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本实用新型提供了一种反射镜调节装置及运动台系统。该反射镜调节装置包括：安装件，用于连接反射镜；基座，被构造为与测量框架连接，基座与安装件连接；姿态调整结构，设置在安装件和基座之间，姿态调整结构相对于安装件沿预设方向可移动地设置，姿态调整结构...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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