石英配件运输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种石英配件运输装置，包括：车厢，所述车厢包含相互未连通的第一空腔、第二空腔和第三空腔，所述第二空腔和所述第三空腔设置于所述第一空腔的同一侧，所述第二空腔设置于所述第三空腔上；车轮，所述车轮可转动地设置于所述车厢的下方，且所述车轮外围设置有挡板；减震装置，所述减震装置设置于所述车厢的底部与所述挡板之间。本实用新型专利技术的技术方案，使得在能够一次性尽可能多地运输石英配件，提高了运输速度的同时，还能减少运输过程中石英配件的晃动频率，避免石英配件之间相互碰撞，保证了运输的安全性。保证了运输的安全性。保证了运输的安全性。

【技术实现步骤摘要】
石英配件运输装置


[0001]本技术涉及机台零部件的运输
，特别涉及一种石英配件运输装置。

技术介绍

[0002]石英是非常重要的半导体辅材，被广泛应用于半导体加工行业中。然而，石英配件硬度较弱，不耐冲击。在实际应用中，如何完整运输石英配件且不弄碎是常见的问题。
[0003]在现有的石英配件运输装置中，主体结构中用于放置石英配件的空腔开口方向规划不合理(例如空腔的开口朝向运输装置的行进方向，石英配件很容易从空间中掉落出来)，且可放置石英配件的空腔较少(只有两个)；并且在运输石英配件的过程中，石英配件运输装置极易因行进路面的不平整或行进速度过快而发生震动，进而当空腔内摆放多个石英配件时，会导致石英配件之间发生碰撞，从而导致石英配件发生破损。因此，现有的石英配件运输装置会影响石英配件在运输过程中的安全，同时降低了石英配件运输的工作效率。
[0004]因此，如何提高运输速度的同时，还能减少在运输石英配件的途中产生的晃动频率，减少石英配件之间相互碰撞的概率是目前亟需解决的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英配件运输装置，其特征在于，包括：车厢，所述车厢包含相互未连通的第一空腔、第二空腔和第三空腔，所述第二空腔和所述第三空腔设置于所述第一空腔的同一侧，所述第二空腔设置于所述第三空腔上；车轮，所述车轮可转动地设置于所述车厢的下方，且所述车轮外围设置有挡板；减震装置，所述减震装置设置于所述车厢的底部与所述挡板之间。2.如权利要求1所述的石英配件运输装置，其特征在于，所述第一空腔的顶壁设置有第一开口，所述第一空腔一侧的侧壁设置有第二开口，所述第一开口与所述第二开口相连通。3.如权利要求2所述的石英配件运输装置，其特征在于，所述第二空腔的顶壁设置有第三开口，所述第二空腔一侧的侧壁设置有第四开口，所述第三开口与所述第四开口未连通。4.如权利要求3所述的石英配件运输装置，其特征在于，所述第三空腔一侧的侧壁设置有第五开口。5.如权利要求4所述的石英配件运输装置，其特征在于，所述第二开口、所述第四开口和所述第五开口设置于所述车厢的同一侧。6.如权利要求5所述的石英配件运输装置，其特征在于，所述第一开口形状为方形与半圆形的组合，所述第二开口形状为方形，所述第一开口的方形...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄玉盛，王凯，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：