一种多功能型键合夹具与使用方法技术

本发明专利技术提供一种多功能型键合夹具与使用方法，通过将加工芯片的工作台作为底座，芯片在底座上加工完后，将盖板盖于底座上方并相互连接，盖板中间设置有夹持杆和推力杆，夹持杆和推力杆同时插入底座的固定柱中，并通过按压盖板上方的夹持杆，将设置于夹持杆下端的夹持件卡于固定柱外侧面与推力杆内侧面之间，从而完成夹持杆和推力杆同底座1之间的固定，通过把握所述推力杆或者夹持杆，在芯片刚加工完毕后便可以直接进行转移，无需等待芯片冷却后再进行操作，从而将芯片键合的整个操作时间大大缩短。缩短。缩短。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能型键合夹具与使用方法


[0001]本专利技术涉及芯片键合工艺领域，特别是涉及一种多功能型键合夹具与使用方法。

技术介绍

[0002]在芯片进行键合工艺，通常温度达到150
‑
170℃，如果直接人工用手对芯片进行取放，会将人手烫伤，难以直接对芯片进行转移，而市面上现有的芯片夹具，通常必须等到芯片自身加工完毕并且温度完全冷却后再对芯片进行夹持转移，耗时过长，并且夹具对芯片直接进行夹持，往往还会对芯片自身造成损坏。
[0003]鉴于此，克服该现有技术所存在的缺陷是本
亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是在芯片进行键合工艺后如何在更短的时间内对芯片进行转移。
[0005]本专利技术采用如下技术方案：
[0006]第一方面，一种多功能型键合夹具，包括：底座1、盖板2、推力杆3和夹持杆4，其中：
[0007]所述底座1上设置有固定柱11，所述固定柱11上端设置有凸台111；所述盖板2上设置有通孔21，所述推力杆3穿过所述通孔21，且与所述盖板2连接，所述推力杆3内壁下端设置有锥形斜面，所述夹持杆4上设置有夹持件41；
[0008]所述夹持杆4和所述推力杆3均呈中空状，部分所述夹持杆4套设在所述推力杆3内部，位于所述推力杆3之外的夹持杆4与所述推力杆3之间设置有第一弹簧42，所述夹持件41在所述锥形斜面的抵接下相对于所述夹持杆4内壁凸出距离发生变化；
[0009]其中，在所述夹持杆4压缩所述第一弹簧42向下运动的过程中，所述夹持件41相对于夹持杆4内壁的凸出距离减小，以通过所述凸台111；
[0010]施加在所述夹持杆4上的外力释放后，在所述第一弹簧42的作用下，带动所述夹持杆4向上运动，所述夹持件41相对于夹持杆4内壁的凸出距离增大，并与所述凸台111相抵接。
[0011]优选的，所述底座1上设置有孔槽14，所述固定柱11设置于所述孔槽14底部，所述孔槽14用于供所述推力杆3和所述夹持杆4插入。
[0012]优选的，所述夹持件41为钢球411，所述钢球411设置于所述夹持杆4下端的钢球孔412中，并在所述钢球孔412中能沿径向移动，从而实现所述钢球411同所述夹持杆4内壁的凸出距离发生变化。
[0013]优选的，所述钢球孔412孔径小于所述钢球411的直径，所述钢球411从所述夹持杆4外侧设置于所述钢球孔412中，所述钢球411沿径向朝内方向被所述钢球孔412限位，所述钢球411沿径向朝外方向被推力杆3的内壁限位；
[0014]当所述钢球411在所述推力杆3的锥形斜面上通过时，所述钢球411相对于夹持杆4内壁的凸出距离发生变化，从而与所述凸台111相抵接或者能够从所述凸台111周边通过。
[0015]优选的，所述夹持件41为悬梁臂413，所述悬梁臂413设置于所述夹持杆4下端，并且所述悬梁臂413外侧设置有抵接台4111，所述抵接台4111用于与所述推力杆3内壁相抵接，所述悬梁臂413下端的自由端能沿径向移动，从而实现所述悬梁臂413同所述夹持杆4内壁的凸出距离发生变化；
[0016]当所述悬梁臂413在所述推力杆3的锥形斜面上通过时，所述自由端相对于夹持杆4内壁的凸出距离发生变化，从而与所述凸台111相抵接或者能够从所述凸台111周边通过。
[0017]优选的，所述底座1上表面设置有用于放置芯片的第一芯片槽，所述盖板2下表面对应位置设置有第二芯片槽，当所述盖板2盖于所述底座1上表面时，相互对应的所述第一芯片槽与所述第二芯片槽之间的空间用于容纳芯片。
[0018]优选的，所述盖板2与所述底座1周边位置均对应设置有相互对应的定位孔12，相互对应的定位孔12通过定位销13进行配合，保证盖板2下表面的第二芯片槽与底座1上表面的第一芯片槽相互对应。
[0019]优选的，所述推力杆3穿过所述通孔21，且与所述盖板2连接，具体包括：
[0020]所述推力杆3外侧面设置有限位销钉31，当所述推力杆3插入于所述盖板2通孔21中后，所述限位销钉31插于所述通孔21内侧壁中，从而将推力杆3与盖板2之间相对连接。
[0021]优选的，所述推力杆3外侧面还设置有第二弹簧33，所述推力杆3上端设置有圆盘台32，所述第二弹簧33上端同圆盘台32下表面相抵接，所述第二弹簧33下端同所述盖板2上表面相抵接，所述第二弹簧33和所述限位销钉31共同作用保证推力杆3与盖板2相对连接的同时依然存在活动自由度。
[0022]第二方面，一种多功能型键合夹具的使用方法，使用所述的多功能型键合夹具，其中：
[0023]对所述夹持杆4施加向下的作用力，通过所述推力杆3的锥形斜面增大夹持件41相对于夹持杆4内壁的凸出距离，以使固定柱11穿过所述夹持件41所形成的通道；
[0024]撤去对所述夹持杆4施加的作用力，所述夹持杆4由于第一弹簧42的弹性恢复力相对于所述推力杆3向上移动，在所述推力杆3的锥形斜面的作用下，夹持件41相对于夹持杆4内壁的凸出距离减小，以限制所述固定柱11穿过所述夹持件41所形成的通道，所述夹持件41同所述固定柱11的凸台111相抵接，从而将盖板2固定在底座1上。
[0025]本专利技术提供一种多功能型键合夹具与使用方法，将加工芯片的工作台作为底座1，芯片在底座1上加工完后，将盖板2盖于底座1上方并相互连接，盖板2中间设置有夹持杆4和推力杆3，夹持杆4和推力杆3同时插入底座1的固定柱11中，并通过按压盖板2上方的夹持杆4，将设置于夹持杆4下端的夹持件41卡于固定柱11外侧面与推力杆3内侧面之间，从而完成夹持杆4和推力杆3同底座1之间的固定，通过把握所述推力杆3或者夹持杆4，在芯片刚加工完毕后便可以直接进行转移，无需等待芯片冷却后再进行操作，从而将芯片键合的整个操作时间大大缩短。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对本专利技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他
的附图。
[0027]图1是本专利技术实施例提供的一种多功能型键合夹具的结构示意图；
[0028]图2是本专利技术实施例提供的一种多功能型键合夹具的结构爆炸图；
[0029]图3是本专利技术实施例提供的一种多功能型键合夹具在卡合状态时的剖视图；
[0030]图4是本专利技术实施例提供的一种多功能型键合夹具在夹持杆下压状态时的剖视图；
[0031]图5是本专利技术实施例提供的一种多功能型键合夹具在分离状态时的剖视图；
[0032]图6是本专利技术实施例提供的一种多功能型键合夹具的底座的结构示意图；
[0033]图7是本专利技术实施例提供的另一种多功能型键合夹具(盖板未示出)的结构示意图；
[0034]图8是本专利技术实施例提供的另一种多功能型键合夹具在卡合状态时的剖视图；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能型键合夹具，其特征在于，包括：底座(1)、盖板(2)、推力杆(3)和夹持杆(4)，其中：所述底座(1)上设置有固定柱(11)，所述固定柱(11)上端设置有凸台(111)；所述盖板(2)上设置有通孔(21)，所述推力杆(3)穿过所述通孔(21)，且与所述盖板(2)连接，所述推力杆(3)内壁下端设置有锥形斜面，所述夹持杆(4)上设置有夹持件(41)；所述夹持杆(4)和所述推力杆(3)均呈中空状，部分所述夹持杆(4)套设在所述推力杆(3)内部，位于所述推力杆(3)之外的夹持杆(4)与所述推力杆(3)之间设置有第一弹簧(42)，所述夹持件(41)在所述锥形斜面的抵接下相对于所述夹持杆(4)内壁凸出距离发生变化；其中，在所述夹持杆(4)压缩所述第一弹簧(42)向下运动的过程中，所述夹持件(41)相对于夹持杆(4)内壁的凸出距离减小，以通过所述凸台(111)；施加在所述夹持杆(4)上的外力释放后，在所述第一弹簧(42)的作用下，带动所述夹持杆(4)向上运动，所述夹持件(41)相对于夹持杆(4)内壁的凸出距离增大，并与所述凸台(111)相抵接。2.根据权利要求1所述的多功能型键合夹具，其特征在于，所述底座(1)上设置有孔槽(14)，所述固定柱(11)设置于所述孔槽(14)底部，所述孔槽(14)用于供所述推力杆(3)和所述夹持杆(4)插入。3.根据权利要求1所述的多功能型键合夹具，其特征在于，所述夹持件(41)为钢球(411)，所述钢球(411)设置于所述夹持杆(4)下端的钢球孔(412)中，并在所述钢球孔(412)中能沿径向移动，从而实现所述钢球(411)同所述夹持杆(4)内壁的凸出距离发生变化。4.根据权利要求3所述的多功能型键合夹具，其特征在于，所述钢球孔(412)孔径小于所述钢球(411)的直径，所述钢球(411)从所述夹持杆(4)外侧设置于所述钢球孔(412)中，所述钢球(411)沿径向朝内方向被所述钢球孔(412)限位，所述钢球(411)沿径向朝外方向被推力杆(3)的内壁限位；当所述钢球(411)在所述推力杆(3)的锥形斜面上通过时，所述钢球(411)相对于夹持杆(4)内壁的凸出距离发生变化，从而与所述凸台(111)相抵接或者能够从所述凸台(111)周边通过。5.根据权利要求1所述的多功能型键合夹具，其特征在于，所述夹持件(41)为悬梁臂(413)，所述悬梁臂(413)设置于所述夹持杆(4)下端，并且所述悬梁臂(413)外侧设置有抵接台(4111)，所述抵接台(4111)用于与所述推力杆(3)内壁相抵接，所述悬梁臂(413)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊，梁郁楠，姜笑尘，徐磊，
申请(专利权)人：南京光坊科技有限公司，
类型：发明
国别省市：