一种石英舟清洗设备制造技术

本发明专利技术涉及石英舟技术领域，且公开了一种石英舟清洗设备，包括清洗槽本体，清洗槽本体内设置有升降框，清洗槽本体外侧设置有伸缩件，伸缩件的伸缩端安装有连接杆，连接杆端部与升降框连接，升降框内转动设置有转动框，转动框内设置有石英舟，转动框侧部滑动设置有支撑板，支撑板外侧设置有滑杆，滑杆侧部设置有定位孔，其中一个定位孔插设有插销，插销插入转动框内；清洗槽本体对石英舟初步清洗，伸缩件使连接杆带动升降框上升，将支撑板向下移动至靠近石英舟，插销插入定位孔中，固定支撑板位置，翻转转动框，使支撑板处于下方，石英舟上下翻转在支撑板上，再次清洗，使其清洗更彻底，尽可能解决现有技术影响石英舟清洗效果的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟清洗设备


[0001]本专利技术涉及石英舟
，具体为一种石英舟清洗设备。

技术介绍

[0002]石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是一种含二氧化硅的物质，如水晶、硅石，是以二氧化硅为原料高温熔制而成，其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，石英玻璃是良好的耐酸材料，还具有优异的光学性能和电学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线和红外线常温下，它的电阻相当于普通玻璃的10倍，对全部频率的介电损失很微小，绝缘耐压强度大，石英玻璃还具有耐宇宙放射线，和不透原子核裂变产物的性质。
[0003]石英舟的使用范围很广，可用于电光源、半导体和光学新技术等方面，还用于化工、冶金、电工和科研等方面，例如在硅片的扩散时，石英舟作为硅片扩散的载体，在扩散结束后，石英舟的表面会产生残留物，需要进行清洗，目前扩散石英舟清洗方式都是平放清洗，所采用的方式都是通过鼓泡方式带动药液清洗石英舟，清洗完成用水洗加喷淋的方式去除石英舟上所留酸性液体，最后用氮气吹扫石英舟，使得石英舟干燥。
[0004]目前，现有技术通常将石英舟平放在清洗槽中，采用鼓泡方式带动清洗槽中的药液清洗石英舟，但是石英舟的底部与清洗槽接触，药液难以对其底部进行充分的清洗，影响石英舟清洗效果；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种石英舟清洗设备。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种石英舟清洗设备，具备的有益效果，解决了上述
技术介绍
中所提到现有技术通常将石英舟平放在清洗槽中，采用鼓泡方式带动清洗槽中的药液清洗石英舟，但是石英舟的底部与清洗槽接触，药液难以对其底部进行充分的清洗，影响石英舟清洗效果的问题。
[0006]本专利技术提供如下技术方案：一种石英舟清洗设备，包括清洗槽本体，所述清洗槽本体内设置有升降框，所述清洗槽本体外侧设置有伸缩件，所述伸缩件的伸缩端安装有连接杆，所述连接杆端部与所述升降框连接，所述升降框内转动设置有转动框，所述转动框内设置有石英舟，所述转动框侧部滑动设置有支撑板，所述支撑板外侧设置有滑杆，所述滑杆侧部插接有插销，所述滑杆侧部设置有定位孔，所述定位孔的数量设置为若干个，所述插销穿过其中一个所述定位孔插设在所述转动框内。
[0007]作为本专利技术所述的一种石英舟清洗设备可选方案，其中：所述清洗槽本体内壁设置为弧形内壁，所述升降框的竖截面设置为半环形，所述升降框设置为网框。
[0008]作为本专利技术所述的一种石英舟清洗设备可选方案，其中：所述清洗槽本体外侧安装有防护框，所述伸缩件设置在所述防护框内，所述伸缩件的伸缩端滑动插接在所述防护框侧部，所述伸缩件的伸缩端设置在所述防护框外侧。
[0009]作为本专利技术所述的一种石英舟清洗设备可选方案，其中：所述清洗槽本体侧部设置有槽盖，所述槽盖外侧安装有把手，所述槽盖侧部设置有槽口，所述连接杆插接在所述槽
口中。
[0010]作为本专利技术所述的一种石英舟清洗设备可选方案，其中：所述转动框侧部安装有转柄，所述转柄插接在所述升降框侧部，所述转柄侧部设置有插槽，所述插槽的数量设置为若干个。
[0011]作为本专利技术所述的一种石英舟清洗设备可选方案，其中：所述清洗槽本体外侧设置有工具盒，所述工具盒内放置有摇把，所述摇把的数量设置为若干个，所述摇把与所述插槽配合使用。
[0012]作为本专利技术所述的一种石英舟清洗设备可选方案，其中：所述转动框内壁设置为方形内壁，所述支撑板设置为网板。
[0013]作为本专利技术所述的一种石英舟清洗设备可选方案，其中：所述支撑板外侧安装有滑块，所述滑杆与所述滑块连接。
[0014]本专利技术具备以下有益效果：
[0015]1、该石英舟清洗设备，清洗槽本体内的清洗液对其内的石英舟进行初步的清洗，伸缩件使得连接杆带动升降框上升脱离清洗液，将支撑板向下移动，使得支撑板与石英舟上表面靠近，将插销插入相应的定位孔中，固定支撑板的位置，将转动框转动，使得支撑板处于下方，石英舟翻转上下面放置在支撑板上，再次对其清洗，拔出插销，将支撑板拆除，即可将清洗干净的石英舟取出，从而使得石英舟清洗的更加彻底，尽可能解决现有技术通常将石英舟平放在清洗槽中，采用鼓泡方式带动清洗槽中的药液清洗石英舟，但是石英舟的底部与清洗槽接触，药液难以对其底部进行充分的清洗，影响石英舟清洗效果的问题。
[0016]2、该石英舟清洗设备，将两个摇把分别插设在两个插槽内，双手分别握住两个摇把向同一个方向推动，使得摇柄带动转动框旋转，便于将转动框进行翻转，从而便于将石英舟进行翻转。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的立体结构示意图。
[0018]图2为本专利技术的剖切结构示意图。
[0019]图3为本专利技术的局部立体结构示意图。
[0020]图4为本专利技术的转动框结构示意图。
[0021]图5为本专利技术的A处放大结构示意图。
[0022]图6为本专利技术的摇把结构示意图。
[0023]图中：110、清洗槽本体；120、升降框；130、伸缩件；131、防护框；140、连接杆；141、槽盖；142、把手；143、槽口；150、转动框；151、转柄；152、插槽；153、工具盒；154、摇把；160、石英舟；170、支撑板；180、滑杆；181、滑块；190、插销；210、定位孔。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]实施例1
[0026]本实施例意在促进解决现有技术通常将石英舟平放在清洗槽中，采用鼓泡方式带动清洗槽中的药液清洗石英舟，但是石英舟的底部与清洗槽接触，药液难以对其底部进行充分的清洗，影响石英舟清洗效果的问题，请参阅图1、图2、图3、图4和图5，一种石英舟清洗设备，包括清洗槽本体110，清洗槽本体110内设置有升降框120，清洗槽本体110内壁设置为弧形内壁，升降框120的竖截面设置为半环形，升降框120设置为网框。
[0027]清洗槽本体110外侧设置有伸缩件130，清洗槽本体110外侧安装有防护框131，伸缩件130设置在防护框131内，伸缩件130的伸缩端滑动插接在防护框131侧部，伸缩件130的伸缩端设置在防护框131外侧，伸缩件130的伸缩端安装有连接杆140，连接杆140端部与升降框120连接，清洗槽本体110上侧设置有槽盖141，槽盖141上侧安装有把手142，槽盖141侧部设置有槽口143，连接杆140插接在槽口143中。
[0028]升降框120内转动设置有转动框150，转动框150内设置有石英舟160，石英舟160的数量设置为若干个，转动框150侧部滑动设置有支撑板170，转动框150内壁设置为方形内壁，支撑板170设置为网板，支撑板170上侧设置有滑杆180，支撑板170外侧安装有滑块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟清洗设备，包括清洗槽本体(110)，其特征在于：所述清洗槽本体(110)内设置有升降框(120)，所述清洗槽本体(110)外侧设置有伸缩件(130)，所述伸缩件(130)的伸缩端安装有连接杆(140)，所述连接杆(140)端部与所述升降框(120)连接，所述升降框(120)内转动设置有转动框(150)，所述转动框(150)内设置有石英舟(160)，所述转动框(150)侧部滑动设置有支撑板(170)，所述支撑板(170)外侧设置有滑杆(180)，所述滑杆(180)侧部插接有插销(190)，所述滑杆(180)侧部设置有定位孔(210)，所述定位孔(210)的数量设置为若干个，所述插销(190)穿过其中一个所述定位孔(210)插设在所述转动框(150)内。2.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗设备，其特征在于：所述清洗槽本体(110)内壁设置为弧形内壁，所述升降框(120)的竖截面设置为半环形，所述升降框(120)设置为网框。3.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗设备，其特征在于：所述清洗槽本体(110)外侧安装有防护框(131)，所述伸缩件(130)设置在所述防护框(131)内，所述伸缩件(130)的伸缩端滑动插接在所述防护框(131)侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆敏，陈加朋，李丙科，郭冬敏，
申请(专利权)人：浙江弘升石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：