基片传送机构制造技术

本发明专利技术提供了一种基片传送机构，它能稳定地对基片进行传送而不会使基片掉落，而且在基片上不会粘附灰尘，不会使所传送的基片产生裂纹和损坏，此外，它还能在对基片进行固化时，简单地利用光强度相同的紫外线对基片两侧同时进行固化。基片传送机构２包括：一些传送辊２ａ，用于支撑着基片Ｗ两端传送基片；传送辅助机构３，利用当前被传送辊２ａ支撑着的基片Ｗ下部的气体以非接触的方式来支撑着基片Ｗ，其中，传送辅助机构３包括：一些沿着基片Ｗ布置并具有预定长度的空气管３ａ；以及一些吹气孔３ｂ，被设置在所说的空气管３ａ中，所说的吹空气管３ａ是由能被紫外线穿过的透射性元件制成的。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种基片传送机构，在传送大尺寸的基片例如液晶板所用的大尺寸玻璃基片的同时，执行诸如利用发射紫外线来进行固化(curing work)的工作。
技术介绍
传统上，在对诸如用于液晶板的大尺寸玻璃基片进行暴光、显影和清洗处理之后进行的固化工作是通过从紫外线辐射装置把紫外线发射到基片表面上来进行的，同时对基片进行传送。在这些环境下，下面已知的传送机构被用作传送基片的传送机构。在传统的用于诸如液晶板所用的大尺寸玻璃基片的传送机构中，只通过设置在基片前进方向两端的众多导向辊的转动驱动来传送基片。因此，由于基片的重量大而使基片中间部分发生很大的弯曲，从而在传送时使基片的端面发生很大的晃动(振动)。这就造成这样的问题，即，不仅使基片的角部或端面受损(lacking)，而且还会使基片从传送机构掉落。作为防止基片掉落的对策，不仅可以在基片在前进方向上的两端设置许多导向辊，而且还可以在对应于基片中间部分(在两端的导向辊之间)的位置设置支撑辊，从而对这些辊进行转动驱动，从而对基片进行传送，并支撑着基片的中部，(同时也与基片是相接触的)。此外，也可以使用目前用于在JP-A-11-148902本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于紫外线辐射装置的基片传送机构，该紫外线辐射装置在传送期间把紫外辐射到基片表面上，所说的基片传送机构包括：传送辊，用于传送基片，并支撑着所说基片的两端；传送辅助机构，利用位于被所说传送辊支撑着的基片下部的气体以一种非接触的状态支撑着所说的基片；所说传送辅助机构具有：一些空气管，这些空气管被沿着所说基片布置，并具有预定的长度；以及一些吹气孔，这些吹气孔被设置在所说的这些空气管上，并且所说的空气管是由能让紫外线穿过的透射性元件制成的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下大树，大木智范，萩原慎二，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]