【技术实现步骤摘要】
一种二氯二氢硅组分的检测方法
[0001]本专利技术涉及二氯二氢硅组分检测
,具体涉及一种二氯二氢硅组分的检测方法。
技术介绍
[0002]二氯二氢硅在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。空气中易燃,44℃以上能自燃。燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成氯化氢、氯、氢和不定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4,可溶于苯、醚和四氯化碳,与碱、乙醇、丙酮起反应。即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生激烈反应。与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。与三氟化锑反应生成氟硅烷。
[0003]目前主要通过顶空进样器并通过微量注射器抽取其顶部气体进行色谱分析,但是该方法,检测误差较大,影响了对于二氯二氢硅中成分含量检测的准确性。同时,二氯二氢硅会与空气接触,对于二氯二氢硅中成分含量的检测的适用性不佳,无法满足使用需求。
[0004]综上所述,研发一种二氯二氢硅组分的检测方法,是二氯二氢硅组分检测
中急需解决
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种二氯二氢硅组分的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)对取样器内的空气进行置换,再向取样器内加入二氯二氢硅;(2)将取样器抽真空,再将取样器水浴加热;(3)向取样器内加入液氮,调整取样器的温度,使得取样器内气液平衡;(4)再向取样器内通入载气加压,将载气和样品通入气相色谱仪、检测器进行检测分析,其中:检测器为热导池检测器,工作电流为100,检测器室温度为100℃,汽化室温度为80℃,层析室温度为36
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38℃,载气为纯度为氢气,载气流量为40ml/min;色谱分离柱为中φ3
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3000mm不锈钢柱,其填充物中,硅油I:101白色硅烷化担体(40
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60)目=30:60。2.根据权利要求1所述的一种二氯二氢硅组分的检测方法,其特征在于,在步骤(1)中,对取样器内的空气进行置换的过程如下:将取样器置于水浴锅中进行水浴加热,并开启与取样器连接的单向排气阀;加热完成后,关闭与取样器连接的单向排气阀,冷却至室温;再向取样器内通入高纯氮气,并重新开启与取样器连接的单向排气阀,将取样器内的空气排出,然后关闭取样器连接的单向排气阀,完成取样器内的空气置换。3.根据权利要求2所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:金向华,陈琦峰,刘志军,
申请(专利权)人:金宏气体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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