一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法技术

一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法，包括以下步骤：将常温工业级双氧水通过冷却装置冷却至0~10℃，然后以下进上出的方式依次通过阴离子交换树脂柱和混合离子交换树脂柱，控制流速为5~15BV/h，去除双氧水中的阴离子和部分阳离子，得到提纯双氧水。本发明专利技术中工业级双氧水依次通过阴离子交换树脂柱、混合离子交换树脂柱去除阴离子，其中两个离子交换树脂柱中的阴离子交换树脂属于不同型号，同时通过调整混合离子交换树脂柱中阴阳离子交换树脂的装填比例不仅可以有效去除双氧水中阴离子，还可以有效抑制纯化过程中双氧水与阴离子交换树脂的化学反应。子交换树脂的化学反应。子交换树脂的化学反应。

【技术实现步骤摘要】
一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法


[0001]本专利技术涉及一种双氧水的提纯方法，尤其涉及一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法。
技术背景
[0002]双氧水作为一种重要的化工原料，被广泛应用于医疗、印染、环保、食品、化学合成以及电子等行业。在电子行业中双氧水常作为一种大规模集成电路生产工艺中所必需的电子化工原料，主要用于硅片的清洗，印刷电路板的蚀刻，而这些过程均要求双氧水必须具备极低的TOC、金属离子和阴离子含量。目前国内外所生产的双氧水因受其制备过程的影响，往往含有大量的有机杂质、金属离子和非金属离子，这些杂质的存在严重限制了双氧水在食品和电子行业等的应用。目前常用的双氧水提纯方法主要包括精馏法、结晶法、萃取法、膜分离法和离子交换树脂法，其中离子交换树脂法因具有离子去除率高、设备较简单、组合方式多和容易操作等优点，常被用于去除双氧水中的金属离子和阴离子。
[0003]离子交换树脂法纯化双氧水主要涉及阳离子交换树脂、阴离子交换树脂和混合离子交换树脂。目前使用阳离子交换树脂去除双氧水中金属离子杂质的技术已经比较成熟、安全，但本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）双氧水降温：使用冷却装置将常温的工业级双氧水冷却至适当温度；（2）阴离子交换树脂装柱：选用适量的阴离子交换树脂装入树脂柱；（3）混合离子交换树脂装柱：选用适量的阴离子交换树脂与阳离子交换树脂以适当的比例混合装入树脂柱；（4）离子交换提纯：将步骤（1）得到的经冷却后的工业级双氧水以适当的进料方式及流速依次通入步骤（2）和（3）得到的离子交换树脂柱，制得低阴离子含量的双氧水。2.根据权利要求1所述的一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法，其特征在于：步骤（1）中步骤（1）中所述工业级双氧水浓度为27.5
‑
50%，阴离子含量≤170ppm，其中F
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≤31.2ppm，Cl
‑
≤1.7ppm，SO
42
‑
≤8.2ppm，NO3‑
≤1.6ppm，PO
43
‑
≤170ppm。3.根据权利要求1所述的一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法，其特征在于：步骤（1）中所述工业级双氧水由常温冷却至0~10℃。4.根据权利要求1所述的一种高效安全去除双氧水中阴离子的提纯方法，其特征在于：步骤（2）所述树脂柱中阴离子交换树脂为OH
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型或HCO3‑
型，所述的OH
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型或HCO3‑
型包括ZGA351、Dupont
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OH、LX
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HCO3、NRW505HCO3、UPW550、DAS2001中的任意一种。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡贵婷，叶瑞，贺兆波，杨着，袁相春，吴昊，胡帅，郭竞竞，刘俊，蔡步林，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：