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本发明提供了一种板面复合清洁设备和复合清洁检测方法，属于板件清洗领域，设备包括设置在密闭清洁机壳内的三轴机器人、激光清洁头、掩膜版和载具；掩膜版和载具之间的空间为物理清洁腔，通过物理清洁将激光气化再次冷凝的污染物以及激光冲击波击飞的污染物进...
该专利属于苏州天准科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天准科技股份有限公司授权不得商用。

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