【技术实现步骤摘要】
微型真空泵
[0001]本技术涉及真空泵
,具体地,涉及一种微型真空泵。
技术介绍
[0002]微型真空泵,是指具备一进一出的抽气嘴、排气嘴,内部通过机械装置使泵内部的隔膜做往复活塞式运动,并且在进口处能够持续形成负压,排气嘴处形成正压,工作介质主要为气体,体积小巧的一种装置。
[0003]微型真空泵的噪音主要由机械振动噪音和气流噪音两部分组成。现有的微型真空泵中,机械振动噪音很小,气流是噪音的主要的来源。而气流产生的噪音主要为空气动力性噪音,微型真空泵如果流量比较大的,往往在噪音控制方面不理想。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足,本申请提供一种微型真空泵。
[0005]本申请公开的一种微型真空泵包括:旋转驱动装置及泵体,泵体包括壳体、阀座及隔膜组件,壳体内具有第一腔室及第二腔室,阀座位于第一腔室及第二腔室之间,阀座具有单向排气口,单向排气口连通第一腔室及第二腔室,隔膜组件位于第二腔室内,旋转驱动装置具有偏心输出轴,隔膜组件与偏心输出轴连接,壳体还具有与外界连通的进气口及出气口, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微型真空泵,其特征在于,包括:旋转驱动装置(1)及泵体(2),所述泵体(2)包括壳体(21)、阀座(22)及隔膜组件(23),所述壳体(21)内具有第一腔室(211)及第二腔室(212),所述阀座(22)位于所述第一腔室(211)及所述第二腔室(212)之间,所述阀座(22)具有单向排气口(221),所述单向排气口(221)连通所述第一腔室(211)及所述第二腔室(212),所述隔膜组件(23)位于所述第二腔室(212)内,所述旋转驱动装置(1)具有偏心输出轴(11),所述隔膜组件(23)与所述偏心输出轴(11)连接,所述壳体(21)还具有与外界连通的进气口(213)及出气口(214),所述进气口(213)与所述第二腔室(212)连通,所述第一腔室(211)内设有气体缓冲槽(2111),所述气体缓冲槽(2111)两端分别与所述单向排气口(221)及所述出气口(214)连通。2.根据权利要求1所述的微型真空泵,其特征在于,所述气体缓冲槽(2111)包括集气槽(2112)及过气槽(2113),所述集气槽(2112)与所述单向排气口(221)连通,所述集气槽(2112)具有一开口(2114),所述过气槽(2113)一端与所述开口(2114)连通,另一端与所述出气口(214)连通。3.根据权利要求2所述的微型真空泵,其特征在于,所述开口(2114)位于所述集气槽(2112)远离所述出气口(214)的一侧。4.根据权利要求2所述的微型真空泵,其特征在于,所述过气槽(2113)包括本体段(21131)及扩...
【专利技术属性】
技术研发人员:张小兵,张树美,张树秋,
申请(专利权)人:广东富宇邦泵阀科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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