下载微型真空泵的技术资料

文档序号:37399042

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本申请提供一种微型真空泵,包括旋转驱动装置及泵体,泵体包括壳体、阀座及隔膜组件,壳体内具有第一腔室及第二腔室,阀座位于第一腔室及第二腔室之间,阀座具有单向排气口,单向排气口连通第一腔室及第二腔室,隔膜组件位于第二腔室内,旋转驱动装置具有偏心...
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