一种半导体工艺产线设备配置方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种半导体工艺产线设备配置方法及装置，方法具体包括如下步骤：构建半导体工艺产线的数据库，并对数据库设置使用权限；基于数据库使用权限，确定工艺制程路线；根据确定的工艺制程路线，给出设备配置清单；结合设备配置清单，通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备，给出目标设备集，并配置目标设备的生产能力和可用率；基于半导体工艺产线的评价策略，确定目标设备的数量，完成半导体工艺产线设备配置。本发明专利技术可对半导体工艺产线进行智能设备选型、产线优化评价以及跨平台联动，形成更科学、更合理和更全面的半导体生产线建设项目数据，且提高半导体制造过程的运作效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体工艺产线设备配置方法及装置


[0001]本专利技术属于半导体布局设计
，具体涉及一种半导体工艺产线设备配置方法及装置。

技术介绍

[0002]半导体工艺产业具有制造技术复杂，生产过程离散，制造周期长和生产工艺精细等特点，其过程中产生的数据对后续分析策划具有很大参考性。目前，半导体工艺产线优化配置主要依靠客户经验，当客户在项目建设初期工艺技术需求条件经验不足时，会导致投资决策阶段缺少科学合理的方案支撑，无法精准反映后续项目的实际建设和运营投资。
[0003]因此，研发多企业间可跨平台协同制造的资源服务化合作模式。如专利CN115202311A给出一种半导体生产排程方法、系统、设备及存储介质，方法包括：形成初始排程，初始排程中n个待加工晶圆的任意加工工序均对应有目标机台；不断调整初始排程中n个待加工晶圆的任意加工工序对应的目标机台，形成多个调整排程；计算初始排程和多个调整排程中所有机台的平均产能及良率；基于约束条件和所有机台的平均产能及良率，从初始排程和调整排程中筛选出产能及良率最大的最优排程。该方案通过在数据收集端实时量化数据，可以更为便利地利用大量的侦测数据。对获取的大量数据进行分类处理，使得对所有侦测数据进行准确、高效的内容捕捉，提高了数据的综合利用效率，节省了人力。
[0004]构建的半导体工艺产线设备配置系统，可帮助半导体设备资源进行智能选型检索、产线优化评价、跨平台联动，形成更科学、更合理和更全面的半导体生产线建设项目数据，且提高半导体制造过程的运作效率。半导体数据库的设计在整个系统的构建过程中是必不可少的一个环节，其设计的优劣不仅对系统的功能的正常使用和运行效率产生影响，也会影响到后期的数据更新维护和性能扩展。
[0005]因此，如何针对半导体产品以及工艺类型，以实现对半导体工艺产线的设备精准配置是本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0006]针对上述现有技术中存在的缺陷，本专利技术提供了一种半导体工艺产线设备配置方法及装置，构建存在使用权限的半导体工艺产线的数据库，在工艺子库中获取目标半导体的工艺类型，确定工艺制程路线，在制程子库中获取每步工艺制程对应的设备类型，通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备，给出目标设备集，并配置目标设备的生产能力和可用率，基于半导体工艺产线的评价策略，确定目标设备的数量。本专利技术可对半导体工艺产线进行智能设备选型、产线优化评价以及跨平台联动，形成更科学、更合理和更全面的半导体生产线建设项目数据，且提高半导体制造过程的运作效率。
[0007]第一方面，本专利技术提供一种半导体工艺产线设备配置方法，具体包括如下步骤：构建半导体工艺产线的数据库，并对数据库设置使用权限，其中，数据库包括工艺子库、制程子库和设备子库；
基于数据库使用权限，在工艺子库中获取目标半导体的工艺类型，确定工艺制程路线；解析确定的工艺制程路线，在制程子库中获取每步工艺制程对应的设备类型，并给出设备配置清单，其中，设备配置清单为各个设备类型的设备信息，包括主工艺设备信息、附属设备信息及设备对比信息的至少一种；基于设备配置清单，通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备，给出目标设备集，并配置目标设备的生产能力和可用率；基于半导体工艺产线的评价策略，确定各目标设备的数量，完成半导体工艺产线设备配置。
[0008]进一步的，构建半导体工艺产线的数据库，具体包括如下步骤：获取半导体工艺产线的源数据，识别源数据中的缺失值和异常值；判定缺失值和异常值的数据类型，并进行筛分，其中，数据类型分为目标参数字段和非目标参数字段；对源数据中目标参数字段的缺失值和异常值进行归零处理，得到预处理数据源；将预处理数据源进行标准化格式处理后，对应录入数据库的工艺子库、制程子库及设备子库。
[0009]进一步的，对数据库设置使用权限包括：划分对数据库使用的权限类型，以及与权限类型对应的用户权限，其中，权限类型包括读取、添加、更新以及删除中的至少一种。
[0010]进一步的，基于数据库使用权限，具体包括如下步骤：数据库接收到用户的请求后，识别用户信息，搜索用户的授权记录；基于用户的授权记录，分析并确定用户权限；根据确定的用户权限，给出对应于数据库使用权限的执行信号；其中，基于用户的授权记录，分析并确定用户权限，具体包括：若用户存在授权记录，再检索用户权限的更新信息，有更新信息，则依据更新信息，确定用户权限，无更新信息则依据最新的授权记录，确定用户权限；若用户不存在授权记录，则用户没有数据库使用权限。
[0011]进一步的，在制程子库中获取每步工艺制程对应的设备类型，具体包括如下步骤：获取制程子库中预先设定的工艺制程与设备类型适配关系；基于制程子库和工艺制程路线，确定每个工艺制程对应的设备类型；其中，预先设定的工艺制程与设备类型适配关系中各步工艺制程均对应至少一种设备类型，设备类型包括主工艺设备和附属设备；基于设备配置清单，通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备，给出目标设备集，并配置目标设备的生产能力和可用率，具体包括如下步骤：以设备配置清单为依据，根据设备配置清单中各个设备类型的设备信息，对设备子库进行初次筛选，得到初筛设备清单；基于目标半导体的基础属性，以及对应工艺制程的权重，对初筛设备清单进行二次筛选，给出初始目标设备清单；根据构建的设备选型模型，遍历初始目标设备清单，给出目标设备集；配置给出各目标设备的生产能力和可用率。
[0012]进一步的，目标半导体的基础属性包括目标半导体的型号和尺寸的至少一种。
[0013]进一步的，根据构建的设备选型模型，遍历初始目标设备清单，给出目标设备集，具体包括如下步骤：获取每步工艺制程的属性，形成工艺制程属性集合U，U={U1，U2，U3，
……
，U
n
}；遍历并分析初始目标设备清单，获取多组初始目标设备的要求属性，形成初始目标设备要求属性集合J，J={J
11
，J
12
，J
13
，
……
，J
1m
，
……
，J
p1
，J
p2
，J
p3
，
……
J
pm
}；分析工艺制程属性集合与各组初始目标设备要求属性集合的关联程度，并给出关联度集合，关联度集合具体表示为：
[0014]其中，为工艺制程属性集合与初始目标设备要求属性集合的关联度集合，U
i
为第i个工艺制程属性的抽象数值，n为工艺制程属性的总数，J
1j
为第1组中第j个初始目标设备要求属性的抽象数值，J
pj
为第p组中第j个初始目标设备要求属性的抽象数值，p为初始目标设备的组数，m为每组初始目标设备要求属性的总数；基于对关联度集合的分析，给出目标设备集。
[0015]进一步的，基于对关联度集合的分析，给出目标设备集，具体包括如下步骤：分析比对关联度集合中各个关联度与预设关本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，具体包括如下步骤：构建半导体工艺产线的数据库，并对数据库设置使用权限，其中，数据库包括工艺子库、制程子库和设备子库；基于数据库使用权限，在工艺子库中获取目标半导体的工艺类型，确定工艺制程路线；解析确定的工艺制程路线，在制程子库中获取每步工艺制程对应的设备类型，并给出设备配置清单，其中，设备配置清单为各个设备类型的设备信息，包括主工艺设备信息、附属设备信息及设备对比信息的至少一种；基于设备配置清单，通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备，给出目标设备集，并配置目标设备的生产能力和可用率；基于半导体工艺产线的评价策略，确定各目标设备的数量，完成半导体工艺产线设备配置。2.如权利要求1所述半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，构建半导体工艺产线的数据库，具体包括如下步骤：获取半导体工艺产线的源数据，识别源数据中的缺失值和异常值；判定缺失值和异常值的数据类型，并进行筛分，其中，数据类型分为目标参数字段和非目标参数字段；对源数据中目标参数字段的缺失值和异常值进行归零处理，得到预处理数据源；将预处理数据源进行标准化格式处理后，对应录入数据库的工艺子库、制程子库及设备子库。3.如权利要求1所述半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，对数据库设置使用权限包括：划分对数据库使用的权限类型，以及与权限类型对应的用户权限，其中，权限类型包括读取、添加、更新以及删除中的至少一种。4.如权利要求3所述半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，基于数据库使用权限，具体包括如下步骤：数据库接收到用户的请求后，识别用户信息，搜索用户的授权记录；基于用户的授权记录，分析并确定用户权限；根据确定的用户权限，给出对应于数据库使用权限的执行信号；其中，基于用户的授权记录，分析并确定用户权限，具体包括：若用户存在授权记录，再检索用户权限的更新信息，有更新信息，则依据更新信息，确定用户权限，无更新信息则依据最新的授权记录，确定用户权限；若用户不存在授权记录，则用户没有数据库使用权限。5.如权利要求1所述半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，在制程子库中获取每步工艺制程对应的设备类型，具体包括如下步骤：获取制程子库中预先设定的工艺制程与设备类型适配关系；基于制程子库和工艺制程路线，确定每个工艺制程对应的设备类型；其中，预先设定的工艺制程与设备类型适配关系中各步工艺制程均对应至少一种设备类型，设备类型包括主工艺设备和附属设备；基于设备配置清单，通过设备选型模型遍历设备子库中对应的设备，给出目标设备集，并配置目标设备的生产能力和可用率，具体包括如下步骤：
以设备配置清单为依据，根据设备配置清单中各个设备类型的设备信息，对设备子库进行初次筛选，得到初筛设备清单；基于目标半导体的基础属性，以及对应工艺制程的权重，对初筛设备清单进行二次筛选，给出初始目标设备清单；根据构建的设备选型模型，遍历初始目标设备清单，给出目标设备集；配置给出各目标设备的生产能力和可用率。6.如权利要求5所述半导体工艺产线设备配置方法，其特征在于，目标半导体的基础属性包括目标半导体的型号...

【专利技术属性】
技术研发人员：程星华，徐先华，徐策，李舒欣，刘畅，赵晓妍，
申请(专利权)人：中国电子工程设计院有限公司，
类型：发明
国别省市：