一种全自动真空校准系统及方法技术方案

本发明专利技术提出一种全自动真空校准系统及方法，该系统包括：机械泵和充气罐；机械泵出口连接分子筛，分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至校准腔室；充气罐连接一减压阀的入口端，减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至校准腔室；设置至少一个标准真空计，每一标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至校准腔室；设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接校准腔室。通过本发明专利技术，能够实现被校真空表的自动校准，解决真空校准装置无法自动校准的问题。校准的问题。校准的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动真空校准系统及方法


[0001]本专利技术涉及真空校准
，尤其涉及一种全自动真空校准系统及方法。

技术介绍

[0002]真空技术在航空航天、芯片制造、电子器件制造、冶金等行业得到了广泛的应用，而真空校准包含了真空获得、真空测量、真空漏率计算等多种真空技术，是检查和修正真空类仪表精度的重要手段。
[0003]目前，真空类仪表的校准工作主要是在计量实验室完成，并且，由于真空度的建立需要很精确的控制，因此真空校准装置通常需要人工手动完成不同真空度的调整，因此实现真空校准装置全自动校准能够方便用户使用并简化用户操作难度。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种全自动真空校准系统及方法，旨在解决真空校准装置需要人工手动完成校准而无法全自动校准的问题。
[0005]为此，本专利技术的第一个目的在于提出一种全自动真空校准系统，包括：
[0006]机械泵和充气罐；
[0007]机械泵出口连接分子筛，分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至校准腔室；
[0008]充气罐连接一减压阀的入口端，减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至校准腔室；
[0009]设置至少一个标准真空计，每一标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至校准腔室；
[0010]设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接校准腔室。
[0011]其中，减压阀的出口端和第三电磁隔断阀连接的路径上设置一质量流量控制器。
[0012]其中，机械泵用于创建初始的真空环境，要求极限真空为10Pa以内；分子筛利用高速旋转的转子，将动量传输至气体分子，以使气体分子获得定向速度而被压缩。
[0013]其中，分子筛出口端通过电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，形成分子泵的旁路路径；设置旁路路径，以使机械泵直接连接校准腔室，以控制校准腔室稳定在设定的高真空点进行校准。
[0014]其中，充气罐内充有氮气，用于为真空的校准腔室升压，充气罐出口设置减压阀，减压阀出口连接质量流量控制器，用于控制充气罐的充气量。
[0015]其中，质量流量控制器的出口端设置第三电磁截止阀，第三电磁截止阀连接校准腔室，用于实现质量流量控制器与真空校准腔室的隔离。
[0016]其中，校准腔室采用不锈钢或其他合金制作，校准腔室的形状选择球体状或其他
形状，校准腔室的大小根据极限真空度及校准精度来确定。
[0017]其中，设置一控制系统，控制系统用于采集所有电磁隔断阀的状态信号，控制机械泵、分子泵的启停，控制减压阀的开度以及被校真空计状态判定及结果分析。
[0018]其中，控制系统包括一触摸屏，用于显示阀门开闭情况和开度，同时显示各设备工作情况。
[0019]本专利技术的第二个目的在于提出一种全自动真空校准方法，包括：
[0020]初始化：判断全自动真空校准系统状态，包括电磁隔断阀、电动可调开度蝶阀及减压阀的阀门开关状态、机械泵、分子泵的启停状态、充气罐的压力；将状态均置为正确的状态；
[0021]校准：将被校规管对空后，调整对应被校真空计满点，使得被校真空计显示为大气压力1.0E+5Pa；将被校规管连接至校准腔室，根据标准流程启动机械泵，当真空度达到设定真空度时启动分子泵，分子泵开始进行高真空度获得；当真空度达到0.5Pa并保持稳定后查看被校真空计数值，如有偏差则进行零点调整，调整至与标准表数值一致；
[0022]充气对比：通过控制流量控制器来控制校准腔室的真空度，使校准腔室真空度达到100Pa并稳定后，采集标准真空计数值和被校真空计数值并计算偏差，完成后继续调整减压阀来控制校准腔室的真空度，使校准腔室真空度达到1000Pa并稳定后，采集标准真空计数值和被校真空计数值并计算偏差，完成后关闭充气罐的充气管路截止阀；
[0023]停机泄压：完成充气对比后停止分子泵，待分子泵停止后停止机械泵，记录被校真空计数值，应该为大气压力，如数值不对重复前述两个步骤。
[0024]关机：如果是短时间内还会使用全自动真空校准系统则保持当前状态，如超过预设时间间隔不使用全自动真空校准系统，则将被校真空计进行抽真空后关闭对应的电磁隔断阀进行保养。
[0025]区别于现有技术，本专利技术提供的全自动真空校准系统，包括：机械泵和充气罐；机械泵出口连接分子筛，分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至校准腔室；充气罐连接一减压阀的入口端，减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至校准腔室；设置至少一个标准真空计，每一标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至校准腔室；设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接校准腔室。通过本专利技术，能够实现被校真空表的自动校准，解决真空校准装置无法自动校准的问题。
附图说明
[0026]本专利技术的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0027]图1是本专利技术提供的一种全自动真空校准系统的结构示意图。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本专利技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描
述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0029]图1为本专利技术实施例所提供的一种全自动真空校准系统，包括：
[0030]机械泵201和充气罐303；
[0031]机械泵201出口连接分子筛302，分子筛302出口端通过第一电磁隔断阀401连接分子泵202，分子筛302出口端通过一电动可调开度蝶阀410连接至校准腔室301，出口端通过第二电磁隔断阀402连接至校准腔室301；
[0032]充气罐303连接一减压阀409的入口端，减压阀409的出口端通过第三电磁隔断阀403连接至校准腔室301；
[0033]设置至少一个标准真空计501，每一标准真空计501通过一第四电磁隔断阀连接至校准腔室301；
[0034]设置至少一个被校真空计安装位504，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位504在安装被校真空计后，每一被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接校准腔室301。
[0035]如图1所示，本专利技术的系统中设置了三个标准真空计501
‑
503，分别通过第四电磁隔断阀406
‑
409连接校准腔室301，同时本专利技术设置了两个被校真空计安装位504和505，分别通过第五电磁隔断阀404和405连接校准腔室301。
[0036]本专利技术系统中的机械泵20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动真空校准系统，其特征在于，包括：机械泵和充气罐；所述机械泵出口连接分子筛，所述分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，所述分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至所述校准腔室；所述充气罐连接一减压阀的入口端，所述减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至所述校准腔室；设置至少一个标准真空计，每一所述标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至所述校准腔室；设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一所述被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接所述校准腔室。2.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述减压阀的出口端和第三电磁隔断阀连接的路径上设置一质量流量控制器。3.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述机械泵用于创建初始的真空环境，要求极限真空为10Pa以内；所述分子筛利用高速旋转的转子，将动量传输至气体分子，以使所述气体分子获得定向速度而被压缩。4.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述分子筛出口端通过所述电动可调开度蝶阀连接至所述校准腔室，形成所述分子泵的旁路路径；设置所述旁路路径，以使所述机械泵直接连接所述校准腔室，以控制所述校准腔室稳定在设定的高真空点进行校准。5.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，充气罐内充有氮气，用于为真空的校准腔室升压，充气罐出口设置所述减压阀，减压阀出口连接质量流量控制器，用于控制充气罐的充气量。6.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，质量流量控制器的出口端设置所述第三电磁截止阀，所述第三电磁截止阀连接所述校准腔室，用于实现所述质量流量控制器与真空校准腔室的隔离。7.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述校准腔室采用不...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙惠敏，席京彬，吴志军，王锋，鲍学斌，何婷婷，周振德，杨强强，张振鲁，王琛，邢校萄，潘晓亮，
申请(专利权)人：华能核能技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：