下载基片传送机构的技术资料

文档序号:3730672

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本发明提供了一种基片传送机构,它能稳定地对基片进行传送而不会使基片掉落,而且在基片上不会粘附灰尘,不会使所传送的基片产生裂纹和损坏,此外,它还能在对基片进行固化时,简单地利用光强度相同的紫外线对基片两侧同时进行固化。基片传送机构2包括:一些...
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