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本发明涉及二氯二氢硅组分检测技术领域，具体涉及一种二氯二氢硅组分的检测方法；本发明所提供的方法，对取样器内的空气进行置换；再向取样器内加入二氯二氢硅，将取样器抽真空；再将取样器水浴加热，向取样器内加入液氮，调整取样器的温度，使得取样器内气液...
该专利属于金宏气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过金宏气体股份有限公司授权不得商用。

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