一种用于太阳能电池镀膜设备的载板制造技术

技术编号:37380554 阅读:9 留言:0更新日期:2023-04-27 07:22
本发明专利技术公开了一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,涉及太阳能电池制造设备领域。一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,包括连接在镀膜设备内用于驱动旋转轴转动的驱动马达,所述旋转轴上固定安装有承载盘,还包括:多组设置在所述承载盘上的取料组件;本发明专利技术,在对硅片进行镀膜加工时,能够对硅片进行稳定的夹持固定,有效地避免硅片在加工时出现偏移,从而提高硅片在镀膜时的镀膜质量,以及硅片在完成镀膜后,通过向传送网表面喷洒丙酮液体,能够保持硅片与传送网接触面的润滑,从而以便于硅片很好的脱离传送网,并且丙酮具有防静电的作用,有效地避免镀膜后的硅片在与传送网接触摩擦时产生静电,提高了硅片镀膜加工时的安全性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池镀膜设备的载板


[0001]本专利技术属于太阳能电池制造设备
,具体地说,涉及一种用于太阳能电池镀膜设备的载板。

技术介绍

[0002]在晶体硅太阳能电池制造过程中,需要在硅片表面制备膜层,用于硅片表面的钝化、减少光的反射等,例如,在制备常规P型电池过程中,通常采用等离子体增强化学气相沉积的方法在硅片表面镀一层氮化硅膜,这层膜能够起到对硅片表面钝化和减反射的双重作用。
[0003]目前在对硅片进行镀膜时,通常采用板式设备来实现,即将硅片排列在一个平板式的载板上,将载板放置在工艺腔内对硅片表面镀膜,镀膜后在通过传送结构将硅片移出工艺腔外;然而,现有技术中,由于都是将硅片排列在一个平板式的载板上,缺少对硅片的限位固定,使得硅片放置进工艺腔内,并在载板上镀膜时,可能在镀膜的过程中出现偏移,因此,降低了硅片镀膜加工时的质量,以及硅片在完成镀膜后,硅片可能会沾附在载板上,不容易与载板分离,使得在取下载板上的硅片时,可能会造成硅片出现损坏。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足,提供一种可以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种用于太阳能电池镀膜设备的载板。
[0005]为解决上述技术问题,本专利技术采用技术方案的基本构思是:一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,包括连接在镀膜设备内用于驱动旋转轴转动的驱动马达,所述旋转轴上固定安装有承载盘,还包括:多组设置在所述承载盘上的取料组件,其中,所述取料组件包括安装板、转轴一、转轴二、转轴三、传送网、驱动部,所述安装板对称固定连接在承载盘上,所述转轴一、转轴二和转轴三均转动连接在安装板上,所述转轴一和转轴二上均固定套接有第一摩擦筒,所述传送网套接在两组所述第一摩擦筒之间,所述驱动部连接在安装板上,且用于驱动所述转轴二转动的,所述转轴三上固定套接有第二摩擦筒;夹持板,对称滑动连接在所述传送网上,且用于对放置在所述传送网上的硅片进行夹持;支撑杆,固定连接在所述安装板上;多组丙酮雾化喷头,固定连接在所述支撑杆上,且用于向所述传送网表面喷洒丙酮液体。
[0006]为了驱动两组夹持板移动,优选地,两组所述安装板上均固定连接有支撑座,所述支撑座上固定安装有电动伸缩杆,所述夹持板连接在电动伸缩杆的输出端上。
[0007]为了提高夹持板对待镀膜硅片的夹持效果,进一步地,所述电动伸缩杆的输出端固定连接有连接块,所述连接块上固定连接有支撑架,所述支撑架上滑动连接有支撑滑板,所述支撑滑板上滑动连接有两组导向杆,所述夹持板固定连接在两组导向杆上,所述支撑滑板与夹持板之间固定连接有弹簧,所述支撑架上设有用于拉动支撑滑板进行升降的升降
组件。
[0008]为了拉动支撑滑板在支撑架上升降,更进一步地,所述升降组件包括限位板、拉绳、锁块,所述限位板固定连接在导向杆贯穿支撑滑板的一端上,所述锁块固定连接在支撑滑板上,所述支撑架上固定连接有固定座一,所述固定座一上对称转动连接有两个辅助滑轮,所述拉绳其一端与限位板固定连接,另一端穿过两个辅助滑轮与锁块固定连接,所述支撑架上开设有限位滑槽,所述支撑滑板滑动连接在限位滑槽内。
[0009]为了能够向丙酮雾化喷头内供液,更进一步地,所述支撑滑板上一体成型有固定座二,所述固定座二上固定连接有活塞筒,所述活塞筒内滑动连接有活塞盘,所述活塞盘上固定连接有活塞杆,所述活塞杆远离活塞盘的一端与限位板固定连接,所述支撑杆内设有与丙酮雾化喷头固定连通的中空腔,所述承载盘底部固定连接有储液筒,所述活塞筒通过导管一与储液筒内腔固定连通,所述活塞筒通过导管二与中空腔固定连通。
[0010]为了能够对丙酮液体进行过滤循环使用,优选地,所述承载盘上侧内嵌开设有液体回收槽,所述液体回收槽位于传送网的下方,所述液体回收槽内设有活性炭滤网,所述液体回收槽通过导管三与储液筒内腔固定连通。
[0011]为了能够便于对储液筒内的丙酮液体进行更换,进一步地,所述储液筒上固定连通有排污管,所述排污管上设有阀门开关。
[0012]优选地,所述夹持板上固定连接有托板。
[0013]为了对夹持在夹持板上的硅片起到托举的作用,进一步地,所述托板与夹持板之间形成托槽,所述托板的一侧呈倾斜设置。
[0014]为了驱动转轴二转动,优选地,驱动所述转轴二转动的驱动部包括电机,所述电机固定安装在安装板上,所述转轴二贯穿安装板的一端与电机的输出端固定连接。
[0015]采用上述技术方案后,本专利技术与现有技术相比具有以下有益效果:本专利技术,在对硅片进行镀膜加工时,能够对硅片进行稳定的夹持固定,有效地避免硅片在加工时出现偏移,从而提高硅片在镀膜时的镀膜质量,以及硅片在完成镀膜后,通过向传送网表面喷洒丙酮液体,能够保持硅片与传送网接触面的润滑,从而以便于硅片很好的脱离传送网,并且丙酮具有防静电的作用,有效地避免镀膜后的硅片在与传送网接触摩擦时产生静电,提高了硅片镀膜加工时的安全性。
[0016]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的描述。
附图说明
[0017]在附图中:图1是本专利技术一种用于太阳能电池镀膜设备的载板的承载盘剖视图;图2是本专利技术一种用于太阳能电池镀膜设备的载板的传送网剖视图;图3是本专利技术一种用于太阳能电池镀膜设备的载板的部分结构示意图一;图4是本专利技术一种用于太阳能电池镀膜设备的载板的部分结构示意图二;图5是本专利技术一种用于太阳能电池镀膜设备的载板的承载盘结构示意图;图6是本专利技术一种用于太阳能电池镀膜设备的载板的储液筒剖视图;图7是本专利技术一种用于太阳能电池镀膜设备的载板的图4中A部分的放大图;图8是本专利技术一种用于太阳能电池镀膜设备的载板的图1中B部分的放大图。
[0018]图中:1、旋转轴;101、承载盘;2、安装板;201、转轴一;202、转轴二;203、第一摩擦筒;204、转轴三;205、第二摩擦筒;206、传送网;207、电机;3、支撑座;301、电动伸缩杆;302、连接块;303、支撑架;304、限位滑槽;305、支撑滑板;306、导向杆;307、弹簧;4、夹持板;401、托板;402、托槽;5、限位板;501、锁块;502、拉绳;503、固定座一;504、辅助滑轮;6、储液筒;601、排污管;602、阀门开关;7、固定座二;701、活塞筒;702、活塞盘;703、活塞杆;704、导管一;705、导管二;706、支撑杆;707、中空腔;708、丙酮雾化喷头;8、液体回收槽;801、活性炭滤网;802、导管三。
具体实施方式
[0019]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,以下实施例用于说明本专利技术,但不用来限制本专利技术的范围。
[0020]实施例1:参照图1

图8,一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,包括连接在镀膜设备内用于驱动旋转轴1转动的驱动马达,旋转轴1上固定安装有承载盘101,还包括:多组设置在承载盘101上的取料组件,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,包括连接在镀膜设备内用于驱动旋转轴(1)转动的驱动马达,所述旋转轴(1)上固定安装有承载盘(101),其特征在于,还包括:多组设置在所述承载盘(101)上的取料组件,其中,所述取料组件包括安装板(2)、转轴一(201)、转轴二(202)、转轴三(204)、传送网(206)、驱动部,所述安装板(2)对称固定连接在承载盘(101)上,所述转轴一(201)、转轴二(202)和转轴三(204)均转动连接在安装板(2)上,所述转轴一(201)和转轴二(202)上均固定套接有第一摩擦筒(203),所述传送网(206)套接在两组所述第一摩擦筒(203)之间,所述驱动部连接在安装板(2)上,且用于驱动所述转轴二(202)转动的,所述转轴三(204)上固定套接有第二摩擦筒(205);夹持板(4),对称滑动连接在所述传送网(206)上,且用于对放置在所述传送网(206)上的硅片进行夹持;支撑杆(706),固定连接在所述安装板(2)上;多组丙酮雾化喷头(708),固定连接在所述支撑杆(706)上,且用于向所述传送网(206)表面喷洒丙酮液体。2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,其特征在于,两组所述安装板(2)上均固定连接有支撑座(3),所述支撑座(3)上固定安装有电动伸缩杆(301),所述夹持板(4)连接在电动伸缩杆(301)的输出端上。3.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,其特征在于,所述电动伸缩杆(301)的输出端固定连接有连接块(302),所述连接块(302)上固定连接有支撑架(303),所述支撑架(303)上滑动连接有支撑滑板(305),所述支撑滑板(305)上滑动连接有两组导向杆(306),所述夹持板(4)固定连接在两组导向杆(306)上,所述支撑滑板(305)与夹持板(4)之间固定连接有弹簧(307),所述支撑架(303)上设有用于拉动支撑滑板(305)进行升降的升降组件。4.根据权利要求3所述的一种用于太阳能电池镀膜设备的载板,其特征在于,所述升降组件包括限位板(5)、拉绳(502)、锁块(501),所述限位板(5)固定连接在导向杆(306)贯穿支撑滑板(305)的一端上,所述锁块(501)固定连接在支撑滑板(305)上...

【专利技术属性】
技术研发人员:董文鹏李强强刘海林
申请(专利权)人:中润新能源徐州有限公司
类型:发明
国别省市:

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