一种石英舟清洗设备制造技术

本发明专利技术涉及石英舟技术领域，且公开了一种石英舟清洗设备，包括清洗槽本体，清洗槽本体内设置有升降框，清洗槽本体外侧设置有伸缩件，伸缩件的伸缩端安装有连接杆，连接杆端部与升降框连接，升降框内转动设置有转动框，转动框内设置有石英舟，转动框侧部滑动设置有支撑板，支撑板外侧设置有滑杆，滑杆侧部设置有定位孔，其中一个定位孔插设有插销，插销插入转动框内；清洗槽本体对石英舟初步清洗，伸缩件使连接杆带动升降框上升，将支撑板向下移动至靠近石英舟，插销插入定位孔中，固定支撑板位置，翻转转动框，使支撑板处于下方，石英舟上下翻转在支撑板上，再次清洗，使其清洗更彻底，尽可能解决现有技术影响石英舟清洗效果的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟清洗设备


[0001]本专利技术涉及石英舟
，具体为一种石英舟清洗设备。

技术介绍

[0002]石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是一种含二氧化硅的物质，如水晶、硅石，是以二氧化硅为原料高温熔制而成，其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，石英玻璃是良好的耐酸材料，还具有优异的光学性能和电学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线和红外线常温下，它的电阻相当于普通玻璃的10倍，对全部频率的介电损失很微小，绝缘耐压强度大，石英玻璃还具有耐宇宙放射线，和不透原子核裂变产物的性质。
[0003]石英舟的使用范围很广，可用于电光源、半导体和光学新技术等方面，还用于化工、冶金、电工和科研等方面，例如在硅片的扩散时，石英舟作为硅片扩散的载体，在扩散结束后，石英舟的表面会产生残留物，需要进行清洗，目前扩散石英舟清洗方式都是平放清洗，所采用的方式都是通过鼓泡方式带动药液清洗石英舟，清洗完成用水洗加喷淋的方式去除石英舟上所留酸性液体，最后用氮气吹扫石英舟，使得石英舟干燥。
[0004]目前，现有技术通常将石英舟平放在清洗槽中，采用鼓泡方式带动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟清洗设备，包括清洗槽本体(110)，其特征在于：所述清洗槽本体(110)内设置有升降框(120)，所述清洗槽本体(110)外侧设置有伸缩件(130)，所述伸缩件(130)的伸缩端安装有连接杆(140)，所述连接杆(140)端部与所述升降框(120)连接，所述升降框(120)内转动设置有转动框(150)，所述转动框(150)内设置有石英舟(160)，所述转动框(150)侧部滑动设置有支撑板(170)，所述支撑板(170)外侧设置有滑杆(180)，所述滑杆(180)侧部插接有插销(190)，所述滑杆(180)侧部设置有定位孔(210)，所述定位孔(210)的数量设置为若干个，所述插销(190)穿过其中一个所述定位孔(210)插设在所述转动框(150)内。2.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗设备，其特征在于：所述清洗槽本体(110)内壁设置为弧形内壁，所述升降框(120)的竖截面设置为半环形，所述升降框(120)设置为网框。3.根据权利要求1所述的一种石英舟清洗设备，其特征在于：所述清洗槽本体(110)外侧安装有防护框(131)，所述伸缩件(130)设置在所述防护框(131)内，所述伸缩件(130)的伸缩端滑动插接在所述防护框(131)侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆敏，陈加朋，李丙科，郭冬敏，
申请(专利权)人：浙江弘升石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：