一种全自动真空校准系统及方法技术方案

本发明专利技术提出一种全自动真空校准系统及方法，该系统包括：机械泵和充气罐；机械泵出口连接分子筛，分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至校准腔室；充气罐连接一减压阀的入口端，减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至校准腔室；设置至少一个标准真空计，每一标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至校准腔室；设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接校准腔室。通过本发明专利技术，能够实现被校真空表的自动校准，解决真空校准装置无法自动校准的问题。校准的问题。校准的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动真空校准系统及方法


[0001]本专利技术涉及真空校准
，尤其涉及一种全自动真空校准系统及方法。

技术介绍

[0002]真空技术在航空航天、芯片制造、电子器件制造、冶金等行业得到了广泛的应用，而真空校准包含了真空获得、真空测量、真空漏率计算等多种真空技术，是检查和修正真空类仪表精度的重要手段。
[0003]目前，真空类仪表的校准工作主要是在计量实验室完成，并且，由于真空度的建立需要很精确的控制，因此真空校准装置通常需要人工手动完成不同真空度的调整，因此实现真空校准装置全自动校准能够方便用户使用并简化用户操作难度。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种全自动真空校准系统及方法，旨在解决真空校准装置需要人工手动完成校准而无法全自动校准的问题。
[0005]为此，本专利技术的第一个目的在于提出一种全自动真空校准系统，包括：
[0006]机械泵和充气罐；
[0007]机械泵出口连接分子筛，分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动真空校准系统，其特征在于，包括：机械泵和充气罐；所述机械泵出口连接分子筛，所述分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵，所述分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室，出口端通过第二电磁隔断阀连接至所述校准腔室；所述充气罐连接一减压阀的入口端，所述减压阀的出口端通过第三电磁隔断阀连接至所述校准腔室；设置至少一个标准真空计，每一所述标准真空计通过一第四电磁隔断阀连接至所述校准腔室；设置至少一个被校真空计安装位，用于安装被校正的真空计；每一被校真空计安装位在安装被校真空计后，每一所述被校真空计同通过一第五电磁隔断阀连接所述校准腔室。2.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述减压阀的出口端和第三电磁隔断阀连接的路径上设置一质量流量控制器。3.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述机械泵用于创建初始的真空环境，要求极限真空为10Pa以内；所述分子筛利用高速旋转的转子，将动量传输至气体分子，以使所述气体分子获得定向速度而被压缩。4.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述分子筛出口端通过所述电动可调开度蝶阀连接至所述校准腔室，形成所述分子泵的旁路路径；设置所述旁路路径，以使所述机械泵直接连接所述校准腔室，以控制所述校准腔室稳定在设定的高真空点进行校准。5.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，充气罐内充有氮气，用于为真空的校准腔室升压，充气罐出口设置所述减压阀，减压阀出口连接质量流量控制器，用于控制充气罐的充气量。6.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，质量流量控制器的出口端设置所述第三电磁截止阀，所述第三电磁截止阀连接所述校准腔室，用于实现所述质量流量控制器与真空校准腔室的隔离。7.根据权利要求1所述的全自动真空校准系统，其特征在于，所述校准腔室采用不...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙惠敏，席京彬，吴志军，王锋，鲍学斌，何婷婷，周振德，杨强强，张振鲁，王琛，邢校萄，潘晓亮，
申请(专利权)人：华能核能技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：