一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置和方法制造方法及图纸

技术编号:37319893 阅读:16 留言:0更新日期:2023-04-21 23:00
本申请适用于电镀技术领域,提供了一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置和方法,该电镀装置包括:多个阳极、阴极、多个套盒、挂具和电源;阳极为长条形状,多个阳极悬挂在挂具上;阳极悬挂在挂具上时的竖直方向的长度大于水平方向的长度;多个阳极在竖直方向的长度不同;套盒与阳极的形状相同,且与阳极接触连接,用于套在特定阳极的外侧;特定阳极为与阴极的目标区域对应的阳极;目标区域为阴极的镍层厚度超过预设阈值的区域;套盒的表面开有通孔,通孔用于调整阳极的裸露面积;电源用于为电镀过程提供电能。本申请的方法能够改善电镀镍的均一性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置和方法


[0001]本申请属于电镀
,尤其涉及一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置和方法。

技术介绍

[0002]电镀行业中,电镀均匀性是检验镀层质量和镀槽能力的重要指标,精密电子元器件电镀镍金中的镍层有提高防护性能的作用,厚度的满足对提高防锈能力有直接的作用,厚度超厚会有产品尺寸超标的现象。既要满足镀层厚度最低要求防锈功能也不能超过尺寸要求和其他问题。因此电镀镍均一性具有特别的实际意义。
[0003]电镀镍均一性与电流分布相关,而阴阳极的距离、大小、形状都会影响其电流分布。电流分布较密集故镀层较厚而其它部分较薄,若要改善此种现象的方法一般通过调整阳极挡板的设计来调节电力线的分布,目前阳极挡板结构通常是一个固定的大面积的阳极,在阳极和阴极的中间增加挡板,但镍层厚度无法达到1

4微米,对于有明确要求镀层在1

4微米范围内的产品,镀层厚度不合格为主要问题。

技术实现思路

[0004]为克服相关技术中存在的问题,本申请实施例提供了一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置和方法,能够改善电镀镍的均一性,解决镍层厚度无法达到1

4微米的问题。
[0005]本申请是通过如下技术方案实现的:
[0006]第一方面,本申请实施例提供了一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置,包括:多个阳极、阴极、多个套盒、挂具和电源;
[0007]阳极为长条形状,多个阳极悬挂在挂具上;阳极悬挂在挂具上时的竖直方向的长度大于水平方向的长度;多个阳极在竖直方向的长度不同;
[0008]套盒与阳极的形状相同,且与阳极接触连接,用于套在阴极的镍层厚度超过预设阈值的区域所对着的阳极的外侧;套盒的表面开有通孔,通孔用于调整阳极的裸露面积;
[0009]电源用于为电镀过程提供电能。
[0010]在一种可能的实现方式中,通孔位于套盒的第一表面;第一表面在电镀时正对于阴极。
[0011]在一种可能的实现方式中,多个套盒的通孔的开孔面积之和为阴极面积的n倍;其中,n≥2。
[0012]在一种可能的实现方式中,套盒为耐酸碱腐蚀的材料。
[0013]在一种可能的实现方式中,阴极的相同产品的相同位置与阳极的距离相等。
[0014]在一种可能的实现方式中,阳极包括镍饼和长条形状的钛篮;每个钛篮中填充预设数量个镍饼。
[0015]在一种可能的实现方式中,挂具为可调节结构,用于调节套盒下端位于阳极的位置。
[0016]第二方面,本申请提供了一种调整电镀阴阳极分布的方法,包括:
[0017]制备多个长条形状的阳极装入悬挂在挂具上;阳极悬挂在挂具上时的竖直方向的长度大于水平方向的长度;阳极包括长条形状的镍饼和长条形状的钛篮;
[0018]在阳极的钛篮外侧套一层与阳极的形状相同套盒;套盒的表面开有通孔;
[0019]利用电源为电镀过程提供电能,进行电镀。
[0020]在一种可能的实现方式中,在阳极的钛篮外侧套一层与阳极的形状相同套盒,包括:在阳极的钛篮外侧套一层与阳极的形状相同套盒,调节套盒套在预设区域;预设区域为阴极的镍层厚度超过预设阈值的区域所对着的应遮蔽阳极。
[0021]在一种可能的实现方式中,应遮蔽阳极露出的镍饼长度范围为阴极长度的至
[0022]可以理解的是,上述第二方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述,在此不再赘述。
[0023]本申请实施例与现有技术相比存在的有益效果是:
[0024]本申请实施例,在阳极分布上,通过将阳极设计成成多个长条的阳极,阳极的长度不一致,对应于镀层厚度不同的阴极,使得更密集的电力线分布到镀层厚度较薄的区域达到提高厚度的目的;通过在阳极的表面套上套盒,将厚度较厚的阴极区域对着的阳极遮住,减小镀层厚度,使镍层厚度达到1

4微米;通过增加镀层厚度较薄区域厚度,减小镀层厚度较厚区域厚度,提高电镀镍的均一性。
[0025]应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本说明书。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1是本申请一实施例提供的调整电镀阴阳极分布的电镀装置的结构示意图;
[0028]图2是本申请一实施例提供的阳极长度调整后电力线分布的示意图;
[0029]图3是本申请一实施例提供的阴极的相同产品的相同位置与阳极的距离示意图;
[0030]图4是本申请一实施例提供的利用普通装置电镀的产品镍层厚度分布图;
[0031]图5是本申请一实施例提供的利用调整电镀阴阳极分布的电镀装置电镀的产品镍层厚度分布图。
具体实施方式
[0032]以下描述中,为了说明而不是为了限定,提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节,以便透彻理解本申请实施例。然而,本领域的技术人员应当清楚,在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中,省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明,以免不必要的细节妨碍本申请的描述。
[0033]应当理解,当在本申请说明书和所附权利要求书中使用时,术语“包括”指示所描
述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在,但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
[0034]还应当理解,在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合,并且包括这些组合。
[0035]如在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的那样,术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地,短语“如果确定”或“如果检测到[所描述条件或事件]”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到[所描述条件或事件]”或“响应于检测到[所描述条件或事件]”。
[0036]另外,在本申请说明书和所附权利要求书的描述中,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0037]在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此,在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例,而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”,除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调整电镀阴阳极分布的电镀装置,其特征在于,包括:多个阳极、阴极、多个套盒、挂具和电源;所述阳极为长条形状,所述多个阳极悬挂在所述挂具上;所述阳极悬挂在所述挂具上时的竖直方向的长度大于水平方向的长度;所述多个阳极在竖直方向的长度不同;所述套盒与所述阳极的形状相同,且与所述阳极接触连接,用于套在特定阳极的外侧;所述特定阳极为与所述阴极的目标区域对应的阳极;所述目标区域为所述阴极的镍层厚度超过预设阈值的区域;所述套盒的表面开有通孔,所述通孔用于调整所述阳极的裸露面积;所述电源用于为电镀过程提供电能。2.如权利要求1所述的调整电镀阴阳极分布的电镀装置,其特征在于,所述通孔位于所述套盒的第一表面;所述第一表面在电镀时正对于所述阴极。3.如权利要求1所述的调整电镀阴阳极分布的电镀装置,其特征在于,所述多个套盒的通孔的开孔面积之和为所述阴极面积的n倍;其中,n≥2。4.如权利要求1所述的调整电镀阴阳极分布的电镀装置,其特征在于,所述套盒为耐酸碱腐蚀的材料。5.如权利要求1所述的调整电镀阴阳极分布的电镀装置,其特征在于,所述阴极的相同产品的相同位置与所述阳极的距离相等。6.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:董伦刘乐牛洪岭李莉樊新召韩茵
申请(专利权)人:河北中瓷电子科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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