光学结构、读数头和光学传感器制造技术

本实用新型专利技术公开一种光学结构、读数头和光学传感器，光学结构包括光源组件、光栅组件和探测组件，光栅组件包括间隔设置的第一光栅和第二光栅，第一光栅具有与光源组件相向设置的第一衍射反射面，第二光栅具有与第一衍射反射面相向设置的第二衍射反射面，光源组件用于发出光束至第一光栅，第一光栅用于将光源组件发出的光束第一次反射衍射至第二光栅，第二光栅用于将第一次反射衍射的光束第二次衍射反射至第一光栅；第一光栅，还用于将第二次反射衍射的光束第三次衍射反射至探测组件。本实用新型专利技术的光学结构采用衍射反射面相向设置的第一光栅和第二光栅，能够提高位移探测精度。能够提高位移探测精度。能够提高位移探测精度。

【技术实现步骤摘要】
光学结构、读数头和光学传感器


[0001]本技术涉及检测
，尤其涉及一种光学结构、读数头和光学传感器。

技术介绍

[0002]在光栅位移检测中，可直接对两块光栅的投影即莫尔条纹进行计数以实现位移探测，而由于莫尔条纹计数探测在光学方向存在理论精度上限，因此，若需实现更高精度的位移探测，则需要使用光栅干涉的技术方案。通常通过光栅将衍射光束进行分束或整合以进行干涉探测，但是，现有的光栅编码器结构，通常通过将两块衍射光栅设置成一透射一反射的形式，形成等效的三光栅结构，该结构只能形成对光学位移信号的2倍细分，对探测精度的提升较为有限。
[0003]鉴于上述的缺陷，有必要提供一种新的光学结构、读数头和光学传感器。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是提供一种光学结构、读数头和光学传感器，旨在解决现有的利用光栅干涉的结构将两块衍射光栅设置成一透射一反射的形式所获得的位移探测精度不高的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提出的光学结构包括光源组件、光栅组件以及探测组件：
[0006]光栅组件，包括间隔设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学结构，其特征在于，所述光学结构包括光源组件、光栅组件以及探测组件：光栅组件，包括间隔设置的第一光栅和第二光栅，所述第一光栅具有与所述光源组件相向设置的第一衍射反射面，所述第二光栅具有与所述第一衍射反射面相向设置的第二衍射反射面；光源组件，用于发出光束至第一光栅；所述第一光栅，用于将所述光源组件发出的光束第一次反射衍射至所述第二光栅；所述第二光栅，用于将第一次反射衍射的光束第二次衍射反射至所述第一光栅；所述第一光栅，还用于将第二次反射衍射的光束第三次衍射反射至所述探测组件。2.如权利要求1所述的光学结构，其特征在于，所述第二光栅为二维光栅，所述第一光栅为一维光栅或二维光栅。3.如权利要求2所述的光学结构，其特征在于，所述第一光栅为一维光栅，所述第一光栅的移动方向与所述第一光栅的刻线延伸方向垂直。4.如权利要求2所述的光学结构，其特征在于，定义平行于所述第一光栅的平面为参考平面，所述第一光栅的任意刻线与所述第二光栅的任意刻线在所述参考平面上的投影均呈夹角布置。5.如权利要求1至4中任一项所述的光学结构，其特征在于，所述光源组件发出的光束与所述第一光栅的法线轴之间的夹角为β，30
°
≤β≤45
°
。6.如权利要求1至4中任一项所述的光学结构，其特征在于，所述光学结构还包括第一凸透镜，所述第一凸透镜设于所述光源组件和所述第一光栅之间；和/或，所述光学结构还包括第二凸透镜，所述第二凸透镜设于所述第一光栅和所述探测组件之间。7.如权利要求1至4中任一项所述的光学结构，其特征在于，所述探测...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈凯，张文农，
申请(专利权)人：苏州汇川控制技术有限公司，
类型：新型
国别省市：