本发明专利技术公开了一种探针升降装置及探针台。本发明专利技术的探针升降装置包括固定座、电机、第一偏心轮、第二偏心轮和调节座；电机设置于固定座上，电机包括电机轴；第一偏心轮套设于电机轴上，并能够与电机轴同步转动；第二偏心轮包括主体部和连接轴，主体部套设于第一偏心轮，第二偏心轮与第一偏心轮转动连接；调节座用于连接探针，并能够调节探针的位置，调节座与固定座沿设定方向滑动连接，连接轴与调节座转动连接，以使电机轴的转动能够带动调节座沿设定方向的移动。该探针升降装置通过第一偏心轮和第二偏心轮的配合，将电机轴的转动转换为调节座沿设定方向的移动，传动的误差较小，调节座的运动精度较高。的运动精度较高。的运动精度较高。
【技术实现步骤摘要】
探针升降装置及探针台
[0001]本专利技术涉及测试
，尤其涉及一种探针升降装置及探针台。
技术介绍
[0002]LED探针台是通过探针与芯片接触，测试芯片的光电等各项参数，探针的精度与稳定性关系到LED探针台的测试精度和性能，所以探针组件是LED探针台的核心组件之一。
[0003]现有技术中，针对芯片固定的情况，通过上下移动探针来完成测试。具体的，通过电机带动丝杆转动，丝杆与探针座连接，通过丝杆的转动带动探针座沿竖直方向的移动。但是，若电机轴直接与丝杆连接，则电机需要占据较大的丝杆轴向的空间，若电机与丝杆并列设置，则需要通过同步轮和同步带进行连接，但同步带有一定弹性，高频运动时会产生滞后现象，探针运动高度会有一定误差，从而影响整体测试精度。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种探针升降装置，传动的误差较小，调节座的运动精度较高。
[0005]本专利技术还提出一种具有上述探针升降装置的探针台。
[0006]根据本专利技术的第一方面实施例的探针升降装置，包括：
[0007]固定座；
[0008]电机，所述电机设置于所述固定座上，所述电机包括电机轴；
[0009]第一偏心轮，所述第一偏心轮套设于所述电机轴上，并能够与所述电机轴同步转动；
[0010]第二偏心轮，所述第二偏心轮包括主体部和连接轴，所述主体部套设于所述第一偏心轮，所述第二偏心轮与所述第一偏心轮转动连接；
[0011]调节座，所述调节座用于连接探针，并能够调节所述探针的位置，所述调节座与所述固定座沿设定方向滑动连接，所述连接轴与所述调节座转动连接，以使所述电机轴的转动能够带动所述调节座沿所述设定方向的移动。
[0012]根据本专利技术实施例的探针升降装置，至少具有如下有益效果：本申请的探针升降装置通过第一偏心轮和第二偏心轮的配合，将电机轴的转动转换为调节座沿设定方向的移动，电机轴通过刚性的第一偏心轮和第二偏心轮直接驱动调节座，调节座移动的行程由第一偏心轮的偏心距确定，当第一偏心轮不发生变化时，调节座沿设定方向上的终点位置是不变的，较为稳定，适合于大批量同规格的芯片检测。并且第一偏心轮和第二偏心轮在传动过程中的形变基本上可以忽略不计，传动的误差较小，调节座的运动精度较高。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述第一偏心轮的轴线和所述电机轴的轴线的距离为第一偏心距，所述连接轴的轴线和所述主体部的轴线的距离为第二偏心距，所述主体部和所述第一偏心轮同轴设置，所述第二偏心距不小于所述第一偏心距。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述第一偏心轮具有供所述电机轴穿过的第一通孔，
所述第一偏心轮还具有沿轴向延伸的第一减弱槽和沿径向延伸的第二减弱槽，所述第一减弱槽沿径向与所述第一通孔连通，所述第一减弱槽沿轴向与所述第二减弱槽连通，所述第一减弱槽和所述第二减弱槽将所述第一偏心轮分割出第一锁紧部和第二锁紧部，所述第一锁紧部和所述第二锁紧部之间的间距能够调节，以使所述第一偏心轮固定连接于所述电机轴。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，所述第二偏心轮具有容置腔，所述第一偏心轮位于所述容置腔内，所述第二偏心轮的外周面上具有连通所述容置腔的第二通孔，所述第一偏心轮包括第一锁紧部、第二锁紧部和第一锁紧件，所述第一锁紧件穿设于所述第一锁紧部和所述第二锁紧部，以调节所述第一锁紧部和所述第二锁紧部的间距，所述第一锁紧件能够穿过所述第二通孔。
[0016]根据本专利技术的一些实施例，所述第一偏心轮的外周面具有安装槽，所述安装槽沿轴向延伸至所述第一偏心轮的端面，所述探针升降装置还包括第一轴承，所述第一轴承的内圈连接于所述安装槽的底部，所述第一轴承的外圈连接于所述第二偏心轮的内壁。
[0017]根据本专利技术的一些实施例，第一偏心轮还包括第二锁紧件，所述第二锁紧件连接于所述第一偏心轮的端面，所述第一轴承的一端与所述安装槽的侧壁抵接，另一端与所述第二锁紧件抵接，以限制所述第一轴承和所述第一偏心轮的相对位移。
[0018]根据本专利技术的一些实施例，所述连接轴和所述调节座通过第二轴承连接，所述第二轴承套设于所述连接轴，所述连接轴远离所述主体部的端面设置有固定孔，所述固定孔沿轴向延伸至所述第二轴承的安装位置，所述第二偏心轮还包括第三锁紧件，所述第三锁紧件穿设于所述固定孔，并能够使所述连接轴膨胀变形，以限制所述第二轴承的位移。
[0019]根据本专利技术的一些实施例，所述调节座包括基座、第一滑动座和第一调节件，所述第一滑动座与所述基座沿第一方向滑动连接，所述第一调节件设置于所述第一滑动座上，并与所述基座抵接，以驱动所述第一滑动座沿所述第一方向移动，所述调节座还包括第一弹性件，所述第一弹性件沿所述第一方向设置，所述第一弹性件的一端连接所述基座，另一端连接所述滑动座，所述第一滑动座和所述基座的相对位移能够使所述第一弹性件发生弹性变形。
[0020]根据本专利技术的一些实施例，所述调节座还包括第二滑动座和设置于所述第二滑动座上的第二调节件，所述第二滑动座和所述第一滑动座沿第二方向滑动连接，所述第二调节件与所述第一滑动座抵接，以驱动所述第二滑动座沿所述第二方向移动；
[0021]所述调节座还包括第三滑动座和设置于所述第三滑动座上的第三调节件，所述第三滑动座和所述第二滑动座沿第三方向滑动连接，所述第三调节件与所述第二滑动座抵接，以驱动所述第三滑动座和所述第二滑动座沿所述第三方向产生相对位移；
[0022]其中，所述第三滑动座用于连接所述探针。
[0023]根据本专利技术的第二方面实施例的探针台，包括：
[0024]如上述任一项实施例提及的探针升降装置；
[0025]探针，连接于所述探针升降装置；
[0026]载物机构，用于放置芯片；
[0027]其中，所述探针升降装置能够驱动所述探针移动，以使所述探针能够与所述芯片接触。
[0028]根据本专利技术实施例的探针台，至少具有如下有益效果：探针连接于探针升降装置，探针升降装置能够驱动探针移动，以使探针与芯片接触进行测试。通过使用该种探针升降装置，提高了探针台的测试精度和测试速度，有利于提高测试效率。
[0029]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0030]下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明，其中：
[0031]图1为本专利技术实施例的探针升降装置的爆炸示意图；
[0032]图2为本专利技术实施例的探针升降装置的部分剖面示意图；
[0033]图3为本专利技术实施例的第一偏心轮、第二偏心轮和电机轴的连接结构示意图；
[0034]图4为本专利技术实施例的第一偏心轮的结构示意图；
[0035]图5为本专利技术实施例的第一偏心轮与第一轴承的连接结构示意图；
[0036]图6为本专利技术实施例的第二偏心轮的结构示意图；
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.探针升降装置，其特征在于，包括：固定座；电机，所述电机设置于所述固定座上，所述电机包括电机轴；第一偏心轮，所述第一偏心轮套设于所述电机轴上，并能够与所述电机轴同步转动；第二偏心轮，所述第二偏心轮包括主体部和连接轴，所述主体部套设于所述第一偏心轮，所述第二偏心轮与所述第一偏心轮转动连接；调节座，所述调节座用于连接探针，并能够调节所述探针的位置，所述调节座与所述固定座沿设定方向滑动连接，所述连接轴与所述调节座转动连接，以使所述电机轴的转动能够带动所述调节座沿所述设定方向的移动。2.根据权利要求1所述的探针升降装置，其特征在于，所述第一偏心轮的轴线和所述电机轴的轴线的距离为第一偏心距，所述连接轴的轴线和所述主体部的轴线的距离为第二偏心距，所述主体部和所述第一偏心轮同轴设置，所述第二偏心距不小于所述第一偏心距。3.根据权利要求1所述的探针升降装置，其特征在于，所述第一偏心轮具有供所述电机轴穿过的第一通孔，所述第一偏心轮还具有沿轴向延伸的第一减弱槽和沿径向延伸的第二减弱槽，所述第一减弱槽沿径向与所述第一通孔连通，所述第一减弱槽沿轴向与所述第二减弱槽连通，所述第一减弱槽和所述第二减弱槽将所述第一偏心轮分割出第一锁紧部和第二锁紧部，所述第一锁紧部和所述第二锁紧部之间的间距能够调节，以使所述第一偏心轮固定连接于所述电机轴。4.根据权利要求1所述的探针升降装置，其特征在于，所述第二偏心轮具有容置腔，所述第一偏心轮位于所述容置腔内，所述第二偏心轮的外周面上具有连通所述容置腔的第二通孔，所述第一偏心轮包括第一锁紧部、第二锁紧部和第一锁紧件，所述第一锁紧件穿设于所述第一锁紧部和所述第二锁紧部，以调节所述第一锁紧部和所述第二锁紧部的间距，所述第一锁紧件能够穿过所述第二通孔。5.根据权利要求1所述的探针升降装置，其特征在于，所述第一偏心轮的外周面具有安装槽，所述安装槽沿轴向延伸至所述第一偏心轮的端面，所述探针升降装置还包括第一轴承，所述第一轴承的内圈连接于所述安装槽的底部，所述第一轴承的外圈连接于所述第二偏心轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈杰，杨应俊，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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