【技术实现步骤摘要】
一种高精度半导体测试电源多路输出控制方法及系统
[0001]本申请涉及半导体测试电源
，更具体的说，本申请涉及一种高精度半导体测试电源多路输出控制方法及系统。
技术介绍
[0002]现代半导体生产流程中，往往需要半导体测试电源提供多路输出等级不同的测试电压，通过将半导体的输出响应和预期输出进行比较，可以确定或评估集成电路功能和性能。
[0003]在现有技术中，对于半导体测试电源的电压信号多路输出往往采用单输出反馈的方式对其中一路主输出电压进行反馈补偿，其他路的副输出电压则通过变压器的匝数比关系进行调节，这会导致其他路的副输出电压输出跟随性能较差，由于变压器绕组间存在漏感，当输出多路电压时，副边绕组会积累彼此之间的负载影响，导致半导体测试电源多路输出电压彼此间的交叉调整率较高。
技术实现思路
[0004]本申请要解决的技术问题是提供一种高精度半导体测试电源多路输出控制方法及系统，以有效降低多路输出电压彼此间的交叉调整率。
[0005]为解决所述技术问题，本申请采用如下技术方案：第一方面，本...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高精度半导体测试电源多路输出控制方法，其特征在于，包括如下步骤：获取所述半导体测试电源输出端待输出的多个测试电信号；对所述待输出的多个测试电信号进行电压采集，得到测试电信号的电压值集合，将所述电压值集合与标准电压参数比对，得到电压参数偏差集合；当待输出的测试电信号的个数高于预设的群控阈值时，对所述电压参数偏差集合和所述标准电压参数进行非参数检验估计，得到电压偏差的联合概率密度分布，根据所述电压偏差的联合概率密度分布确定电压偏差控制参数矩阵，根据所述电压偏差控制参数矩阵对待输出的多个测试电信号进行群控补偿，得到对应的多个标准差电信号；当待输出的多个测试电信号的个数低于预设的群控阈值时，根据所述电压参数偏差集合确定电压偏差的离散概率分布，根据所述电压偏差的离散概率分布确定电压偏差的数学期望值，根据所述电压偏差的数学期望值和标准电压参数确定电压偏差控制参数矩阵，根据所述电压偏差控制参数矩阵对待输出的多个测试电信号进行群控补偿，得到对应的多个标准差电信号；对群控后的多个标准差电信号进行电压采集，得到标准差电压值集合，根据所述标准差电压值集合确定多个标准差电信号各自对应的上控时间，根据所述上控时间，通过预设的开环补偿器对多个标准差电信号进行顺序分时补偿，得到对应的多个补偿测试电源电压信号，将所述多个补偿测试电源电压信号作为半导体测试电源最终的多路电压输出。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述电压偏差的联合概率密度分布确定电压偏差控制参数矩阵包括：根据电压偏差的联合概率密度分布确定所述测试电信号的边缘概率密度分布；根据所述测试电信号的电压值集合与所述测试电信号的边缘概率密度的乘积在电压值分布域上的积分结果，确定电压偏差控制参数矩阵。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述电压偏差控制参数矩阵对待输出的多个测试电信号进行群控补偿包括：在半导体测试电源电路中的多输出变压器的原边绕组中加入群控补偿器；根据所述电压偏差控制参数，确定该群控补偿器的控制参数，通过该群控补偿器，对待输出的多个测试电信号进行群控补偿。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述上控时间，通过预设的开环补偿器对多个标准差电信号进行顺序分时补偿包括：根据所述多个标准差电信号对应的上控时间对所述多个标准差电信号进行排序，得到排序结果；将所述标准差电压值集合与标准电压参数进行比较得到标准差电压偏差，根据所述标准差电压偏差正负性将多个标准差电信号分为正偏差电信号群和反偏差电信号群；设置正向开环积分补偿器，根据所述排序结果与所述多个标准差电信号对应的上控时间，通过所述正向开环积分补偿器对所述正偏差电信号群进行顺序分时补偿；设置反向开环积分补偿器，根据所述排序结果与所述多个标准差电信号对应的上控时间，通过所述反向开环积分补偿器对所述反偏差电信号群进行顺序分时补偿。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取所述半导体测试电源输出端待输出的多个测试电信号包括：
对半导体测试电源输入端接收到的交流电源信号进行整流，得到整流后的脉动直流电压，对所述脉动直流电压进行滤波，得到原边电压，对所述原边电压进行变压，得到所述半导体测试电源输出端待输出的多个测试电信号。6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱登川，胡生员，罗奇，廖远光，曹小建，周杰，支婉云，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体测试技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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