光刻机高纯水恒温恒压供水系统技术方案

本实用新型专利技术涉及水处理技术领域，尤其涉及一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统。其包括其包括高纯水粗调单元，与所述高纯水粗调单元相接通的高纯水精调单元且所述高纯水粗调单元一端接有进水端，所述高纯水精调单元包括增压泵、减压恒压阀、精控温度系统、以及精细过滤单元，所述精控温度系统包括分别与出水管接通的氟利昂制冷器和第二加热器、设置于所述氟利昂制冷器和第二加热器出液端的温度传感器、设置于所述氟利昂制冷器和第二加热器交汇处的恒温混水阀、以及用来控制恒温混水阀进出液比例的PID控制器。本实用新型专利技术的有益之处：控制精度高，温度恒定范围在22

【技术实现步骤摘要】
光刻机高纯水恒温恒压供水系统


[0001]本技术涉及水处理
，尤其涉及一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统。

技术介绍

[0002]半导体高精密装备尤其是光刻机，除了使用常规的工艺冷却水(PCW)，还需要使用大量的超纯水(UPW)。尤其是在高端的12寸浸没式光刻机上面，超纯水的参数要求更是非常严格，可以说它代表了大型半导体代工厂里面对超纯水的最高要求。
[0003]目前中小型半导体厂大多使用的是EDI超纯水设备，EDI是一种离子、离子膜交换技术、电子迁移技术相结合的超纯水制造技术。它巧妙地将电渗析和离子交换技术相结合，利用两端电极高压使水中带电离子移动，并配合离子交换树脂及选择性树脂膜片加速离子移动去除，从而达到去除水中正负离子的目的。
[0004]现有技术中，申请号为：CN202210922128.8，在超纯水经过长距离(如大于100米)的管道系统后，超纯水的水质指标，会出现流速和压力变小/温度波动幅度变大/杂质及气泡增多等多种问题，使得超纯水最终无法满足远处设备端的高精密设备的厂务需求，因此需要设计出一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统解决以上问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是，提供一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统，以克服目前现有技术存在的上述不足。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统，其包括高纯水粗调单元，与所述高纯水粗调单元相接通的高纯水精调单元且所述高纯水粗调单元一端接有进水端，所述高纯水精调单元包括增压泵、减压恒压阀、精控温度系统、以及精细过滤单元，其特征在于：所述精控温度系统包括分别与出水管接通的氟利昂制冷器和第二加热器、设置于所述氟利昂制冷器和第二加热器出液端的温度传感器、设置于所述氟利昂制冷器和第二加热器交汇处的恒温混水阀、以及用来控制恒温混水阀进出液比例的PID控制器。
[0008]优选的，所述高纯水粗调单元包括用来对高纯水进行初始热交换的热交换器和降温的工艺冷却水制冷系统、初级过滤单元、水箱、以及用以将水箱中的水循环输送至热交换器和工艺冷却水制冷系统以及初级过滤单元的循环泵。
[0009]优选的，还包括用于储存机台端液体的回收水箱，所述回收水箱通过离心泵接于高纯水粗调单元。
[0010]优选的，所述高纯水精调单元还包括流量泵以及压力表。
[0011]本技术的有益效果是：本技术通过氟利昂制冷器和第二加热器对高纯水分别进行精确制冷和制热，制冷后的水温保持在21
±
1℃，再通过PID控制器来控制减压恒压阀对冷热水进行比例控制，使得最终得到温度恒定范围在22
±
0.1℃的高纯水，提高了控制精
度；通过增压泵和减压恒压阀控制高纯水的流速和压力，再通过流量泵以及压力表分别监测流速和压力，在进行实时调节，使得水流速度及压力稳定性达到了预定要求；通过多次、循环过滤，使得水中各项杂质都小于要求的含量要求，大大提高水的纯度。
附图说明
[0012]图1为本技术一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统的示意图；
[0013]图中：1、高纯水粗调单元；11、热交换器；12、工艺冷却水制冷系统；13、初级过滤单元；14、水箱；15、循环泵；2、高纯水精调单元；21、增压泵；22、减压恒压阀；23、精控温度系统；24、精细过滤单元；231、氟利昂制冷器；232、第二加热器；233、恒温混水阀；234、PID控制器；25、流量泵；26、压力表；3、回收水箱；4、离心泵。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0016]参照图1，一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统，其包括高纯水粗调单元1，与所述高纯水粗调单元1相接通的高纯水精调单元2，所述高纯水粗调单元1一端接进水端，所述高纯水粗调单元1用来不断循环处理将高纯水的温度范围提升至一定的粗略范围内，且控制在
±
1℃之内，同时循环用以降低高纯水中的电导率/电阻率/杂质含量，所述高纯水精调单元进一步控制温度范围，且精确控制到
±
0.1℃，同时在进行过滤以充分过滤掉水中的负离子/氮气/氧气等杂质。
[0017]所述高纯水粗调单元1包括用来对高纯水进行初始热交换的热交换器11和降温的工艺冷却水制冷系统12、初级过滤单元13、用于存放经过处理后的高纯水的水箱14、以及在水箱14中的水循环输送至热交换器11和工艺冷却水制冷系统12以及初级过滤单元13的循环泵15。
[0018]还包括用于储存机台端回来高纯水的回收水箱3，所述回收水箱3通过离心泵4接于高纯水粗调单元1，通过离心泵4将回收水箱3中的高纯水再次进入高纯水粗调单元1，进行多次过滤和调温，最终满足品质需求后存储在水箱14中。
[0019]所述高纯水精调单元2包括增压泵21、减压恒压阀22、精控温度系统23、以及精细过滤单元24，所述精控温度系统23包括分别与出水管接通的氟利昂制冷器231和第二加热器232、设置于所述氟利昂制冷器231和第二加热器232出液端的温度传感器、设置于所述氟利昂制冷器231和第二加热器232交汇处的恒温混水阀233、以及用来控制恒温混水阀233进出液比例的PID控制器234；通过增压泵21和减压恒压阀22来控制其流速和压力，高纯水分别通过氟利昂制冷器231和加热器232，通过氟利昂制冷器231和第二加热器232对高纯水分
别进行精确制冷和制热，且两者经过两者制造后的水温温差保持在2
‑
5度之间，再通过温度传感器来实时监测水温，并通过PID控制器234来控制恒温混水阀233对冷热水进行比例控制，从而最终得到温度恒定范围在22
±
0.1℃的高纯水。调节好温度的高纯水在经过至少两组精细过滤单元24再次进行过滤，过滤掉水中的负离子/氮气/氧气等杂质，使得高纯水中各项杂质都小于需求的含量要求；
[0020]所述高纯水精调单元2还包括流量泵25以及压力表26，分别用来监测流速和压力，在根据需要调节对应的增压泵21和减压恒压阀22来控制其流速和压力。
[0021]本实施案例，若需要温度恒定范围在22
±
0.1℃的高纯水，高纯水先进入高纯水粗调单元1，通过用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统，其包括其包括高纯水粗调单元，与所述高纯水粗调单元相接通的高纯水精调单元且所述高纯水粗调单元一端接有进水端，所述高纯水精调单元包括增压泵、减压恒压阀、精控温度系统、以及精细过滤单元，其特征在于：所述精控温度系统包括分别与出水管接通的氟利昂制冷器和第二加热器、设置于所述氟利昂制冷器和第二加热器出液端的温度传感器、设置于所述氟利昂制冷器和第二加热器交汇处的恒温混水阀、以及用来控制恒温混水阀进出液比例的PID控制器。2.根据权利要求1所述的一种光刻机高纯水恒...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宏伟，金锋，陶水缸，
申请(专利权)人：苏州励索精密装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：