偏振不敏感硅上液晶制造技术

提供了一种偏振不敏感的光学相位调制器，包括：玻璃基板；液晶元件；在液晶元件的相邻于玻璃基板的第一表面上的第一电极；在液晶元件的第二表面上的第二电极。第一电极和第二电极跨液晶元件供给电势以驱动液晶。调制器还包括在第二电极上的硅背板。第一电极是透明电极并且在玻璃基板的表面上。第二电极包括可单独寻址的像素和在像素表面上的反射金属镜。调制器进一步包括在第二电极和液晶元件之间的聚合物四分之一波片(QWP)，聚合物QWP具有与液晶慢轴成45度的光轴。轴成45度的光轴。轴成45度的光轴。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】偏振不敏感硅上液晶
[0001]要求优先权
[0002]本申请要求2020年8月11日提交的题为“偏振不敏感硅上液晶(LCOS)相位调制器”的美国临时申请No.63/064,032的优先权，其内容在此被通过引用合并于此，如同其全部内容被阐述一样。


[0003]本创新构思一般涉及相位调制器器件，并且更特别地，涉及基于光学偏振不敏感的液晶的光学相位调制器。

技术介绍

[0004]硅上液晶(LCOS)器件除了其它应用方面之外例如被用作光学相位调制器。LCOS器件可以通过向信号施加空间相关的相位分布来空间地操纵光学信号。这具有许多应用，包括束转向、谱补偿、前波整形和全息显示。
[0005]参照图1，将讨论常规LCOS器件100的侧视图。如所图示那样，LCOS器件100包括在具有透明电极125的透明玻璃基板105和安装在硅基板101上的金属镜115之间的液晶(LC)材料110。透明电极125可以是氧化铟锡(ITO)电极。镜115被划分成可单独寻址的像素的二维(2
‑
D)阵列。每个像素是由电压信号可单独驱动的，以向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种偏振不敏感的光学相位调制器，包括：玻璃基板；液晶元件；在液晶元件的相邻于玻璃基板的第一表面上的第一电极；在液晶元件的与第一表面相对的第二表面上的第二电极，第一电极和第二电极跨液晶元件供给电势来以预定配置驱动液晶；与液晶元件相对的第二电极上的硅背板；其中第一电极是对于所选择的波长的透明电极并且在玻璃基板的表面上；以及其中第二电极包括可单独寻址的像素和在像素表面上的反射金属镜，并且在硅背板的表面上；以及聚合物四分之一波片(QWP)，其在第二电极和液晶元件之间，聚合物QWP具有与液晶慢轴成45度的光轴，其中反射的光在第二次穿过液晶元件之前具有90度偏振旋转；以及其中第二次通过液晶元件的反射的光具有与第一次通过液晶元件的入射光的相位调制不同的相位调制，使得输出的光对于两个偏振分量而言具有相同的相位调制。2.如权利要求1所述的偏振不敏感的光学相位调制器，其中聚合物QWP包括用于所选择的波长的四分之一波片。3.如权利要求2所述的偏振不敏感的光学相位调制器，其中对于显示和/或电信应用而言所选择的波长具有0.4μm到2.0μm的范围。4.如权利要求1所述的偏振不敏感的光学相位调制器，其中聚合物QWP包括在线性光致聚合层的表面上的双折射液晶聚合物。5.如权利要求4所述的偏振不敏感的光学相位调制器，其中液晶聚合物是使用非偏振紫外(UV)光束曝光的。6.如权利要求5所述的偏振不敏感的光学相位调制器，进一步包括线性光致聚合元件，其在硅背板的表面上并且被具有与液晶元件的慢轴成45
°
的偏振方向的偏振UV光束曝光。7.如权利要求1所述的偏振不敏感的光学相位调制器，其中聚合物QWP包括与不同的应用对应的不同图案。8.如权利要求1所述的偏振不敏感的光学相位调制器，其中液晶元件具有从大约2μm到大约10μm的厚度。9.如权利要求1所述的偏振不敏感的光学相位调制器，其中QWP具有从大约0.4μm到大约4μm的厚度。10.如权利要求1所述的偏振不敏感的光学相位调制器，进一步包括在第一电极和液晶元件之间的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛崇昌，
申请(专利权)人：毛崇昌，
类型：发明
国别省市：