一种射频电缆的保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种射频电缆保护装置，包括：环形固定部、支撑部以及多个锁紧件，其中，环形固定部可松紧地环绕固定于射频电缆的第一端部；支撑部沿环形固定部的轴向延伸并连接于环形固定部；多个锁紧件间隔设置在支撑部上，当射频电缆部分放置在支撑部上时，通过多个锁紧件将射频电缆紧固于支撑部上。本实用新型专利技术通过在射频电缆上设置保护装置，通过固定部将装置固定在电缆上，使用具有一定硬度和韧度的支撑部，在反应腔移动过程中，既可以保障各部件的正常运行，还可以保护射频电缆在其移动方向上不发生高频弯折从而导致损坏。方向上不发生高频弯折从而导致损坏。方向上不发生高频弯折从而导致损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种射频电缆的保护装置


[0001]本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种射频电缆的保护装置。

技术介绍

[0002]半导体芯片被日益广泛的应用到各种电子设备中，在半导体器件的制造过程中，等离子体刻蚀是将晶圆加工成设计图案的关键工艺，等离子体刻蚀工艺需要用到等离子体处理装置，这些处理装置会对待处理的基片进行等离子刻蚀、化学气相沉积等工艺。在典型的等离子体刻蚀工艺中，工艺气体在反应腔内在射频(Radio Frequency，RF)激励作用下形成等离子体。这些等离子体与晶圆表面发生物理轰击作用及化学反应，从而刻蚀出具有特定结构的晶圆。
[0003]等离子处理装置包括反应腔，反应腔内底部包括用于支撑待处理晶圆的基座，基座内包括下电极，与基座相对的反应腔上方包括上电极，至少一个射频电源通过匹配器和一根射频电缆连接到下电极，然而在处理过程中由于腔体高频移动导致射频电缆时常发生弯折从而易损坏，从而导致机台射频异常。
[0004]因此存在对射频电缆的保护装置改进的需求。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术实施例的目的在于提出一种射频电缆的保护装置，通过保护装置固定支撑射频电缆，在反应腔移动过程中，有效保护射频电缆在反应腔移动方向上不发生弯折。
[0006]基于上述目的，本技术实施例的提供了射频电缆的保护装置，其中，射频电缆的第一端部连接至反应腔，第二端部连接至电源装置，其特征在于，该保护装置包括：
[0007]环形固定部，环形固定部可松紧地环绕固定于射频电缆的第一端部；/>[0008]支撑部，支撑部沿环形固定部的轴向延伸并连接于环形固定部；
[0009]多个锁紧件，多个锁紧件间隔设置在支撑部上，当射频电缆部分放置在支撑部上时，通过多个锁紧件将射频电缆紧固于支撑部上。
[0010]在一些实施方式中，支撑部沿环形固定部的轴向延伸长度为射频电缆的长度的1/4～1/2。
[0011]在一些实施方式中，支撑部为不锈钢板，不锈钢板的厚度为2mm，宽度为10mm。
[0012]在一些实施方式中，支撑部端部倒角处理。
[0013]在一些实施方式中，支撑部的端部设置有塑胶层。
[0014]在一些实施方式中，环形固定部为卡箍件。
[0015]在一些实施方式中，锁紧件为锁线器。
[0016]本技术至少具有以下有益技术效果：
[0017]本技术通过在射频电缆上设置保护装置，通过固定部将装置固定在电缆上，使用具有一定硬度和韧度的支撑部，在反应腔移动过程中，既可以保障各部件的正常运行，
还可以保护射频电缆在其移动方向上不发生高频弯折从而导致损坏。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。
[0019]图1为本技术提供的射频电缆保护装置的实施例的示意图。
具体实施方式
[0020]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术实施例进一步详细说明。
[0021]除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本技术
的技术人员通常理解的含义相同；本文在说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术，例如，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。
[0022]本技术的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；本技术的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0023]本技术的说明书和权利要求书及上述附图说明中，当元件被称为“固定于”或“安装于”或“设置于”或“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接位于该另一个元件上。例如，当一个元件被称为“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接连接到该另一个元件上。
[0024]此外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0025]如图1所示为本技术提供的射频电缆保护装置的实施例的示意图，射频电缆的第一端部连接至反应腔，第二端部连接至电源装置，该保护装置包括：
[0026]环形固定部1，环形固定部1可松紧地环绕固定于射频电缆的第一端部；
[0027]支撑部2，支撑部2沿环形固定部的轴向延伸并连接于环形固定部1；
[0028]多个锁紧件3，多个锁紧件3间隔设置在支撑部2上，当射频电缆部分放置在支撑部2上时，通过多个锁紧件3将射频电缆紧固于支撑部2上。
[0029]进一步地，支撑部2沿环形固定部1的轴向延伸长度为射频电缆的长度的1/4～1/2，在一些优选的实施例中，支撑部2沿环形固定部1的轴向延伸长度为射频电缆的长度为180mm。
[0030]进一步地，在一些实施例中，支撑部2为不锈钢板，不锈钢板的厚度为2mm，宽度为
10mm，支撑部2端部倒角处理，支撑部的端部设置有塑胶层4，塑胶层4的设置一方面可以防止支撑部2划伤电缆，另一方面，在人员安装保护装置的过程中，防止划伤人员。
[0031]进一步地，环形固定部1为卡箍件，其直径与射频电缆适配，在优选的实施例中，卡箍件的直径为20mm，宽度为10mm，在射频电缆的第一端部具有金属端口，将卡箍件固定在金属端口处以固定保护装置。
[0032]进一步地，锁紧件3为锁线器，将射频电缆放置在支撑部2上，通过多个锁线器将射频电缆和支撑部锁紧。
[0033]以上是本技术公开的示例性实施例，但是应当注意，在不背离权利要求限定的本技术实施例公开的范围的前提下，可以进行多种改变和修改。此外，尽管本技术实施例公开的元素可以以个体形式描述或要求，但除非明确限制为单数，也可以理解为多个。
[0034]应当理解的是，在本文中使用的，除非上下文清楚地支持例外情况，单数形式“一个”旨在也包括复数形式。还应当理解的是，在本文中使用的“和/或”是指包括一个或者一个以上相关联地列出的项目的任意和所有可能组合。
[0035]上述本技术实施例公开实施例序号仅仅为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种射频电缆的保护装置，所述射频电缆的第一端部连接至反应腔，第二端部连接至电源装置，其特征在于，包括：环形固定部，所述环形固定部可松紧地环绕固定于所述射频电缆的第一端部；支撑部，所述支撑部沿所述环形固定部的轴向延伸并连接于所述环形固定部；多个锁紧件，所述多个锁紧件间隔设置在所述支撑部上，当所述射频电缆部分放置在所述支撑部上时，通过所述多个锁紧件将所述射频电缆紧固于所述支撑部上。2.根据权利要求1所述的射频电缆的保护装置，其特征在于，所述支撑部沿所述环形固定部的轴向延伸长度为所述射...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪金金，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：