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一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法技术
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下载一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法的技术资料
文档序号:37401121
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本发明公开了一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法,腔体结构包括筒体,筒体的筒壁上设有快开法兰观察窗,顶盖通过第一紧固件和第二密封件与筒体的上部密封连接,所述顶盖上开设有进气口、出气口以及一D型真空馈通法兰;底座通过第二紧固件...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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