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本实用新型公开了一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置,包括安装板,所述安装板上固定安装有注蜡装置,注蜡装置的一侧设置有固定旋转装置,固定旋转装置固定安装在所述安装板上,固定旋转装置包括升降装置、固定吸附装置和旋转装置,所述升降装置固定安装在所...该专利属于拓思精工科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拓思精工科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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