下载一种全自动真空校准系统及方法的技术资料

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本发明提出一种全自动真空校准系统及方法,该系统包括:机械泵和充气罐;机械泵出口连接分子筛,分子筛出口端通过第一电磁隔断阀连接分子泵,分子筛出口端通过一电动可调开度蝶阀连接至校准腔室,出口端通过第二电磁隔断阀连接至校准腔室;充气罐连接一减压阀...
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