用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置，包括支撑组件、水冷挡板组件、极靴组件、光阑组件、热屏蔽组件和坩埚组件；所述水冷挡板组件设置于支撑组件上方，坩埚组件设置于水冷挡板组件的中间；光阑组件设置于水冷挡板组件的顶部边缘；热屏蔽组件围绕坩埚组件设置；极靴组件设置于水冷挡板组件的水冷盒内。本发明专利技术针对装置的功能进行集中整合，采用模块化设计，将装置整体作为真空密封的边界，对坩埚、电磁偏转装置、水冷系统等设备整合，在保证功能性的前提下，使得装置的适用范围、可操作性、成熟度均有显著提升。成熟度均有显著提升。成熟度均有显著提升。

【技术实现步骤摘要】
用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置


[0001]本专利技术属于电子束熔炼及电子束蒸发领域，具体涉及一种用于电子束蒸发熔炼的专用蒸发器装置。

技术介绍

[0002]电子束熔炼指的是利用在真空下受热阴极表面发射的电子流，在高压电场的作用下产生高速运动，并通过聚焦、偏转使高速电子流准确的射向坩埚，把高速电子的动能转变成热能被坩埚内物料吸收，使物料金属熔化。其中电子束熔炼过程所涉及到设备主要包括电子枪、真空系统、水冷坩埚、水冷系统、电磁偏转装置等。电子枪作为热源，为物料的融化蒸发提供能量。真空系统为设备运行提供所需环境。坩埚作为物料的直接载体，需要保证足够的强度，在真空室内准确定位与电子枪配合，使电子束轰击物料合适的位置使其加热蒸发。水冷系统为保证装置长时间稳定运行，可带走在熔炼过程中环境中所积累的多余热量。电磁偏转装置为电子束运行轨迹路径上提供均匀磁场，使电子束按照预先设定轨迹偏转，稳定运行至坩埚熔池内。因此电子束熔炼过程所涉及设备众多，需要相互之间的紧密配合。
[0003]目前所使用的专用熔炼装置，电子枪、坩埚、电磁偏转装置、水冷系统多为分散布本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置，其特征在于：包括支撑组件(1)，水冷挡板组件(2)设置于支撑组件(1)上方，坩埚组件(6)设置于水冷挡板组件(2)的中间；光阑组件(4)设置于水冷挡板组件(2)的顶部边缘；热屏蔽组件(5)围绕坩埚组件(6)设置；极靴组件(3)在坩埚组件(6)区域形成均匀磁场。2.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置，其特征在于：所述支撑组件(1)包括底法兰(7)，底法兰(7)顶面设置多个支撑管(8)和多个高度调节柱(10)，支撑管(8)设置于高度调节柱(10)外围；底法兰(7)底面设置多个支撑底座(9)；所述底法兰(7)底面形成十字型定位槽(11)。3.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置，其特征在于：所述水冷挡板组件(2)包括水冷挡板(19)、法兰管(20)和水道连接水管(21)；所述水冷挡板(19)包括中间形成坩埚组件安装孔(27)的台板(22)，台板(22)顶部设置两个水冷盒(23)，底部设置Ⅰ号水槽(24)和Ⅱ号水槽(25)；法兰管(20)设置于台板(22)底部且与坩埚组件安装孔(27)同轴，水道连接水管(21)设置于水冷挡板(19)底部，实现两个水冷盒(23)、Ⅰ号水槽(24)和Ⅱ号水槽(25)的单向连通。4.根据权利要求3所述的用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置，其特征在于：所述坩埚组件安装孔(27)两侧均形成水冷盒安装孔(26)，其中一个水冷盒安装孔(26)外侧形成多个贯穿电极安装孔(28)；台板(22)顶部边缘形成密封框安装槽(32)。5.根据权利要求3所述的用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置，其特征在于：所述水冷盒(23)是由两块水道板组件相对扣合组成的中间镂空夹心结构，所述水道板组件包括水道板(33)和水道盖板(34)，水道板(33)一侧形成蛇形布局的水道槽(65)，水道盖板(34)与水道板(33)设置有水道槽(65)的一侧焊接固定，水道板(33)底部设置两个水孔(35)。6.根据权利要求1所述的用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置，其特征在于：所述极靴组件(3)包括磁场机构和固定机构，磁场机构包括铁芯棒(44)、套设于铁芯棒(44)外部的磁场线圈(45)、左铁板(38...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫超，张涛，赵国华，罗立平，许文强，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：发明
国别省市：