下载用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置的技术资料

文档序号:37361860

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本发明公开了一种用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置,包括支撑组件、水冷挡板组件、极靴组件、光阑组件、热屏蔽组件和坩埚组件;所述水冷挡板组件设置于支撑组件上方,坩埚组件设置于水冷挡板组件的中间;光阑组件设置于水冷挡板组件的顶部边缘;热屏蔽组件围绕...
该专利属于核工业理化工程研究院所有,仅供学习研究参考,未经过核工业理化工程研究院授权不得商用。

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