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本实用新型提供了一种石英配件运输装置,包括:车厢,所述车厢包含相互未连通的第一空腔、第二空腔和第三空腔,所述第二空腔和所述第三空腔设置于所述第一空腔的同一侧,所述第二空腔设置于所述第三空腔上;车轮,所述车轮可转动地设置于所述车厢的下方,且所...该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种石英配件运输装置,包括:车厢,所述车厢包含相互未连通的第一空腔、第二空腔和第三空腔,所述第二空腔和所述第三空腔设置于所述第一空腔的同一侧,所述第二空腔设置于所述第三空腔上;车轮,所述车轮可转动地设置于所述车厢的下方,且所...