一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法技术

本发明专利技术公开了一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法，腔体结构包括筒体，筒体的筒壁上设有快开法兰观察窗，顶盖通过第一紧固件和第二密封件与筒体的上部密封连接，所述顶盖上开设有进气口、出气口以及一D型真空馈通法兰；底座通过第二紧固件和第三密封件与筒体的下部密封连接；初级减震机构，设置在顶盖与显微镜主腔体顶部之间；次级减震机构，设置于底座与显微镜主腔体之间。本发明专利技术用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构，可以实现高压扫描探针显微镜高压腔内不同反应气体压力的灵活可调，实现在超高真空条件下对扫描探针和待测样品的快速更换并且不会对主腔体内壁造成直接污染。主腔体内壁造成直接污染。主腔体内壁造成直接污染。

【技术实现步骤摘要】
一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法


[0001]本专利技术涉及扫描探针显微镜领域，特别涉及一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法。
技术背景
[0002]扫描探针显微镜是利用扫描探针尖端与物质表面原子间的不同种类的局域相互作用来测量物质表面的原子结构和电子结构，可以分辨出常规显微镜所无法分辨的极小尺寸上的表面细节和特征，具体包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜、磁力显微镜、近场光学显微镜、激光力显微镜和摩擦力显微镜等。
[0003]物质表面的原子和电子结构不仅是材料自身的特性，还取决于物质周围所处环境的影响。在不同的外界环境条件下，物质表面结构会动态地适应其环境，往往会形成全新的结构。常规的超高真空扫描探针显微镜，均是在理想的真空环境条件下，对物质表面的微观形貌进行表征研究，与物质在真实环境中表面可能发生的催化反应大相径庭，如何在模拟真实环境条件下，从分子层面对物质表界面发生的化学反应进行原位观测研究，是材料科学领域亟需解决的难题。如果直接在扫描探针显微镜主腔体注入不同压力或组分的反应气体，会对主腔体内壁造成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构，其特征在于，包括：筒体，上下开口设置，筒体的筒壁上开设有快开法兰观察窗，所述快开法兰观察窗一侧通过铰链与筒体铰接，另一侧通过快开卡扣与筒体连接，所述快开法兰观察窗与筒体之间通过第一密封件实现密封；顶盖，通过第一紧固件和第二密封件与所述筒体的上部开口密封连接，所述顶盖上开设有进气口、出气口、吊环以及D型真空馈通法兰；底座，通过第二紧固件和第三密封件与所述筒体的下部开口密封连接；初级减震机构，设置在所述顶盖与显微镜主腔体顶部之间，采用弹性吊绳进行悬挂减震，所述弹性吊绳的一端与所述顶盖上的吊环连接，另一端与所述显微镜主腔体顶部连接；次级减震机构，设置于所述底座底部与显微镜主腔体底部之间，由固定在所述底座底部的十字形支架和固定在显微镜主腔体底部的四对圆形永磁铁组成，所述十字型支架为无氧铜材料，且进行表面镀金处理，固定在所述底座下表面正中央，与底座刚性连接。2.根据权利要求1所述的用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构，其特征在于，所述第一密封件为O型真空橡胶密封圈。3.根据权利要求1所述的用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构，其特征在于，所述第二密封件和第三密封件均为O型无氧铜密封圈。4.根据权利要求1所述的用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞宗强，张丰，戚涛，吴浩，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：发明
国别省市：