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一种光学检查系统，可包括：照明光学器件，所述照明光学器件被配置为产生照明光束，以及用所述照明光束照明样品；至少一个收集光学器件，所述至少一个收集光学器件被配置为收集来自所述样品的光；至少一个检测器，所述至少一个检测器被配置为检测从所述至少一...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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