基于视觉检测的顶针装置及晶圆分选机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种基于视觉检测的顶针装置及晶圆分选机，所述晶圆分选机包括基于视觉检测的顶针装置，所述基于视觉检测的顶针装置包括支架组件、顶针机构、视觉检测机构和控制装置，所述顶针机构设置在所述支架组件上，所述顶针机构包括顶针和驱动组件，所述顶针与所述驱动组件驱动连接，所述驱动组件驱动所述顶针运动至预设位置；所述视觉检测机构设置在所述支架组件上，所述视觉检测机构位于所述顶针机构的上方，所述视觉检测机构用于检测所述顶针机构的位置，所述控制装置用于根据所述视觉检测机构的检测信号，控制所述驱动组件运动以调整所述顶针的位置。该设计提高更有效的，更精确的顶出晶圆。更精确的顶出晶圆。更精确的顶出晶圆。

【技术实现步骤摘要】
基于视觉检测的顶针装置及晶圆分选机


[0001]本技术涉及晶圆分选机领域，特别涉及一种基于视觉检测的顶针装置及晶圆分选机。

技术介绍

[0002]目前，半导体的使用量与日俱增，在其生产环节中需要一些高效率、稳定性好、寿命长的生产设备，晶圆分选机就是其中一种。目前的晶圆分选机为了追求高效率，分选机的用来顶出晶圆的顶出机构需要更高的来回顶出频率，由于顶针位置偏差，以及顶出距离的偏差影响顶出晶圆的工作效率。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提出一种基于视觉检测的顶针装置，旨在便于更有效的，更精确的顶出晶圆。
[0004]为实现上述目的，本技术提出的基于视觉检测的顶针装置，应用于晶圆分选机，包括：
[0005]支架组件；
[0006]顶针机构，所述顶针机构设置在所述支架组件上，所述顶针机构包括顶针和驱动组件，所述顶针与所述驱动组件驱动连接，所述驱动组件驱动所述顶针运动至预设位置；
[0007]视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在所述支架组件上，所述视觉检测机构位于所述顶针机构的上方，所述视觉检测机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于视觉检测的顶针装置，应用于晶圆分选机，其特征在于，包括：支架组件；顶针机构，所述顶针机构设置在所述支架组件上，所述顶针机构包括顶针和驱动组件，所述顶针与所述驱动组件驱动连接，所述驱动组件驱动所述顶针运动至预设位置；视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在所述支架组件上，所述视觉检测机构位于所述顶针机构的上方，所述视觉检测机构用于检测所述顶针机构的位置；控制装置，所述控制装置与所述顶针机构和所述视觉检测机构电连接，所述控制装置用于根据所述视觉检测机构的检测信号，控制所述驱动组件运动以调整所述顶针的位置。2.根据权利要求1所述的基于视觉检测的顶针装置，其特征在于，所述驱动组件包括联动件、X方向移动件和Y方向移动件，所述联动件设置在所述X方向移动件上，所述X方向移动件设置在所述Y方向移动件上，所述Y方向移动件上设置在所述支架组件上，所述联动件与所述控制装置电连接，所述顶针与所述联动件传动连接，所述联动件基于所述控制装置的控制驱动所述顶针运动至预设位置。3.根据权利要求2所述的基于视觉检测的顶针装置，其特征在于，所述X方向移动件包括第一驱动件和X方向移动模块，所述第一驱动件与所述控制装置电连接，所述第一驱动件基于所述控制装置驱动连接所述X方向移动模块，并带动所述X方向移动模块沿X轴方向移动；所述Y方向移动件包括第二驱动件和Y方向移动模块，所述第二驱动件与所述控制装置电连接，所述第二驱动件基于所述控制装置驱动连接所述Y方向移动模块，并带动所述Y方向移动模块沿Y轴方向移动；所述联动件设置在所述X方向移动模块上，所述X方向移动模块设置在所述Y方向引动模块上，所述Y方向移动模块设置在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志维，杨建，汪迪，张先俊，
申请(专利权)人：深圳市华芯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：