焦系统有利地扩展了现有光学仪器的设计空间，并且实现了透明样品的准确聚焦。聚焦。聚焦。

【技术实现步骤摘要】
非垂直自动聚焦系统以及相应的光学仪器
[0001]本申请是于申请日2016年10月09日提交的、申请号为201610880380.1、专利技术名称为“非垂直自动聚焦系统以及相应的光学仪器”的分案申请。


[0002]本专利技术的各实施例涉及光学领域，更具体地涉及一种非垂直自动聚焦系统以及相应的光学仪器，其中光学仪器特别地包括光谱椭偏仪(Spectroscopic Ellipsometry,SE)。

技术介绍

[0003]作为包括聚焦系统的光学仪器的示例，光谱椭偏仪是一种用于检测薄膜厚度、光学常数(折射率n,消光系数k)以及材料微结构的光学测量设备。由于具有无损、非接触、不需要真空、无需参照样品等特点，使得光谱椭偏仪在半导体芯片制造、光学镀膜和材料分析等领域都有广泛应用。
[0004]为了缩短检测时间，光谱椭偏仪都带有一套自动聚焦(Auto Focus,AF)系统实现样品的快速定位。自动聚焦系统是一种将力、热、光、电或声等信号转化为电信号进行处理后自动计算并确定出焦点位置的系统。用于光谱椭偏仪的自动聚焦系统一般都采用反射式光路系统，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非垂直式自动聚焦系统，其特征在于，包括：光源(10)；入射模块(20),被配置为接收从所述光源发射的光，并且将所接收的光聚焦到样品(S)上；出射模块(30)，被配置为接收从所述样品反射的光，并且将所接收的光聚焦到光探测器(40)的靶面上；所述光探测器(40)，被配置为将聚焦于所述靶面的光信号转换电信号，并且当所述光探测器为四象限探测器时，所述四象限探测器基于所述四象限探测器的靶面上的光强分布来确定出所述入射模块的焦点位置的信息，或者当所述光探测器为位置探测器时，所述位置探测器基于其靶面上的光点偏离靶面正中位置的距离来确定出所述入射模块的焦点位置的信息；以及驱动单元，被配置为根据所述光探测器确定的所述焦点位置的信息，将所述样品的被测面驱动至所述焦点位置；其中，从所述入射模块到所述样品的入射光路和从所述样品到所述出射模块的出射光路与所述样品的表面法线的夹角均不等于零。2.根据权利要求1所述的非垂直式自动聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立峰，高海军，陈星，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：