【技术实现步骤摘要】
一种钼靶空心管坯输送装置
[0001]本技术涉及钼靶材加工设备
,具体为一种钼靶空心管坯输送装置。
技术介绍
[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。钼靶材广泛用于导电玻璃、STN/TN/TFT
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LCD、光学玻璃、离子镀膜等行业,适用所有平面镀膜及旋转镀膜系统。钼靶材加工步骤按顺序依次包括:钼粉筛分、不同批次钼粉混料合批、等静压成型、烧结、挤压机挤压、退火炉退火、精整矫直、超声波探伤、合格管坯成品加工、真空包装。
[0003]烧结后的空心管坯在工频感应烧结炉中加热至1300℃
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1400℃后送至挤压机中挤压,在该过程中,人工推出用于放置空心管坯的推车时,需要人工通过夹具将推车上的空心管坯转移到送料机构上;在该过程中,由于空心管坯温度较高,工人用力过大则容易导致空心管坯发生形变;力度过小则空心管坯容易从夹具中脱落,导致空心管坯损坏,不方便操作;目前,没有专门的输送转移设备对加热保温后的空心管坯进行 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种钼靶空心管坯输送装置,包括支撑架(1)、水平板(2)和导流板(3),其特征在于:所述水平板(2)活动安装在支撑架(1)的顶部,所述水平板(2)靠近导流板(3)的一侧设有转轴(22),所述导流板(3)靠近水平板(2)的一端设有转动设置在转轴(22)上的套筒(31),所述支撑架(1)的内部下端转动设置有伸缩件,且伸缩件的顶部与导流板(3)的底部转动连接。2.根据权利要求1所述的钼靶空心管坯输送装置,其特征在于:所述水平板(2)远离导流板(3)一侧的底部设有与支撑架(1)转动连接的铰接座(21)。3.根据权利要求1所述的钼靶空心管坯输送装置,其特征在于:所述导流板(3)远离水平板(2)的一侧设有接引板(33)。4....
【专利技术属性】
技术研发人员:邓德翼,王德建,邓锐,李德华,黄飞虎,单鹏,
申请(专利权)人:洛阳汇晶新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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