反射镜调节装置及运动台系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种反射镜调节装置及运动台系统。该反射镜调节装置包括：安装件，用于连接反射镜；基座，被构造为与测量框架连接，基座与安装件连接；姿态调整结构，设置在安装件和基座之间，姿态调整结构相对于安装件沿预设方向可移动地设置，姿态调整结构的一端与基座上朝向安装件的表面抵接接触，以微调安装件和安装在其上的反射镜的倾斜度和俯仰角；预紧件，沿预设方向可移动地设置在安装件和基座上，预紧件用于保持姿态调整结构和基座之间的预紧力。本实用新型专利技术的技术方案的反射镜调节装置能够对反射镜的倾斜和俯仰角度进行调整。置能够对反射镜的倾斜和俯仰角度进行调整。置能够对反射镜的倾斜和俯仰角度进行调整。

【技术实现步骤摘要】
反射镜调节装置及运动台系统


[0001]本技术涉及微调设备
，具体而言，涉及一种反射镜调节装置及运动台系统。

技术介绍

[0002]在半导体运动台系统中，一般会采用激光干涉仪对运动台进行三个方向位置的精密测量，垂向(即Z轴，一般定义为投影物镜的光轴方向)的测量一般采用在运动台侧面安装45
°
反射镜，将激光干涉仪水平方向的光束反射到测量框架下的Z向反射镜上，再经过反射沿原光路返回，参考光束直接水平入射到运动台侧面反射镜直接返回干涉仪。为了保证运动台运动行程，Z向反射镜需要设计成具有足够长度的长条反射镜。由于在光路中测量光束的光程很长，测量光束照射在Z向反射镜上需满足绝对垂直入射，才能够实现测量光束的原路返回。因此需要设计一种能够对反射镜Rx和Ry方向的姿态进行精确调整的结构。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种反射镜调节装置及运动台系统，该反射镜调节装置能够对反射镜的倾斜和俯仰角度进行调整。
[0004]为了实现上述目的，根据本技术的一方面，提供了一种反射镜调节装置，包括：安装件，用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反射镜调节装置，其特征在于，包括：安装件(13)，用于连接反射镜(11)；基座(12)，被构造为与测量框架连接，所述基座(12)与所述安装件(13)连接；姿态调整结构，设置在所述安装件(13)和所述基座(12)之间，所述姿态调整结构相对于所述安装件(13)沿预设方向可移动地设置，所述姿态调整结构的一端与所述基座(12)上朝向所述安装件(13)的表面抵接接触，以微调所述安装件(13)和安装在其上的所述反射镜(11)的倾斜度和俯仰角；预紧件(19)，沿所述预设方向可移动地设置在所述安装件(13)和所述基座(12)上，所述预紧件(19)用于保持所述姿态调整结构和所述基座(12)之间的预紧力。2.根据权利要求1所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述姿态调整结构包括至少两个主调件(18)和至少一个随调件(17)，至少两个所述主调件(18)和至少一个所述随调件(17)间隔布置且不在一条直线上，所述安装件(13)上设有至少两个第一连接孔和至少一个第二连接孔，至少两个所述第一连接孔与至少两个所述主调件(18)一一对应设置，至少一个所述第二连接孔与至少一个所述随调件(17)一一对应设置，所述主调件(18)与所述第一连接孔螺纹连接，且所述主调件(18)朝向所述基座(12)的一端与所述基座(12)的表面抵接，所述随调件(17)与所述第二连接孔螺纹连接，且所述随调件(17)朝向所述基座(12)的一端与所述基座(12)的表面抵接。3.根据权利要求2所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述基座(12)包括两个调整座(22)和一个固定座(21)，一个所述调整座(22)相对于所述固定座(21)沿X方向布置，另一个所述调整座(22)相对于所述固定座(21)沿Y方向布置，两个所述调整座(22)和一个所述固定座(21)形成三角形结构；所述调整座(22)与所述主调件(18)一一对应设置，所述固定座(21)与所述随调件(17)对应设置，所述主调件(18)朝向所述基座(12)的一端与所述调整座(22)的表面抵接，所述随调件(17)朝向所述基座(12)的一端与所述固定座(21)的表面抵接；和/或，所述主调件(18)和所述随调件(17)分别与所述基座(12)的表面点接触。4.根据权利要求2所述的反射镜调节装置，其特征在于，所述主调件(18)和所述随调件(17)上朝向所述基座(12)的一端均设有凸球面；所述主调件(18)的数量为两个，所述基座(12)...

【专利技术属性】
技术研发人员：周羽，张晨，江旭初，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：