溅射台靶材电源装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种溅射台靶材电源装置，属于电源技术领域，该装置包括：5KW的AE电源柜、信号控制板、接插件、电源线模块和信号线模块；5KW的AE电源柜通过电源线模块与交流市电供给端电连接；信号控制板通过接插件安装在AE电源柜的背面，并通过信号线模块与AE电源柜的信号输入端电连接，通过电源线模块与AE电源柜的直流电源供给端电连接，以及通过信号线模块与外部控制主机电连接。本申请通过用5KW的AE电源柜代替现有技术中的12KW DC电源，其操控面板上设置第一数字显示屏和第二数字显示屏，可提高提高功率、电压、电流等的显示的精度；其次用户可通过操控面板对AE电源柜的待机功率进行调节，可达到减少待机功率消耗的目的，使得靶材利用率增加。得靶材利用率增加。得靶材利用率增加。

【技术实现步骤摘要】
溅射台靶材电源装置


[0001]本技术涉及电源
，尤其涉及一种溅射台靶材电源装置。

技术介绍

[0002]目前，现有的适用于Varian 3180、3190溅射台靶材利用率较低，例如，如镍铂60的靶材利用率仅为14.11％，适用于Varian 3180、3190溅射台靶材利用率较低的其中一个原因是：受设备厂家设计限定，溅射台靶材使用原来设备自带的电源，待机功率百分比是固定的，无法改变，并且其通常使用12KW DC电源，待机功率消耗较大，且功率、电压、电流通常由指针显示，显示精度较低。

技术实现思路

[0003]本技术意在提供一种溅射台靶材电源装置，以解决现有技术中存在的不足，本技术要解决的技术问题通过以下技术方案来实现。
[0004]本技术提供的溅射台靶材电源装置，包括：
[0005]5KW的AE电源柜、信号控制板、接插件、电源线模块和信号线模块；
[0006]所述5KW的AE电源柜通过所述电源线模块与交流市电供给端电连接；
[0007]所述信号控制板通过接插件安装在所述5KW的AE电源柜的背面，并通过所述信号线模块与所述5KW的AE电源柜的信号输入端电连接，通过所述电源线模块与所述5KW的AE电源柜的直流电源供给端电连接，以及通过所述信号线模块与外部控制主机电连接。
[0008]在上述的方案中，所述电源线模块包括AE电源柜电源线和信号控制板电源线。
[0009]在上述的方案中，所述信号线模块包括信号控制板第一信号线和信号控制板第二信号线。
[0010]在上述的方案中，所述5KW的AE电源柜包括柜体以及安装在所述柜体上的操控面板，所述操控面板上设置按键单元、指示单元和调节单元。
[0011]在上述的方案中，所述按键单元包括测试按键、左实际值显示按键、右实际值显示按键、右设定值显示按键、目标按键、紧急停止按键、输出打开按键、输出关闭按键、电联调节按键、电流调节按键、电平调节模式按键、射频调节模式按键、主机控制开启按键、主机控制射频按键、主机控制电平按键以及主机连接按键。
[0012]在上述的方案中，所述指示单元包括设置在所述按键单元各个按键上的指示灯、用于指示AE电源柜工作状态的多个指示灯、设置在所述操控面板左上方的第一数字显示屏、设置在所述第一数字显示屏的多个显示数值单位指示灯、设置在所述操控面板右上方的第二数字显示屏以及设置在所述第二数字显示屏的多个显示数值单位指示灯。
[0013]在上述的方案中，所述调节单元包括设置在所述电平调节模式按键和所述射频调节模式按上方的调节旋钮。
[0014]在上述的方案中，所述信号控制板包括电路板以及设置在所述电路板上的晶体管输出光电耦合器。
[0015]本技术实施例包括以下优点：
[0016]本技术实施例提供的溅射台靶材电源装置，通过用5KW的AE电源柜代替现有技术中的12KW DC电源，其操控面板上设置第一数字显示屏和第二数字显示屏，可提高提高功率、电压、电流等的显示的精度；其次用户可通过操控面板对AE电源柜的待机功率进行调节，从而达到减少待机功率消耗的目的，使得靶材利用率增加。
附图说明
[0017]图1是本技术的一种溅射台靶材电源装置实施例的组成示意图。
[0018]图2是本技术的晶体管输出光电耦合器的电路图。
具体实施方式
[0019]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0020]如图1所示，本技术提供一种溅射台靶材电源装置，所述装置包括：
[0021]5KW的AE电源柜、信号控制板、接插件、电源线模块和信号线模块；
[0022]所述5KW的AE电源柜通过所述电源线模块与交流市电供给端电连接；
[0023]所述信号控制板通过接插件安装在所述5KW的AE电源柜的背面，并通过所述信号线模块与所述5KW的AE电源柜的信号输入端电连接，通过所述电源线模块与所述5KW的AE电源柜的直流电源供给端电连接，以及通过所述信号线模块与外部控制主机电连接。
[0024]进一步地，所述电源线模块包括AE电源柜电源线和信号控制板电源线。
[0025]进一步地，所述信号线模块包括信号控制板第一信号线和信号控制板第二信号线。
[0026]进一步地，所述5KW的AE电源柜包括柜体以及安装在所述柜体上的操控面板，所述操控面板上设置按键单元、指示单元和调节单元。
[0027]在本实施例中，所述按键单元包括测试按键、左实际值显示按键、右实际值显示按键、右设定值显示按键、目标按键、紧急停止按键、输出打开按键、输出关闭按键、电联调节按键、电流调节按键、电平调节模式按键、射频调节模式按键、主机控制开启按键、主机控制射频按键、主机控制电平按键以及主机连接按键。
[0028]在本实施例中，所述指示单元包括设置在所述按键单元各个按键上的指示灯、用于指示AE电源柜工作状态的多个指示灯、设置在所述操控面板左上方的第一数字显示屏、设置在所述第一数字显示屏的多个显示数值单位指示灯、设置在所述操控面板右上方的第二数字显示屏以及设置在所述第二数字显示屏的多个显示数值单位指示灯。
[0029]在本实施例中，设置在所述第一数字显示屏的多个显示数值单位指示灯包括电压单位指示灯、电流单位指示灯和功率单位指示灯，设置在设置在所述第二数字显示屏的多个显示数值单位指示灯包括电压单位指示灯、电流单位指示灯和功率单位指示灯等。
[0030]在本实施例中，所述调节单元包括设置在所述电平调节模式按键和所述射频调节模式按上方的调节旋钮，在所述电平调节模式按键按下时，通过调节旋钮可对电平进行调节，在所述射频调节模式按键按下时，通过调节旋钮可对射频信号进行调节。
[0031]在本技术的一个实施例中，通过将AE电源柜的待机功率可调整至100W得到：
[0032]7.3秒，20％的功率，溅射厚度约为125，溅射速率约为17.12/秒；
[0033]60秒，100W的功率，溅射厚度约为424.7，溅射速率约为7.08/秒；
[0034]按照一个片架25片来算，有效靶材使用量为125/片*25片＝3125，无效靶材使用量为7.08/秒*1497.5秒＝10599.8，实际靶材使用率提升至(3125/3125+10599.8)*100％＝22.77％，靶材使用率提升了61.37％。
[0035]如图2所示，所述信号控制板包括电路板以及设置在所述电路板上的晶体管输出光电耦合器，所述晶体管输出光电耦合器采用TLP504A，包括第一光电耦合器和第二光电耦合器，所述第一光电耦合器的发光二极管的阳极连接至管脚1，所述第一光电耦合器的发光二极管的阴极连接至管脚2，所述第一光电耦合器的三极管的集电极连接至管脚7，所述第一光电耦合器的三极管的发射极连接至管脚8；所述第二光电耦合器的发光二极管的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射台靶材电源装置，其特征在于，所述装置包括：5KW的AE电源柜、信号控制板、接插件、电源线模块和信号线模块；所述5KW的AE电源柜通过所述电源线模块与交流市电供给端电连接；所述信号控制板通过接插件安装在所述5KW的AE电源柜的背面，并通过所述信号线模块与所述5KW的AE电源柜的信号输入端电连接，通过所述电源线模块与所述5KW的AE电源柜的直流电源供给端电连接，以及通过所述信号线模块与外部控制主机电连接。2.根据权利要求1所述的溅射台靶材电源装置，其特征在于，所述电源线模块包括AE电源柜电源线和信号控制板电源线。3.根据权利要求2所述的溅射台靶材电源装置，其特征在于，所述信号线模块包括信号控制板第一信号线和信号控制板第二信号线。4.根据权利要求1所述的溅射台靶材电源装置，其特征在于，所述5KW的AE电源柜包括柜体以及安装在所述柜体上的操控面板，所述操控面板上设置按键单元、指示单元和调节单元。5.根据权利要求4所述的溅射台靶材电源装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤力，黄强，李天鹏，王光伟，徐永斌，冯东明，
申请(专利权)人：江苏昕感科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：