使用受控制的照明和收集偏振的光学检查制造技术

一种光学检查系统，可包括：照明光学器件，所述照明光学器件被配置为产生照明光束，以及用所述照明光束照明样品；至少一个收集光学器件，所述至少一个收集光学器件被配置为收集来自所述样品的光；至少一个检测器，所述至少一个检测器被配置为检测从所述至少一个收集光学器件输出的至少一个检测光束；多个偏振器，所述多个偏振器被配置为(a)通过在控制单元的控制下选择性地引入至少一个照明光学器件偏振改变来设定所述照明光束的偏振，以及(b)通过在所述控制单元的控制下选择性地引入至少一个收集光学器件偏振改变来设定所述至少一个检测光束的偏振。所述多个偏振器可包括一个或多个照明半波片、一个或多个四分之一波片和一个或多个非均匀偏振器。一个或多个非均匀偏振器。一个或多个非均匀偏振器。

【技术实现步骤摘要】
使用受控制的照明和收集偏振的光学检查

技术介绍

[0001]样品(诸如半导体晶片)变得越来越复杂并且越来越密集。另外，还出现了新形状和材料的微观结构元素。
[0002]检查此类样品变得越来越困难，并且具有对提供可以提供关于所检查的样品的尽可能多的信息的检查系统的增长的需要。

技术实现思路

[0003]可提供一种使用受控制的照明和收集偏振的光学检查。
[0004]可提供一种光学检查系统，可包括：照明光学器件，所述照明光学器件被配置为产生照明光束，以及用所述照明光束照明样品；至少一个收集光学器件，所述至少一个收集光学器件被配置为收集由于所述照明光束撞击在所述样品上造成的来自所述样品的光；至少一个检测器，所述至少一个检测器被配置为检测从所述至少一个收集光学器件输出的至少一个检测光束；多个偏振器，所述多个偏振器被配置为(a)通过在控制单元的控制下选择性地引入至少一个照明光学器件偏振改变来设定所述照明光束的偏振，以及(b)通过在所述控制单元的控制下选择性地引入至少一个收集光学器件偏振改变来设定所述至少一个检测光束的偏振；并且其中所述多个偏振器可包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学检查系统，包括：照明光学器件，所述照明光学器件被配置为产生照明光束以及用所述照明光束照明样品；至少一个收集光学器件，所述至少一个收集光学器件被配置为收集由于所述照明光束撞击在所述样品上造成的来自所述样品的光；至少一个检测器，所述至少一个检测器被配置为检测从所述至少一个收集光学器件输出的至少一个检测光束；多个偏振器，所述多个偏振器被配置为(a)通过在控制单元的控制下选择性地引入至少一个照明光学器件偏振改变来设定所述照明光束的偏振，以及(b)通过在所述控制单元的控制下选择性地引入至少一个收集光学器件偏振改变来设定所述至少一个检测光束的偏振；并且其中所述多个偏振器包括照明半波片、第一四分之一波片、第二半波片、第二四分之一波片和第一非均匀偏振器。2.根据权利要求1的光学检查系统，其中所述多个偏振器被配置为在平行偏振
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正交偏振平面内提供所述照明光束的任何偏振和至少一个检测照明光束的任何偏振。3.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述多个偏振器被配置为提供在径向偏振、切向偏振、螺旋偏振和光学涡旋偏振中的任何偏振的照明光束。4.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述多个偏振器被配置为提供螺旋偏振的照明光束。5.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述照明光学器件和所述至少一个收集光学器件共享共享分束器，其中所述第一非均匀偏振器位于所述分束器下游。6.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述照明光学器件和所述至少一个收集光学器件共享共享分束器，其中所述第一非均匀偏振器位于所述分束器上游。7.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中所述至少一个收集光学器件包括反射光收集光学器件和散射光收集光学器件，所述反射光收集光学器件被配置为输出反射检测光束。8.根据权利要求1所述的光学检查系统，包括第二非均匀偏振器、第一移动单元和第二移动单元；其中所述第一移动单元被配置为在所述第一非均匀偏振器定位在所述照明光束的路径内的第一位置与所述第一非均匀偏振器定位在所述照明光束的路径外的第二位置之间移动所述第一非均匀偏振器；并且其中所述第二移动单元被配置为在所述第二非均匀偏振器定位在所述照明光束的所述路...

【专利技术属性】
技术研发人员：E，
申请(专利权)人：应用材料以色列公司，
类型：发明
国别省市：