软毡热场支撑结构以及软毡热场支撑结构的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种软毡热场支撑结构以及软毡热场支撑结构的制备方法。上述的软毡热场支撑结构包括支撑板与支撑柱，所述支撑板的上表面具有第一凹槽，所述支撑板的下表面具有第二凹槽，所述第一凹槽用于供坩埚配合，所述第二凹槽用于供保温部件配合，所述第一凹槽的槽底面与所述第二凹槽的槽底面通过连通通道相通；所述支撑板的下底面连接有多个所述支撑柱，所述支撑板与所述支撑柱的制备材料为碳纤维网胎和碳纤维布。上述软毡热场支撑结构，能够支撑起发热筒以及坩埚，能够有效避免在生产过程中因为放置和加热时旋转、上下升降过程中易出现的坩埚倾斜问题。易出现的坩埚倾斜问题。易出现的坩埚倾斜问题。

【技术实现步骤摘要】
软毡热场支撑结构以及软毡热场支撑结构的制备方法


[0001]本专利技术涉及材料
，特别是涉及一种软毡热场支撑结构以及软毡热场支撑结构的制备方法。

技术介绍

[0002]目前碳化硅晶体生长主要采用气相传输法(PVT)的方法。气相传输法生长碳化硅晶体的生长炉一般都采用感应加热的方式，即在感应线圈中通中高频交流电，通过坩埚的感应发热对生长炉的生长室内的原料进行加热，使原料分解，在温度较低的籽晶处结晶生长，从而实现碳化硅晶体的生长。为实现晶体生长所需要的热场要求，有两种方式应用最多，一是软毡缠制热场；二是硬毡组装热场。硬毡组装热场损耗大。相比硬毡，软毡缠制热场在经济价值上更低，适用性强。由于软毡抗形变能力差，在高温下易发生形变导致软毡无法定型，软毡缠制热场在放置过程以及加热时旋转、上下升降过程中，容易使坩埚出现倾斜、移位，导致坩埚位置发生不可控变化，最终使产品质量下降。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对传统的软毡缠制热场形变能力差，在高温下易发生形变导致软毡无法定型，软毡缠制热场在放置过程以及加热时旋转、上下升降过程中，容易使坩埚出现倾斜、移位，导致坩埚位置发生不可控变化的问题，提供一种软毡热场支撑结构。
[0004]本专利技术的软毡热场支撑结构结构性能稳定，抗形变能力强，在放置过程以及加热时旋转、上下升降过程中能够保证坩埚位置的一致性，提高产品质量及品质稳定性。
[0005]一实施例提供了一种软毡热场支撑结构，包括支撑板与支撑柱，所述支撑板的上表面具有第一凹槽，所述支撑板的下表面具有第二凹槽，所述第一凹槽用于供坩埚配合，所述第二凹槽用于供保温部件配合，所述第一凹槽的槽底面与所述第二凹槽的槽底面通过连通通道相通；所述支撑板的下底面连接有多个所述支撑柱，所述支撑板与所述支撑柱的制备材料为碳纤维网胎和碳纤维布。
[0006]在其中一些实施例中，各个所述支撑柱与所述支撑板可拆卸式连接。
[0007]在其中一些实施例中，所述支撑板的下底面具有多个螺纹孔，各个所述支撑柱与所述支撑板螺纹连接。
[0008]在其中一些实施例中，所述支撑柱分布于所述支撑板的边缘位置。
[0009]本专利技术的另一目的还在于提供一种软毡热场支撑结构的制备方法。
[0010]一实施例提供了一种所述软毡热场支撑结构的制备方法，包括如下步骤：
[0011]步骤(1)、将层叠连接的若干层碳纤维网胎和若干层碳纤维布通过反复穿透针刺制成穿刺毛坯；
[0012]步骤(2)、对所述穿刺毛坯进行固化成型处理，得到碳纤维预制体；
[0013]步骤(3)、通过化学气相沉积对所述碳纤维预制体进行增密和沉积涂层，得到碳/碳支撑件材料；
[0014]步骤(4)、对所述碳/碳支撑件材料进行机械加工，得到预设标准尺寸的支撑柱和支撑板；
[0015]步骤(5)、对所述支撑柱和所述支撑板进行石墨化处理；以及
[0016]步骤(6)、对所述支撑柱和支撑板进行纯化处理。
[0017]在其中一些实施例中，若干层所述碳纤维网胎和若干层所述碳纤维布按照交替方式层叠连接。
[0018]在其中一些实施例中，所述固化成型处理时，固化成型温度为100℃
‑
400℃，固化成型时间为2
‑
10h。
[0019]在其中一些实施例中，所述化学气相沉积时，化学气相沉积温度为900℃
‑
1300℃，沉积时间为8
‑
20h。
[0020]在其中一些实施例中，所述石墨化处理时，石墨化温度为1800℃
‑
2400℃，保温时间为2
‑
10h。
[0021]在其中一些实施例中，所述穿刺毛坯的厚度为2cm
‑
20cm。
[0022]上述软毡热场支撑结构，能够支撑起发热筒以及坩埚，能够有效避免在生产过程中因为放置和加热时旋转、上下升降过程中易出现的坩埚倾斜问题。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。
[0025]图1为本专利技术一实施例所述的软毡热场支撑结构示意图；
[0026]图2为本专利技术一实施例所述的软毡热场支撑结构与保温部件、坩埚、发热筒配合示意图示意图。
[0027]附图标记说明
[0028]10、软毡热场支撑结构；100、支撑板；101、第一凹槽；102、第二凹槽；103、连通通道；200、支撑柱；21、保温部件；22、坩埚；23、发热筒。
具体实施方式
[0029]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0030]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0031]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0032]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0033]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软毡热场支撑结构，其特征在于，包括支撑板与支撑柱，所述支撑板的上表面具有第一凹槽，所述支撑板的下表面具有第二凹槽，所述第一凹槽用于供坩埚配合，所述第二凹槽用于供保温部件配合，所述第一凹槽的槽底面与所述第二凹槽的槽底面通过连通通道相通；所述支撑板的下底面连接有多个所述支撑柱，所述支撑板与所述支撑柱的制备材料为碳/碳复合材料。2.根据权利要求1所述的软毡热场支撑结构，其特征在于，各个所述支撑柱与所述支撑板可拆卸式连接。3.根据权利要求2所述的软毡热场支撑结构，其特征在于，所述支撑板的下底面具有多个螺纹孔，各个所述支撑柱与所述支撑板螺纹连接。4.根据权利要求1
‑
3任意一项所述的软毡热场支撑结构，其特征在于，所述支撑柱分布于所述支撑板的边缘位置。5.一种权利要求1
‑
4任意一项所述的软毡热场支撑结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤(1)、将层叠连接的若干层碳纤维网胎和若干层碳纤维布通过反复穿透针刺制成穿刺毛坯；步骤(2)、对所述穿刺毛坯进行固化成型处理，得到碳纤维预制体；步骤(3)、通过化学气相沉积对所述碳纤维预制体进行增密和沉积涂层，得到碳/碳支撑件材料；步骤(4)、对所述碳/碳支撑件材料进行机械加工，得到预设标准尺寸的支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：李丙菊，彭浩波，吴海源，谭善宥，廖广庭，李军，廖寄乔，
申请(专利权)人：湖南金博碳基材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：