一种伪三能探测器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种伪三能探测器及其制备方法，通过在射线滤过材料层中设置凹槽，可在现有伪双能探测器结构的基础上，在单次X光照射的情况下，一次性得到低能、中能和高能电信号，以扩大探测器应用范围；且通过对伪三能探测器的结构优化，可确保低能

【技术实现步骤摘要】
一种伪三能探测器及其制备方法


[0001]本专利技术属于半导体
，涉及一种伪三能探测器及其制备方法。

技术介绍

[0002]X射线辐射成像是利用X射线短波长、易穿透的性质以及不同物质对X射线吸收不同的特点，通过探测透过物体的X射线的强度来成像。
[0003]线性阵列图像探测器（LDA）是一种以线性阵列图像传感器为核心的X射线影像探测器。在X射线照射下探测器将X射线光子直接或者间接转换为电信号，再通过外围电路检出及ADC变换，从而获得数字化图像。线性阵列探测器因其价格低廉，适用于物体移动成像的优点，目前在工艺应用、安检领域有着广泛的应用。
[0004]当前行业内广泛应用的主要技术是伪双能探测技术，其中，伪双能探测器是一个多层结构，如图1所示包括低能闪烁体1、第一PD单元2、射线滤过材料层3、高能闪烁体4及第二PD单元5，这5种材料通过一定的方式耦合在一起后构成了传统的伪双能探测器。但传统伪双能探测器有两个缺点：第一，因为伪双能探测器，只能设定两个阈值，所以只能将物质分为三种：有机物、无机物和混合物；第二，即便是在区分三类物质本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种伪三能探测器，其特征在于，所述伪三能探测器包括自上而下叠置的：第一闪烁体层，用于将低能X射线转换成可见光；第一PD阵列，所述第一PD阵列包括若干个呈阵列排布的第一PD单元，且所述第一PD阵列与所述第一闪烁体层构成低能探测模组，用于吸收所述第一闪烁体层转换的可见光并将其转换成低能电信号；射线滤过材料层，所述射线滤过材料层中设置有凹槽，所述凹槽自所述射线滤过材料层的一面向内延伸，且所述凹槽与所述第一PD单元中的奇数PD单元或偶数PD单元对应设置，通过所述凹槽将所述射线滤过材料层划分为具有第一厚度的第一射线滤过材料层，以及具有第二厚度的第二射线滤过材料层，用于分离穿过所述低能探测模组的中能X射线和高能X射线；第二闪烁体层，所述第二闪烁体层用于将分离后的所述中能X射线和所述高能X射线转换成可见光；第二PD阵列，所述第二PD阵列包括若干个呈阵列排布的第二PD单元，用于吸收所述第二闪烁体层转换的可见光，并将其转换成对应的中能电信号及高能电信号。2.根据权利要求1所述的伪三能探测器，其特征在于：所述第一射线滤过材料层包括铜层或铝层；所述第二射线滤过材料层包括铜层或铝层。3.根据权利要求1所述的伪三能探测器，其特征在于：所述第一射线滤过材料层与所述第二射线滤过材料层为相同材料层。4.根据权利要求1所述的伪三能探测器，其特征在于：所述第二射线滤过材料层的厚度大于所述第一射线滤过材料层的厚度，且所述第一射线滤过材料层的厚度为0.05mm...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾铁，张楠，
申请(专利权)人：上海奕瑞光电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：