驱动装置、光刻装置以及物品的制造方法制造方法及图纸

本公开涉及驱动装置、光刻装置以及物品的制造方法。提供一种驱动装置，其特征在于，具有：电源部，对包括马达以及马达驱动器的驱动部供给电力；蓄电器，能够积蓄来自所述电源部的电力以及来自所述驱动部的再生电力；切换部，设置于所述电源部与所述蓄电器之间，用于进行使所述电源部与所述蓄电器之间的状态成为连接状态或者成为非连接状态的切换；以及控制部，控制所述切换部，所述控制部根据所述马达的驱动条件，预测为了驱动所述马达而所述马达驱动器需要的第1电压值、以及由于所述马达的驱动而变动的所述蓄电器的第2电压值，根据所述第1电压值以及所述第2电压值，控制利用所述切换部的所述切换。述切换部的所述切换。述切换部的所述切换。

【技术实现步骤摘要】
驱动装置、光刻装置以及物品的制造方法


[0001]本专利技术涉及驱动装置、光刻装置以及物品的制造方法。

技术介绍

[0002]在作为半导体元件、磁存储介质、液晶显示元件等的制造工序的光刻工序中，使用将原版(掩模或者光罩)的图案经由投影光学系统转印到基板(晶片等)的曝光装置。在一边扫描原版和基板一边将原版的图案转印到基板的步进扫描方式的曝光装置(扫描仪)中，在扫描曝光中，以反复加速、低速、反转、加速的方式，驱动原版载置台、基板载置台。在这样的载置台的驱动中，如日本特开2002
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369579号公报所公开的，使用包括旋转型马达、线性马达等致动器的马达驱动装置。
[0003]一般而言，与马达的最大输出时的功率符合地设计马达驱动装置的电源。这样，在与最需要功率的区间(期间)符合地设计马达驱动装置的电源时，上述电源变得大型化，所以在曝光装置的容积、重量、成本等方面中不利。
[0004]因此，提出一种在马达驱动装置中设置蓄电器(capacitor)，并在马达的加速驱动时也从蓄电器供给需要的电流的一部分(供电)，从而实现电源本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种驱动装置，其特征在于，具有：电源部，对包括马达以及马达驱动器的驱动部供给电力；蓄电器，能够积蓄来自所述电源部的电力以及来自所述驱动部的再生电力；切换部，设置于所述电源部与所述蓄电器之间，用于进行使所述电源部与所述蓄电器之间的状态成为连接状态或者成为非连接状态的切换；以及控制部，控制所述切换部，所述控制部根据所述马达的驱动条件，预测为了驱动所述马达而所述马达驱动器需要的第1电压值、以及由于所述马达的驱动而变动的所述蓄电器的第2电压值，根据所述第1电压值以及所述第2电压值，控制利用所述切换部的所述切换。2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述控制部在对所述驱动部供给电力而使所述马达动作之前，控制利用所述切换部的所述切换。3.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述控制部比较所述第1电压值和所述第2电压值，根据所述第1电压值和所述第2电压值的大小关系，控制利用所述切换部的所述切换。4.根据权利要求3所述的驱动装置，其特征在于，所述控制部在所述第2电压值大于所述第1电压值的情况下，以使所述电源部与所述蓄电器之间的状态成为非连接状态的方式，控制利用所述切换部的所述切换，在所述第1电压值大于所述第2电压值的情况下，以使所述电源部与所述蓄电器之间的状态成为连接状态的方式，控制利用所述切换部的所述切换。5.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，在所述电源部与所述蓄电器之间的状态是非连接状态的情况下，不将来自所述电源部的电力供给到所述驱动部，而将积蓄于所述蓄电器的电力供给到所述驱动部，并且，将来自所述驱动部的再生电力积蓄到所述蓄电器，在所述电源部与所述蓄电器之间的状态是连接状态的情况下，不将积蓄于所述蓄电器的电力供给到所述驱动部，而将来自所述电源部的电力供给到所述驱动部以及所述蓄电器，并且，将来自所述驱动部的再生电力积蓄到所述蓄电器。6.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述驱动条件包括所述马达的驱动位置、驱动速度及驱动加速度中的至少1个、所述马达的电阻及电感、以及所述蓄电器的电容。7.根据权利要求6所述的驱动装置，其特征在于，所述控制部根据所述马达的驱动位置、驱动速度及驱动加速...

【专利技术属性】
技术研发人员：大石伸司，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：