板面复合清洁设备和复合清洁检测方法技术

本发明专利技术提供了一种板面复合清洁设备和复合清洁检测方法，属于板件清洗领域，设备包括设置在密闭清洁机壳内的三轴机器人、激光清洁头、掩膜版和载具；掩膜版和载具之间的空间为物理清洁腔，通过物理清洁将激光气化再次冷凝的污染物以及激光冲击波击飞的污染物进行集中收集处理，防止落到产品表面形成二次污染或污染无尘室；本申请将激光清洁技术与物理清洁相结合，达到大颗粒污染物使用物理清洁，细小微粒使用激光清洁，多重清洁的办法解决玻璃检验前道的清洁问题，可在PCB、FPD、3C玻璃、3C盖板、镜头清洁等领域推广应用。镜头清洁等领域推广应用。镜头清洁等领域推广应用。

【技术实现步骤摘要】
板面复合清洁设备和复合清洁检测方法


[0001]本专利技术属于板件清洗领域，具体涉及一种板面复合清洁设备和复合清洁检测方法。

技术介绍

[0002]玻璃瑕疵AOI检测和分选设备中经常会遇到一个问题，玻璃产品表面经常会粘附灰尘，切割、镜片研磨等工艺产生的粉尘和脏污，产品在搬运或者在设备中也或多或少会粘附一部分的污染物，这些污染物从外观上实际上很难和玻璃自身的瑕疵或缺陷区分开来。
[0003]以光学玻璃AOI检测为例，目前AOI设备检测出的产品中，如果不做清洁，一次通过率仅40％。污染物导致的不良占到55％左右，瑕疵造成的不良实际统计在5％以内。具体的，以镀氟化镁膜蓝宝石玻璃为例，玻璃加工过程中的灰尘或者其他杂质经常粘附于玻璃表面，只要有一点灰尘即非常明显，严重影响AOI检测。这些脏污或灰尘分为有机物杂质或无机物杂质，有机物主要包括指纹印记，油墨，油剂，含杂质的有机溶剂，衣物细绒线，毛发等，无机物包括玻璃碎屑，粉尘等
[0004]传统的解决该问题的方法主要有以下三种：
[0005]1.提高算法能力，利用算法直接将瑕疵和污染分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种板面复合清洁设备，其特征在于，设备包括：设置在密闭清洁机壳(1)内的三轴机器人(2)、激光清洁头(3)、掩膜版(4)和载具(5)；所述激光清洁头(3)安装在所述三轴机器人(2)末节，并随所述三轴机器人(2)空间移动；所述掩膜版(4)和载具(5)依次布置在激光清洁头(3)下方，通过所述掩膜版(4)控制载具(5)上的待清洁件的激光清洁范围；所述掩膜版(4)和载具(5)之间的空间为物理清洁腔，通过物理清洁将激光气化再次冷凝的污染物以及激光冲击波击飞的污染物进行集中收集处理。2.根据权利要求1所述的板面复合清洁设备，其特征在于：在所述物理清洁腔的左端设置进风过滤除静电装置(6)，在所述物理清洁腔的右端设置出风粉尘分离装置(7)，并在所述出风粉尘分离装置(7)下方设置集尘袋(8)。3.根据权利要求2所述的板面复合清洁设备，其特征在于：所述进风过滤除静电装置(6)包括旋风分离器扇、进风滤网和进风离子风扇；所述出风粉尘分离装置(7)包括出风风扇和粉尘分离单元。4.根据权利要求1所述的板面复合清洁设备，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹迪，马晓波，孙荣光，曹葵康，周明，
申请(专利权)人：苏州天准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：