一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，包括安装板，所述安装板上固定安装有注蜡装置，注蜡装置的一侧设置有固定旋转装置，固定旋转装置固定安装在所述安装板上，固定旋转装置包括升降装置、固定吸附装置和旋转装置，所述升降装置固定安装在所述安装板的下板面上，所述旋转装置固定安装在所述升降装置之间，所述旋转装置上的旋转传动轴穿过安装板上的通孔与所述安装板上端的固定吸附装置连接。本实用新型专利技术的有益效果是，晶圆本身就很薄脆，采用吸附的方式固定晶圆，且带动晶圆旋转，可以很好的保证晶圆在被涂蜡的过程不被损坏和不被污染，提升了生产加工的品控质量，且极大的减少了的劳动量，进一步提升了产品加工的工作效率。品加工的工作效率。品加工的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置


[0001]本技术涉及半导体加工领域，特别是一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主；
[0003]目前，随着光电技术的飞速发展，光电产品对蓝宝石衬底材料需求量日益增加；同时随着LED元件的不断拓展，蓝宝石已经成为最重要的衬底材料之一，具有极大的国内外市场需求。但是由于在航天、军事等方面的重要应用，蓝宝石晶片的加工技术在西方国家都极为保密，蓝宝石加工工艺流程如下：a下料
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b外周磨削
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c周边倒角
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d斜面研磨
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e平面研磨
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f镜面抛光
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g清洗，现有技术中用于e
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f中间工艺常常采用人工操作，人工工序为用抛光盘将陶瓷抛光盘置于烘箱加热至一定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，包括安装板，所述安装板上固定安装有注蜡装置(1)，所述注蜡装置(1)的一侧设置有固定旋转装置(2)，所述固定旋转装置(2)固定安装在所述安装板上，所述固定旋转装置(2)包括升降装置(3)、固定吸附装置(4)和旋转装置(5)，所述升降装置(3)固定安装在所述安装板的下板面上，所述旋转装置(5)固定安装在所述升降装置(3)之间，所述旋转装置(5)上的旋转传动轴(6)穿过安装板上的通孔与所述安装板上端的固定吸附装置(4)连接。2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，所述注蜡装置(1)包括保温储蜡装置(7)，所述保温储蜡装置(7)的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的上端固定安装有注射转臂(8)，所述注射转臂(8)的一端固定安装有注蜡阀(9)。3.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，所述升降装置(3)包括固定安装在所述安装板下板面上的固定板，所述固定板上固定安装有竖向位移组件(10)，所述竖向位移组件(10)之间相向方向的板面上固定安装有滑台气缸(11)，所述滑台气缸(11)之间相向方向的滑轨上连接有L形滑板(12)，所述L形滑板(12)之间相向方向的面板上固定安装有安装架(13)，所述安装架(13)固定安...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨杰，蒋君，
申请(专利权)人：拓思精工科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：