一种转接口调节装置及一种真空泵装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种转接口调节装置及一种真空泵装置，包括：转接口支座，所述转接口支座用于支撑并紧固转接口，所述转接口通过柔性管与真空泵连通；支撑架，所述支撑架包括支撑底板，所述支撑底板用于支撑所述转接口支座，所述支撑底板上设置有滑槽，所述转接口支座配合于所述滑槽内；第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述转接口支座沿着所述滑槽移动；第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述支撑架上下移动。通过转接口调节装置可确保转接口与石英管同轴，那么就能够确保卡头与石英管同轴，如此便不需要对卡头施加外力，那么也就能够规避石英管的焊道中出现内应力，从而在很大程度大避免了石英管裂管。从而在很大程度大避免了石英管裂管。从而在很大程度大避免了石英管裂管。

【技术实现步骤摘要】
一种转接口调节装置及一种真空泵装置


[0001]本技术涉及石英管的焊接领域，更具体地说，涉及一种转接口调节装置及一种真空泵装置。

技术介绍

[0002]砷化镓晶片作为一种重要的III
‑
V族直接带隙化合物半导体材料，因其电子迁移率高、禁带宽度大、消耗功率低等特性在微电子和光电子器件领域得到广泛的应用。砷化镓晶片在微波器件、发光器件方面展现出了巨大的发展潜力，特别是目前红光LED和LD器件领域，砷化镓晶片仍为主流衬底材料。
[0003]在加工砷化镓晶片的过程中需要将砷化镓晶片放置在石英管中，之后对石英管抽真空、焊接密封，确保砷化镓晶片处于真空环境中。但是，在将石英管焊接封堵后，经常出现石英管裂管的现象。如果石英管发生裂管，那么就会损失砷化镓晶片。
[0004]因此，如何防止石英管裂管，从而避免损失砷化镓晶片，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是防止石英管裂管，从而避免损失砷化镓晶片。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：
[0006]一种转接口调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转接口调节装置，其特征在于，包括：转接口支座(1)，所述转接口支座(1)用于支撑并紧固转接口(7)，所述转接口(7)通过柔性管与真空泵连通；支撑架(2)，所述支撑架(2)包括支撑底板(21)，所述支撑底板(21)用于支撑所述转接口支座(1)，所述支撑底板(21)上设置有滑槽(23)，所述转接口支座(1)配合于所述滑槽(23)内；第一驱动组件(3)，所述第一驱动组件(3)用于驱动所述转接口支座(1)沿着所述滑槽(23)移动；第二驱动组件(4)，所述第二驱动组件(4)用于驱动所述支撑架(2)上下移动。2.根据权利要求1所述的转接口调节装置，其特征在于，所述转接口支座(1)具有与所述转接口(7)相配合的凹槽(11)；所述转接口(7)焊接于所述凹槽(11)内。3.根据权利要求1所述的转接口调节装置，其特征在于，所述第一驱动组件(3)包括第一驱动杆(31)和设置在所述第一驱动杆(31)一端的第一旋转手轮(32)，所述第一驱动杆(31)沿着所述滑槽(23)的方向布置，所述第一驱动杆(31)上设置有外螺纹，所述转接口支座(1)内设置有与所述第一驱动杆(31)上的外螺纹配合的内螺纹；所述支撑架(2)还包括相对布置的两个侧板(22)，所述转接口支座(1)位于两个所述侧板(22)之间，其中一个所述侧板(22)上设置有供所述第一驱动杆(31)贯穿的贯穿孔，所述第一驱动杆(31)可在所述贯穿孔内转动，另一个所述侧板(22)对所述第一驱动杆(31)的另一端形成阻挡。4.根据权利要求1所述的转接口调节装置，其特征在于，所述转接口支座(1)的底部连接有滑块，所述转接口支座(1)通过所述滑块与所述滑槽(23)配合。5.根据权利要求3所述的转接口调节装置，其特征在于，所述转接口调节装置还包括底座(5)，所述第二驱动组件(4)包括第二驱动杆(41)、螺套(43...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐勇，郑金龙，曾贵州，周铁军，杨小丽，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：