基片传送机构制造技术

本发明专利技术提供了一种基片传送机构，它能稳定地对基片进行传送而不会使基片掉落，而且在基片上不会粘附灰尘，不会使所传送的基片产生裂纹和损坏，此外，它还能在对基片进行固化时，简单地利用光强度相同的紫外线对基片两侧同时进行固化。基片传送机构２包括：一些传送辊２ａ，用于支撑着基片Ｗ两端传送基片；传送辅助机构３，利用当前被传送辊２ａ支撑着的基片Ｗ下部的气体以非接触的方式来支撑着基片Ｗ，其中，传送辅助机构３包括：一些沿着基片Ｗ布置并具有预定长度的空气管３ａ；以及一些吹气孔３ｂ，被设置在所说的空气管３ａ中，所说的吹空气管３ａ是由能被紫外线穿过的透射性元件制成的。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种基片传送机构，在传送大尺寸的基片例如液晶板所用的大尺寸玻璃基片的同时，执行诸如利用发射紫外线来进行固化(curing work)的工作。
技术介绍
传统上，在对诸如用于液晶板的大尺寸玻璃基片进行暴光、显影和清洗处理之后进行的固化工作是通过从紫外线辐射装置把紫外线发射到基片表面上来进行的，同时对基片进行传送。在这些环境下，下面已知的传送机构被用作传送基片的传送机构。在传统的用于诸如液晶板所用的大尺寸玻璃基片的传送机构中，只通过设置在基片前进方向两端的众多导向辊的转动驱动来传送基片。因此，由于基片的重量大而使基片中间部分发生很大的弯曲，从而在传送时使基片的端面发生很大的晃动(振动)。这就造成这样的问题，即，不仅使基片的角部或端面受损(lacking)，而且还会使基片从传送机构掉落。作为防止基片掉落的对策，不仅可以在基片在前进方向上的两端设置许多导向辊，而且还可以在对应于基片中间部分(在两端的导向辊之间)的位置设置支撑辊，从而对这些辊进行转动驱动，从而对基片进行传送，并支撑着基片的中部，(同时也与基片是相接触的)。此外，也可以使用目前用于在JP-A-11-148902中公开的平的基片表面裂纹检测装置中的气体悬浮机构，不是利用支撑辊。这种气体悬浮机构包括一工作台，该工作台的表面上具有众多的吹气孔，这些吹气孔被布置在基片的下侧。于是，在利用压缩气体(与基片不接触)使基片悬浮起来的同时对基片进行传送。然而，在使用支撑辊的情况中，支撑辊与基片相接触，这会产生这样的问题，即，灰尘容易粘附到基片上，支撑辊也容易使基片产生裂纹或对基片造成损害。此外，当灰尘粘附到基片上时，或在基片上产生裂纹或对基片造成损害时，就会产生这样的危险，即，在这种基片的图案侧所形成的印刷布线图案(printed wiring pattern)就会发生断裂。此外，当它被用于通过紫外线辐射来进行固化工作时，在基片的背部，一些紫外线被支撑辊遮挡住，从而使有效的紫外线宽度不能均匀地被施用，于是就会产生辐射的不均匀性，这会导致固化不充分且不均匀。因此，为了对基片的下侧进行固化，需要把基片翻转过来，然后再次用紫外线照射，这样就会使固化工作变得复杂麻烦。因此，在使用支撑辊的情况中，基片两侧面的固化不能被同时进行。此外，利用悬浮机构，可以防止灰尘粘附到基片上，可以防止基片产生裂纹和损坏，这是因为基片与工作台不接触的缘故。然而，在基片下面，用于固化工作的紫外线被工作台遮挡住了，这与采用支撑辊的情况相似。因此，在基片的下侧会产生辐射不均匀，从而使得固化不充分且不均匀。于是，就需要翻转基片来固化，这就使得固化工作变得复杂起来。因此，在利用气体悬浮机构的情况中，基片两侧面的固化也不能被同时进行。
技术实现思路
于是，本专利技术旨在克服这些问题，并且本专利技术的目的是提供这样一种基片传送机构，在对基片进行固化时，这种基片传送机构能对基片进行稳定地传送，而且不会使基片掉落下来，并且灰尘也不会粘附到被传送的基片上，或者也不会在被传送的基片中产生裂纹和损坏。此外，本专利技术的目的还在于提供这样一种基片传送机构，这种基片传送机构能简单地利用光强度相同的紫外线对基片的两侧面同时进行固化。为了克服这些问题，本专利技术提出了一种用于紫外线辐射装置的基片传送机构，该紫外线辐射装置在传送期间把紫外辐射到基片表面上，这种基片传送机构包括传送辊(sending roller)，用于传送基片，并支撑着所说基片的两端；传送辅助机构，利用位于被该传送辊当前支撑着的基片的下部的气体以一种非接触的状态支撑着基片；所说传送辅助机构具有一些空气管，这些空气管被沿着所说基片布置，并具有预定的长度；一些吹气孔，这些吹气孔被设置在所说的这些空气管上，所说的空气管是由能让紫外线穿过的透射性元件(transmittance member)形成的。在上述结构中，从设置在空气管上的吹气孔排出的压缩气体吹着基片的下侧，以便使基片浮起，同时对基片进行传送。此外，从基片下侧辐射的紫外线可以被毫无遮挡地进行穿过。这就使得只通过对基片进行传送，就能把光强度相同的紫外线同时照射基片的两侧面。本专利技术进一步提出了这样一种基片传送机构，这种基片传送机构具有由石英玻璃(silica glass)制成的透射性元件。在上述结构中，由于石英玻璃良着良好的透射性，足以让紫外线毫无屏蔽地穿过。这就使得只通过对基片进行传送，就能够利用光强度相同的紫外线来同时照射基片的两侧。此外，由于石英玻璃的热膨胀系数小，并且由于通过从紫外线辐射装置发出的热量难以使其发生变形，因此用于排放压缩气体的空气管也不会发生变形。于是，压缩气体能被均匀地排放，基片的下侧面能被稳定地吹起。此外，由于石英玻璃不会因紫外线照射而发生恶化，因此，不会由空气管的退化而产生灰尘。本专利技术还提出了这样一种基片传送机构，这种基片传送机构配备有宽度可变机构部分，用于根据基片的尺寸大小来改变支撑着基片的传送辊的宽度间隔。利用上述结构，传送辊的间隔就根据基片的大小而改变，从而能实现稳定的传送，而不会使各种大小尺寸的基片从传送辊上掉落下来。附图说明图1是一平面图，表示出了利用本专利技术中的一基片传送机构的一紫外线辐射装置的主要部分。图2是图1的前视图。图3是图1的一个侧视图。图4A是本专利技术的一基片传送辅助机构的立体示意图。图4B是沿着线A-A所得的部分端视图。附图标记的说明1 紫外线辐射装置2 基片传送机构2a 传送辊2b 横梁2c 转动轴2d 链轮2e 硅树脂带 2f、2g、2h 感应电动机3 基片传送辅助机构3a 空气管3b 吹气孔4 紫外线辐射部分4a 紫外线灯5a、5b 开闭器6 宽度可变机构部分6a 汽缸6b 滑轨A 准备部分C 送出部分B 辐射部分SE1 传送位置传感器SE2，SE3传送位置传感器SE4，SE5传送位置传感器具体实施方式下面将结合附图来描述本专利技术的实施例。图1是一平面图，表示出了利用一基片传送机构的一紫外线辐射装置的主要部分。图2是图1的前视图。图3是图1的一个侧视图。图4A是基片传送辅助机构的立体示意图。图4B是沿着线A-A所得的部分端视图。如图1所示，基片传送机构2配备有一些传送辊2a，用于支撑着基片W两端来对基片W进行传送；传送辅助机构3，利用气体在当前由这些传送辊2a支撑着的基片W的下部以非接触的状态来支撑着基片W。此外，基片传送机构2被分成三个部分准备部分(stand-by part)A，在这部分处，紫外线未被发射；送出部分C；以及辐射部分B，在这部分处，紫外线被发射。准备部分A执行这样一个过程，即，基片W被载入到紫外线辐射部分4，这将在后面被描述。中间部分的辐射部分B通过把紫外线发射到基片W上来对基片W的两侧进行固化。送出部分C执行这样一个过程，即，基片W从紫外线辐射部分4被载运出。此外，在每个部分中设置传送位置传感器SE1(被安装在基片传送机构2的外部)、SE2、SE3、SE4和SE5，这些传感器从基片W的下侧对基片W的传送位置进行监测。这些传送位置传感器控制基片W的传送，检查基片W的传送位置，把一信号发送到开闭器5a和5b(见图2)，这些开闭器由一个设置在每个感应电动机2f、2g、2h入口侧的一汽缸机构来进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于紫外线辐射装置的基片传送机构，该紫外线辐射装置在传送期间把紫外辐射到基片表面上，所说的基片传送机构包括：传送辊，用于传送基片，并支撑着所说基片的两端；传送辅助机构，利用位于被所说传送辊支撑着的基片下部的气体以一种非接触的状态支撑着所说的基片；所说传送辅助机构具有：一些空气管，这些空气管被沿着所说基片布置，并具有预定的长度；以及一些吹气孔，这些吹气孔被设置在所说的这些空气管上，并且所说的空气管是由能让紫外线穿过的透射性元件制成的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下大树，大木智范，萩原慎二，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]