本实用新型专利技术提供了一种漏电流测量模块的校准装置和电子设备，包括：电压源校准电路、标准漏电流产生电路、漏电流测量电路、终端设备和直流源；直流源、电压源校准电路和终端设备依次连接；电压源校准电路输出实际电压值数组和标准电压值数组至终端设备，终端设备确定第一对应关系；标准漏电流产生电路产生微小电流；漏电流测量电路将目标档位的微小电流输出至终端设备；终端设备确定第二对应关系，将第二对应关系存储于漏电流测量电路的存储模块中；漏电流测量电路基于第二对应关系与采集到的微小电流的实际漏电流值，计算对应的标准漏电流值并输出。可以对漏电流测量模块进行校准，在不增加仪器物料成本的同时提高漏电流的测量精度。测量精度。测量精度。
【技术实现步骤摘要】
漏电流测量模块的校准装置和电子设备
[0001]本技术涉及集成电路测试
，尤其是涉及一种漏电流测量模块的校准装置和电子设备。
技术介绍
[0002]在集成电路测试应用场景中，尤其是功率器件的测试场景中，会要求测量不同电压下的漏电流值，即在MOS(Metal
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Oxide
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Semiconductor Field
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Effect Transistor，场效应管)、二极管或IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor，绝缘栅双极型晶体管)的两个管脚上(此时需要短接MOS或IGBT的引脚，保证MOS或IGBT处于关闭状态)施加一个指定的电压，然后需要测量此时回路上的电流值，因此时器件两端为高阻状态，此类漏电流值基本都比较小，一般在1nA
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999μA范围，甚至是pA级别的漏电流。
[0003]业内针对小电流的测量有两种技术路径，即分流安培计技术和反馈安培计技术。然而，上述两种技术路径，其测量精度跟采样电阻直接挂钩，业内一般会采用高精度电阻来提高测量精度，存在以下缺陷：
[0004](1)测量精度跟电阻直接挂钩，但电阻的精度会有一定的上限，且精度越高，电阻价格会越贵。因此想提高漏电的测量精度，成本会直线上升。
[0005](2)高精度电阻也会有一定的阻值精度范围，这样会造成不同的漏电测量模块精度不一致，分布在一定的范围内。功率器件生产时，产量一般都较大，会使用多台仪器多个漏电测量模块进行测试筛选，这样会造成实际的筛选标准无法统一，特别是要根据产品漏电值的不同来分BIN文件的应用场合。其中，BIN文件指的是后缀为.bin的文件，这个文件的作用是把同一类数值放在一起使用，可以分成不同的BIN文件(即不同的堆)。
技术实现思路
[0006]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种漏电流测量模块的校准装置和电子设备，以对漏电流测量模块进行校准，在不增加仪器物料成本的同时提高漏电流的测量精度。
[0007]第一方面，本技术实施例提供了一种漏电流测量模块的校准装置，装置包括：电压源校准电路、标准漏电流产生电路、漏电流测量电路、终端设备和直流源；直流源、电压源校准电路和终端设备依次连接；直流源、标准漏电流产生电路、漏电流测量电路和终端设备依次连接；电压源校准电路用于输出直流源的实际电压值数组和直流源的标准电压值数组至终端设备；终端设备用于确定实际电压值数组和标准电压值数组的第一对应关系；标准漏电流产生电路用于基于待校准档位的电压，选择对应的限流电阻产生微小电流；漏电流测量电路用于将目标档位的微小电流的实际漏电流值输出至终端设备；终端设备还用于基于直流源的标准电压值和第一对应关系确定直流源的实际电压值，确定标准电压值和实际漏电流值的第二对应关系，将第二对应关系存储于漏电流测量电路的存储模块中；漏电流测量电路还用于基于记录在存储模块中的第二对应关系与采集到的微小电流的实际漏电流值，计算对应的标准漏电流值并输出。
[0008]在本申请可选的实施例中，上述终端设备还用于确定标准电压值和除了目标档位的其他档位的实际漏电流值的其他对应关系，将其他对应关系存储于漏电流测量电路的存储模块中。
[0009]在本申请可选的实施例中，上述漏电流测量电路还用于基于记录在存储模块中的其他对应关系与采集到的微小电流的实际漏电流值，计算对应的标准漏电流值并输出。
[0010]在本申请可选的实施例中，上述第一对应关系、第二对应关系和其他对应关系均为线性函数。
[0011]在本申请可选的实施例中，上述电压源校准电路包括串联的电压检测模块和继电器；在继电器闭合后，电压检测模块用于获取标准电压值数组。
[0012]在本申请可选的实施例中，上述标准漏电流产生电路包括多个并联的限流模块，每个限流模块包括限流电阻和选通继电器；限流电阻的阻值等于待校准档位的电压值与待校准档位的量程的比值。
[0013]在本申请可选的实施例中，上述选通继电器的阻抗远大于对应的限流电阻的阻抗。
[0014]在本申请可选的实施例中，上述漏电流测量电路包括阻抗运放、档位选择电路、有源滤波电路和模数转换电路；其中，阻抗运放和档位选择电路并联后，与有源滤波电路和模数转换电路串联；标准漏电流产生电路与阻抗运放的反相输入端连接，阻抗运放用于对微小电流进行放大处理；档位选择电路用于输出目标档位的微小电流；有源滤波电路用于对目标档位的微小电流进行滤波处理；模数转换电路用于对目标档位的微小电流值进行模数转换处理。
[0015]在本申请可选的实施例中，上述装置还包括：控制电路；漏电流测量电路、控制电路和终端设备依次连接；控制电路用于将漏电流测量电路输出的目标档位的实际漏电流值输出给终端设备。
[0016]第二方面，本技术实施例还提供一种电子设备，包括：上述的漏电流测量模块的校准装置。
[0017]本技术实施例带来了以下有益效果：
[0018]本技术实施例提供了一种漏电流测量模块的校准装置和电子设备，电压源校准电路输出实际电压值数组和直流源的标准电压值数组至终端设备，终端设备确定实际电压值数组和标准电压值数组的第一对应关系；标准漏电流产生电路基于待校准档位的电压，选择对应的限流电阻产生微小电流；漏电流测量电路对微小电流进行处理，将处理后的目标档位的微小电流的实际漏电流值输出至终端设备；终端设备基于直流源的标准电压值和第一对应关系确定直流源的实际电压值，确定标准电压值和实际漏电流值的第二对应关系，将第二对应关系存储于漏电流测量电路的存储模块中；漏电流测量电路基于记录在存储模块中的第二对应关系与采集到的微小电流的实际漏电流值，计算对应的标准漏电流值并输出。可以对漏电流测量模块进行校准，在不增加仪器物料成本的同时提高漏电流的测量精度。
[0019]本公开的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，或者，部分特征和优点可以从说明书推知或毫无疑义地确定，或者通过实施本公开的上述技术即可得知。
[0020]为使本公开的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合
所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术实施例提供的一种分流式安培计原理的示意图；
[0023]图2为本技术实施例提供的一种反馈式安培计原理的示意图；
[0024]图3为本技术实施例提供的一种漏电流测量模块的校准装置的结构示意图；
[0025]图4为本技术实施例提供的另一种漏电流测量模块的校准装置的结构示意图；
[0026]图5为本实用本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种漏电流测量模块的校准装置，其特征在于，所述装置包括：电压源校准电路、标准漏电流产生电路、漏电流测量电路、终端设备和直流源；所述直流源、所述电压源校准电路和所述终端设备依次连接；所述直流源、所述标准漏电流产生电路、所述漏电流测量电路和所述终端设备依次连接；所述电压源校准电路用于输出所述直流源的实际电压值数组和所述直流源的标准电压值数组至所述终端设备；所述终端设备用于确定所述实际电压值数组和所述标准电压值数组的第一对应关系；所述标准漏电流产生电路用于基于待校准档位的电压，选择对应的限流电阻产生微小电流；所述漏电流测量电路用于将目标档位的所述微小电流的实际漏电流值输出至所述终端设备；所述终端设备还用于基于所述直流源的标准电压值和所述第一对应关系确定所述直流源的实际电压值，确定所述标准电压值和所述实际漏电流值的第二对应关系，将所述第二对应关系存储于所述漏电流测量电路的存储模块中；所述漏电流测量电路还用于基于记录在所述存储模块中的所述第二对应关系与采集到的微小电流的实际漏电流值，计算对应的标准漏电流值并输出。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述终端设备还用于确定所述标准电压值和除了所述目标档位的其他档位的实际漏电流值的其他对应关系，将所述其他对应关系存储于所述漏电流测量电路的存储模块中。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述漏电流测量电路还用于基于记录在存储模块中的所述其他对应关系与采集到的微小电流的实际漏电流值，计算对应的标准漏电流值并输出。4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一对应关系、所述第二对应关系...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡江，单剑宏，李经鸿，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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