一种电光调制器以及信号处理装置制造方法及图纸

本公开实施例提出了一种电光调制器以及信号处理装置，电光调制器包括衬底，在衬底上设置透明的第一导电薄膜，在第一导电薄膜上设置超表面阵列结构，超表面阵列结构包括多个相同的微单元，多个微单元以阵列方式布置形成，在超表面阵列结构的上方设置金属导电层，超表面阵列结构用于在第一导电薄膜和金属导电层之间形成的空间内形成光的谐振，在第一导电薄膜和金属导电层之间的空间内填充电光材料，电光材料包括铌酸锂晶体、钽酸锂晶体、有机电光聚合物材料、半导体中的至少一种。本公开实施例能够实现对光的实时调制，并能够有效地提高调制效率，具有超快的电光响应速度，便于制作，应用灵活的特点。应用灵活的特点。应用灵活的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种电光调制器以及信号处理装置


[0001]本公开涉及一种电光装置的
，特别地涉及一种电光调制器以及信号处理装置。

技术介绍

[0002]光学超表面结构是一种用于控制光传播的纳米结构，其从超材料领域发展而来，不仅继承了其在定制光
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物质相互作用方面前所未有的灵活性，而且还继承了由超表面结构的确定的几何形状而导致的固定响应。超表面结构的可调谐性和可重新配置性是设计具有实用功能的设备的主要因素。
[0003]为此，研究人员一直在利用上述功能并将其重定向到可以主动响应外部刺激的纳米体系结构的创建。因此，与对超表面结构所引起的各种奇异光学现象的研究并行进行的同时，人们也在努力开发出既动态又可逆可调的新型光学超表面结构。
[0004]例如基于光学超表面结构的空间光调制器的实现面临着与超表面本质非常薄(即亚波长厚度)的情况相关的巨大挑战，从而严重限制了可用的相互作用长度。再例如商用的空间电光调制器多采用数字微镜系统和液晶材料实现。数字微镜系统采用机械动态调控的方式进行调制，其特点是加工复杂，成品率低，调制速度在千赫兹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电光调制器，其特征在于，包括衬底，在所述衬底上设置透明的第一导电薄膜，在所述第一导电薄膜上设置超表面阵列结构，所述超表面阵列结构包括多个相同的微单元，多个所述微单元以阵列方式布置形成，在所述超表面阵列结构的上方设置金属导电层，在所述第一导电薄膜和所述金属导电层之间的空间内填充电光材料，所述电光材料包括铌酸锂晶体、钽酸锂晶体、有机电光聚合物材料、半导体中的至少一种，所述超表面阵列结构用于在所述第一导电薄膜和所述金属导电层之间形成的空间内形成光的谐振。2.根据权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，在所述超表面阵列结构的上方设置第二导电薄膜，在所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜之间的空间内填充电光材料。3.根据权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，所述衬底采用石英、玻璃、硅、二氧化硅、蓝宝石中的至少一种制成。4.根据权利要求1所述的电光调制器，其特征在于，所述超表面阵列结构设置在所述第一导电薄膜上的预定区域内。5.根据权利要求4所述的电光调制器，其特征在于，在所述预定区...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱枫，孙歆语，
申请(专利权)人：西湖大学，
类型：发明
国别省市：