【技术实现步骤摘要】
耐腐蚀薄膜及其制备方法和应用
[0001]本专利技术涉及装饰镀
,尤其是涉及一种耐腐蚀薄膜及其制备方法和应用。
技术介绍
[0002]PVD镀膜通常分为蒸发镀、溅射镀、离子镀三种技术。蒸发镀由于存在粒子能量通常较低、高熔点膜料蒸发困难、薄膜绕射性能较差等缺点,导致很难保证立体工件各个面膜厚均匀,沉积的薄膜通常满足不了装饰镀领域要求的颜色一致、耐磨、抗刮伤、防腐的要求;离子镀靶材或者膜料的离化率较高,但现有的离子镀技术沉积速率较低、设备结构相对复杂,满足不了装饰镀领域的制造成本要求;磁控溅射镀膜是溅射镀方式的一种,可以用来制备膜层致密、耐刮伤、抗腐蚀、膜基附着力好等性能优异的涂层。另外,磁控溅射镀膜是一种节能环保的镀膜技术,整个成膜过程在真空条件下通过靶材溅射沉积完成,对环境无污染,所以磁控溅射是装饰镀领域应用最广的一种PVD镀膜技术。
[0003]黑色色调具有稳重、低调、富有科技感等视觉特点,所以比较受客户和市场的青睐,通常用不同比例的Ti、Cr、W单质金属或合金靶材与C2H2和/或CH4进行反应磁控溅射制备, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.耐腐蚀薄膜,其特征在于,所述薄膜包括:基材;设置于所述基材的一侧上的打底层;设置于所述打底层上的过渡层;以及设置于所述过渡层上的颜色层;所述打底层为Cr层、Ti层或TiCr层;所述过渡层为SiCrC层或SiTiC层;所述颜色层为WC层。2.根据权利要求1所述的耐腐蚀薄膜,其特征在于,所述过渡层与所述颜色层之间设置有颜色衔接层;所述颜色衔接层为CrWC层或TiWC层。3.根据权利要求1所述的耐腐蚀薄膜,其特征在于,所述WC层是采用跳气模式沉积得到的。4.根据权利要求1所述的耐腐蚀薄膜,其特征在于,所述SiCrC层包括交替层叠设置的CrC层和SiC层;所述SiTiC层包括交替层叠设置的TiC层和SiC层。5.根据权利要求2所述的耐腐蚀薄膜,其特征在于,所述打底层的厚度为0.1~0.3μm;所述过渡层的厚度为0.6~1μm;所述颜色衔接层的厚度为0.1~0.5μm;所述颜色层的厚度为0.04~0.06μm。6.根据权利要求1所述的耐腐蚀薄膜,其特征在于,...
【专利技术属性】
技术研发人员:段新超,王金振,郭林生,王强,熊汤华,
申请(专利权)人:维达力实业深圳有限公司,
类型:发明
国别省市:
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