基于视觉检测的顶针装置及晶圆分选机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种基于视觉检测的顶针装置及晶圆分选机，所述晶圆分选机包括基于视觉检测的顶针装置，所述基于视觉检测的顶针装置包括支架组件、顶针机构、视觉检测机构和控制装置，所述顶针机构设置在所述支架组件上，所述顶针机构包括顶针和驱动组件，所述顶针与所述驱动组件驱动连接，所述驱动组件驱动所述顶针运动至预设位置；所述视觉检测机构设置在所述支架组件上，所述视觉检测机构位于所述顶针机构的上方，所述视觉检测机构用于检测所述顶针机构的位置，所述控制装置用于根据所述视觉检测机构的检测信号，控制所述驱动组件运动以调整所述顶针的位置。该设计提高更有效的，更精确的顶出晶圆。更精确的顶出晶圆。更精确的顶出晶圆。

【技术实现步骤摘要】
基于视觉检测的顶针装置及晶圆分选机


[0001]本技术涉及晶圆分选机领域，特别涉及一种基于视觉检测的顶针装置及晶圆分选机。

技术介绍

[0002]目前，半导体的使用量与日俱增，在其生产环节中需要一些高效率、稳定性好、寿命长的生产设备，晶圆分选机就是其中一种。目前的晶圆分选机为了追求高效率，分选机的用来顶出晶圆的顶出机构需要更高的来回顶出频率，由于顶针位置偏差，以及顶出距离的偏差影响顶出晶圆的工作效率。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提出一种基于视觉检测的顶针装置，旨在便于更有效的，更精确的顶出晶圆。
[0004]为实现上述目的，本技术提出的基于视觉检测的顶针装置，应用于晶圆分选机，包括：
[0005]支架组件；
[0006]顶针机构，所述顶针机构设置在所述支架组件上，所述顶针机构包括顶针和驱动组件，所述顶针与所述驱动组件驱动连接，所述驱动组件驱动所述顶针运动至预设位置；
[0007]视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在所述支架组件上，所述视觉检测机构位于所述顶针机构的上方，所述视觉检测机构用于检测所述顶针机构的位置；
[0008]控制装置，所述控制装置与所述顶针机构和所述视觉检测机构电连接，所述控制装置用于根据所述视觉检测机构的检测信号，控制所述驱动组件运动以调整所述顶针的位置。
[0009]在一实施例中，所述驱动组件包括联动件、X方向移动件和Y方向移动件，所述联动件设置在所述X方向移动件上，所述X方向移动件设置在所述Y方向移动件上，所述Y方向移动件上设置在所述支架组件上，所述联动件与所述控制装置电连接，所述顶针与所述联动件传动连接，所述联动件基于所述控制装置的控制驱动所述顶针运动至预设位置。
[0010]在一实施例中，所述X方向移动件包括第一驱动件和X方向移动模块，所述第一驱动件与所述控制装置电连接，所述第一驱动件基于所述控制装置驱动连接所述X方向移动模块，并带动所述X方向移动模块沿X轴方向移动；
[0011]所述Y方向移动件包括第二驱动件和Y方向移动模块，所述第二驱动件与所述控制装置电连接，所述第二驱动件基于所述控制装置驱动连接所述Y方向移动模块，并带动所述Y方向移动模块沿Y轴方向移动；
[0012]所述联动件设置在所述X方向移动模块上，所述X方向移动模块设置在所述Y方向引动模块上，所述Y方向移动模块设置在所述支架组件上。
[0013]在一实施例中，所述联动件包括联动主体和Z方向移动组件，所述顶针设置在所述
联动主体上，所述Z方向移动组件包括第三驱动件和Z方向移动模组，所述第三驱动件与所述控制装置电连接，所述顶针机构与所述Z方向移动模组传动连接，所述第三驱动件基于所述控制装置驱动连接所述Z方向移动模块，并带动所述Z方向移动模块沿Z轴方向移动。
[0014]在一实施例中，所述X方向移动模块、所述Y方向移动模块、所述Z方向移动模块包括同步带直线模组。
[0015]在一实施例中，所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件包括电机。
[0016]在一实施例中，所述支架组件包括第一支架和第二支架，所述顶针机构设置在所述第一支架上，所述视觉检测机构设置在所述第二支架上，所述第一支架位于所述第二支架的上方。
[0017]在一实施例中，所述视觉检测机构包括架体和视觉检测件，所述视觉检测件设置在所述架体上，所述架体设置在所述第二支架上，所述视觉检测件与所述控制装置电连接，用于检测所述顶针机构的位置。
[0018]在一实施例中，所述视觉检测件包括CCD相机。
[0019]在一实施例中，所述基于视觉检测的顶针装置还包括按钮，所述按钮活动设置在所述顶针机构上，所述按钮与所述控制装置电连接，用于控制所述顶针机构的运动。
[0020]本技术还提出一种晶圆分选机，包括：上述的基于视觉检测的顶针装置。
[0021]本技术公开了一种基于视觉检测的顶针装置，顶针装置开始工作的时候，视觉检测机构设置在顶针机构的上方，便于对顶针进行拍照，从而获取顶针的位置，再将信息反馈到控制装置，通过控制装置控制驱动组件22来调整顶针的位置，从而保证顶针的位置精度，以便于顶针在驱动组件的驱动下到达预设位置，具体的预设位置可以是晶圆处，顶针到达此处时可以将晶圆顶出，供下一道工序拾取，该设计提高了顶针的顶出效率及准确度，提高了工作效率以及提高了生产率。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0023]图1为本技术基于视觉检测的顶针装置一实施例的结构示意图；
[0024]图2为本技术视觉检测机构一实施例的结构示意图；
[0025]图3为本技术顶针机构一实施例的结构示意图；
[0026]图4为本技术基于视觉检测的顶针装置又一实施例的结构示意图。
[0027]附图标号说明：
[0028]标号名称标号名称10支架组件11第一支架12第二支架20顶针机构21顶针22驱动组件221X方向移动件222Y方向移动件223Z方向移动组件30视觉检测机构
31架体32视觉检测件
[0029]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0032]另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，若全文中出现的“和/或”或者“及/或”，其含义包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0033]本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于视觉检测的顶针装置，应用于晶圆分选机，其特征在于，包括：支架组件；顶针机构，所述顶针机构设置在所述支架组件上，所述顶针机构包括顶针和驱动组件，所述顶针与所述驱动组件驱动连接，所述驱动组件驱动所述顶针运动至预设位置；视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在所述支架组件上，所述视觉检测机构位于所述顶针机构的上方，所述视觉检测机构用于检测所述顶针机构的位置；控制装置，所述控制装置与所述顶针机构和所述视觉检测机构电连接，所述控制装置用于根据所述视觉检测机构的检测信号，控制所述驱动组件运动以调整所述顶针的位置。2.根据权利要求1所述的基于视觉检测的顶针装置，其特征在于，所述驱动组件包括联动件、X方向移动件和Y方向移动件，所述联动件设置在所述X方向移动件上，所述X方向移动件设置在所述Y方向移动件上，所述Y方向移动件上设置在所述支架组件上，所述联动件与所述控制装置电连接，所述顶针与所述联动件传动连接，所述联动件基于所述控制装置的控制驱动所述顶针运动至预设位置。3.根据权利要求2所述的基于视觉检测的顶针装置，其特征在于，所述X方向移动件包括第一驱动件和X方向移动模块，所述第一驱动件与所述控制装置电连接，所述第一驱动件基于所述控制装置驱动连接所述X方向移动模块，并带动所述X方向移动模块沿X轴方向移动；所述Y方向移动件包括第二驱动件和Y方向移动模块，所述第二驱动件与所述控制装置电连接，所述第二驱动件基于所述控制装置驱动连接所述Y方向移动模块，并带动所述Y方向移动模块沿Y轴方向移动；所述联动件设置在所述X方向移动模块上，所述X方向移动模块设置在所述Y方向引动模块上，所述Y方向移动模块设置在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志维，杨建，汪迪，张先俊，
申请(专利权)人：深圳市华芯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：