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本公开涉及驱动装置、光刻装置以及物品的制造方法。提供一种驱动装置，其特征在于，具有：电源部，对包括马达以及马达驱动器的驱动部供给电力；蓄电器，能够积蓄来自所述电源部的电力以及来自所述驱动部的再生电力；切换部，设置于所述电源部与所述蓄电器之间...
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