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一种电光调制器以及信号处理装置制造方法及图纸
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下载一种电光调制器以及信号处理装置的技术资料
文档序号:37349672
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本公开实施例提出了一种电光调制器以及信号处理装置,电光调制器包括衬底,在衬底上设置透明的第一导电薄膜,在第一导电薄膜上设置超表面阵列结构,超表面阵列结构包括多个相同的微单元,多个微单元以阵列方式布置形成,在超表面阵列结构的上方设置金属导电层...
该专利属于西湖大学所有,仅供学习研究参考,未经过西湖大学授权不得商用。
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