物品搬运装置制造方法及图纸

物品搬运装置具备移动体、保持部、升降部、落下限制部(6)、引导部(7)，将处于搬运用位置的物品(9)设为搬运中物品(9a)，落下限制部(6)具备限制驱动机构、一对限制体(61)，引导部(7)具备相对于搬运中物品(9a)被在水平方向的两侧分开地配置的至少一对引导体(17)，一对引导体(17)的每一个具备朝向搬运中物品(9a)侧的引导面(18)，引导面(18)具备上下方向(Z)的配置区域(E)与搬运中物品(9a)重叠的第1区域(Ea)、被比搬运中物品(9a)靠下侧地配置的第2区域(Eb)，第2区域(Eb)配置于，上下方向观察时不与搬运中物品重叠、且与第1区域(Ea)相比接近搬运中物品的位置。近搬运中物品的位置。近搬运中物品的位置。

【技术实现步骤摘要】
物品搬运装置


[0001]本专利技术涉及搬运物品的物品搬运装置。

技术介绍

[0002]这样的物品搬运装置的一例被日本特开2015
‑
131702号公报(专利文献1)所公开。以下，
技术介绍
的说明中括号内表示的附图标记或名称是专利文献1的附图标记或名称。
[0003]专利文献1中记载的物品搬运装置(顶棚搬运车1)具备在行进轨道(2)处行进的行进移动部(12)、将物品(搬运物6)悬挂地保持的保持部(支承机构19)、将保持部(19)升降移动自如地支承的升降支承部(13)。在升降支承部(13)，设置有防止被在搬运用位置支承的物品的落下的一对落下防止体(27)。一对落下防止体(27)设置成，在比搬运用位置的物品靠下侧的位置沿水平面突出退回。一对落下防止体(27)处固定有多个限制体(30)。多个限制体(30)为了限制物品向水平方向的移动而被相对于搬运用位置的物品配置于水平方向的外侧。因此，物品的搬运中，保持部(19)进行的物品的保持被解除而物品落在一对落下防止体(27)上的情况下，物品向水平方向的移动也被限制。由此，变得能够避免物品从一对落下防止体(27)落下。
[0004]如上所述的物品搬运装置中，限制体(30)配置于距搬运用位置的物品近的位置时，变得容易限制落在落下防止体(27)上的物品在水平方向上移动，能够有效地避免物品从落下防止体(27)落下。另一方面，若限制体(30)的位置接近搬运用位置的物品，则变得容易随着行进移动部(12)的行进中的摆动而搬运用位置的物品摆动从而接触限制体(30)。若搬运用位置的物品摆动而接触限制体(30)，则有冲击传向搬运中的物品、该物品破损、物品搬运装置自身发生故障的可能性。例如，物品为容纳半导体基板等容纳物的容器的情况下，有由于与限制体(30)的接触而容纳物破损的可能。

技术实现思路

[0005]因此，希望实现一种物品搬运装置，前述物品搬运装置即使在物品的搬运中物品的保持被解除的情况下，也能够避免物品从物品搬运装置落下。
[0006]本专利技术的物品搬运装置是搬运物品的物品搬运装置，其特征在于，具备移动体、保持部、升降部、落下限制部、引导部，前述移动体为了搬运前述物品而移动，前述保持部的状态能够改变成将前述物品以悬挂的方式保持的保持状态和将前述物品的保持解除的保持解除状态，前述升降部使前述保持部升降，使被保持于前述保持部的前述物品向搬运用位置和比前述搬运用位置低的下降位置升降移动，前述移动体支承前述保持部、前述升降部、前述落下限制部、前述引导部，将处于前述搬运用位置的前述物品作为搬运中物品，前述落下限制部具备限制驱动机构和一对限制体，前述一对限制体在比前述搬运中物品靠下侧的位置被在水平方向上彼此离开地配置，前述限制驱动机构使一对前述限制体向限制位置和非限制位置移动，在前述限制位置，沿着上下方向的上下方向观察时一对前述限制体的双方配置成与前述物品重叠，在前述非限制位置，前述上下方向观察时一对前述限制体的双
方配置成不与前述物品重叠，前述引导部至少具备一对引导体，前述一对引导体在比一对前述限制体靠上侧的位置，被相对于前述搬运中物品在水平方向的两侧分开地配置，一对前述引导体的每一个具备朝向前述搬运中物品侧的引导面，前述引导面具备前述上下方向的配置区域与前述搬运中物品重叠的第1区域、被比前述搬运中物品靠下侧地配置的第2区域，前述第2区域配置于，在前述上下方向观察时不与前述搬运中物品重叠、且与前述第1区域相比接近前述搬运中物品的位置。
[0007]根据本结构，关于上下方向的配置区域与搬运中物品重叠的引导面的第1区域，能够充分确保与搬运中物品的间隔，使得难以发生移动体的移动中的搬运中物品的摆动引起的引导体和搬运中物品的干涉。另一方面，引导面的第2区域在保持部进行的物品的保持被维持的状态下，被比搬运中物品靠下侧地配置。因此，无需考虑移动体的移动中的搬运中物品的摆动引起的与搬运中物品的干涉。因此，通过将第2区域配置于比第1区域接近搬运中物品的位置，即使在保持部进行的物品的保持被意外地解除而物品落在一对限制体上的情况下，也能够借助引导面的第2区域将移动体的移动引起的物品的水平方向的移动抑制成最小限度。因此，能够避免物品从一对限制体落下。
[0008]即，根据本结构，物品搬运装置进行的物品的搬运中，抑制物品和引导体的干涉，且即使在保持部进行的物品的保持被解除的情况下，也能够将一对限制体上的物品的移动抑制成较小，能够避免该物品从一对限制体落下。
[0009]物品搬运装置的更多的特征和优点，根据关于参照附图说明的例示性且非限定性的实施方式的以下的记载变得明确。
附图说明
[0010]图1是物品搬运装置的主视图。
[0011]图2是物品搬运装置的主视图。
[0012]图3是表示第1引导体和第2引导体的位置关系的图。
[0013]图4是表示物品和第1引导体的位置关系的图。
[0014]图5是表示处于限制位置的状态的一对限制体的俯视图。
[0015]图6是表示处于非限制位置的状态的一对限制体的俯视图。
[0016]图7是表示其他实施方式的引导体的位置的俯视图。
[0017]图8是表示其他实施方式的引导体的位置的俯视图。
[0018]图9是其他实施方式的引导体的侧视图。
[0019]图10是其他实施方式的引导体的侧视图。
[0020]图11是其他实施方式的引导体的侧视图。
具体实施方式
[0021]1.物品搬运装置物品搬运装置100是搬运物品9的装置。这样的物品搬运装置100例如能够在半导体制造工厂中使用，作为搬运对象的物品，能够例示用于容纳半导体晶圆的前端开启式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod)、用于容纳中间掩模的中间掩模夹等。以下，参照附图，关于物品搬运装置100的实施方式进行说明。
[0022]如图1及图2所示，物品搬运装置100具备移动体1、保持部2、升降部4、落下限制部6、引导部7。在本实施方式中，物品搬运装置100还具备容纳被保持于保持部2的物品9的容纳部3。
[0023]在本实施方式中，如图1及图2所示，物品搬运装置100沿移动路径5移动。移动路径5可以被物理性地形成也可以被假想地设定。在本实施方式中，移动路径5利用行进轨道50被物理性地形成。具体地，行进轨道50(这里是一对行进轨道50)被从顶棚11悬挂支承，移动路径5被沿顶棚11形成。即，在本实施方式中，物品搬运装置100是沿着沿顶棚11形成的移动路径5行进的顶棚搬运车。
[0024]在本实施方式中，将沿着水平方向的方向上的特定的方向设为第1方向，将沿着水平方向且与第1方向X正交的方向设为第2方向来说明。本例中，如图1所示，第1方向X设为沿着移动路径5的方向。第2方向Y设为与沿着移动路径5的方向正交的方向。
[0025]2.移动体移动体1为了搬运物品9而移动。此外，移动体1支承保持部2、升降部4、落下限制部6、引导部7。在本实施方式中，移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物品搬运装置，是搬运物品的物品搬运装置，其特征在于，具备移动体、保持部、升降部、落下限制部、引导部，前述移动体为了搬运前述物品而移动，前述保持部的状态能够改变成将前述物品以悬挂的方式保持的保持状态和将前述物品的保持解除的保持解除状态，前述升降部使前述保持部升降，使被保持于前述保持部的前述物品向搬运用位置和比前述搬运用位置低的下降位置升降移动，前述移动体支承前述保持部、前述升降部、前述落下限制部、前述引导部，将处于前述搬运用位置的前述物品作为搬运中物品，前述落下限制部具备限制驱动机构和一对限制体，前述一对限制体在比前述搬运中物品靠下侧的位置被在水平方向上彼此离开地配置，前述限制驱动机构使一对前述限制体向限制位置和非限制位置移动，在前述限制位置，沿着上下方向的上下方向观察时一对前述限制体的双方配置成与前述物品重叠，在前述非限制位置，前述上下方向观察时一对前述限制体的双方配置成不与前述物品重叠，前述引导部至少具备一对引导体，前述一对引导体在比一对前述限制体靠上侧的位置，被相对于前述搬运中物品在水平方向的两侧分开地配置，一对前述引导体的每一个具备朝向前述搬运中物品侧的引导面，前述引导面具备前述上下方向的配置区域与前述搬运中物品重叠的第1区域、被比前述搬运中物品靠下侧地配置的第2区域，前述第2区域配置于，在前述上下方向观察时不与前述搬运中物品重叠、且与前述第1区域相比接近前述搬运中物品的位置。2.如权利要求1所述的物品搬运装置，其特征在于，将前述移动体的移动中的前述搬运中物品的前述水平方向的振幅的最大值设为最大摆动幅度，前述第1区域配置成与前述搬运中物品的前述水平方向的距离比前述最大摆动幅度大。3.如权利要求1或2所述的物品搬运装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：安部健史，吉山智裕，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：