一种模块综测校准机制造技术

本发明专利技术公开了一种模块综测校准机，包括：进料机构，用于输送待测试芯片；多个屏蔽测试机构，沿所述进料机构的进料方向分别设置于所述进料机构的两侧；所述屏蔽测试机构包括用于进行芯片测试的测试工装以及用于屏蔽干扰信号的屏蔽箱，所述测试工装设置于所述屏蔽箱内；至少一个抓取机构，设置于所述进料机构的上方，所述抓取机构包括驱动连接的第一移动组件和机械手，所述机械手可在所述第一移动组件的驱动下从所述进料机构上抓取所述待测试芯片，并分别移送至所述进料机构两侧的所述屏蔽测试机构进行测试。本发明专利技术实施例的技术方案可以提高芯片功能检测的检测效率，并保证检测结果的准确性。果的准确性。果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种模块综测校准机


[0001]本专利技术涉及芯片检测设备
，特别涉及一种模块综测校准机。

技术介绍

[0002]芯片在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并通常制造在半导体晶圆表面上。芯片在完成程序下载后，需要对芯片的一些功能进行检测校准。在目前的技术方案中，通过机械手将待测试芯片放置在预先设定的电路板上，以确定待测试芯片功能是否正常，然而芯片功能检测需要持续一定时间，检测效率较低，并且容易被周围的信号干扰，影响检测结果的准确性。由此，如何提高芯片功能检测的检测效率，并保证检测结果的准确性成为了亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少在一定程度上解决上述技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的目的在于提出一种模块综测校准机。
[0004]为达到上述目的，本专利技术的实施例提出了一种模块综测校准机，包括：
[0005]进料机构，用于输送待测试芯片；
[0006]多个屏蔽测试机构，沿所述进料机构的进料方向分别设置于所述进料机构的两侧；所述屏蔽测试机构包括用于进行芯片测试的测试工装以及用于屏蔽干扰信号的屏蔽箱，所述测试工装设置于所述屏蔽箱内；
[0007]至少一个抓取机构，设置于所述进料机构的上方，所述抓取机构包括驱动连接的第一移动组件和机械手，所述机械手可在所述第一移动组件的驱动下从所述进料机构上抓取所述待测试芯片，并分别移送至所述进料机构两侧的屏蔽测试机构进行测试。
[0008]根据本专利技术实施例的模块综测校准机，进料机构用于输送待测试芯片，多个屏蔽测试机构设置于进料机构的两侧，该屏蔽测试机构包括屏蔽箱以及设置于屏蔽箱内的测试工装，从而可以屏蔽外部的干扰信号，保证芯片功能检测结果的准确性。抓取机构设置于进料机构的上方，其可以从进料机构上抓取待测试芯片，并分别移送至进料机构两侧的屏蔽测试机构进行测试，由此可以提高芯片功能的检测效率。
[0009]另外，根据本专利技术上述实施例提出的一种模块综测校准机，还可以具有如下附加的技术特征：
[0010]可选地，所述第一移动组件包括第一滑轨、第一滑块以及第一驱动件，所述第一滑轨横设于所述进料机构的上方，所述第一驱动件可驱动所述第一滑块在所述第一滑轨上往复运动；所述机械手与所述第一滑块相连接，且包含多个吸嘴升降组。
[0011]可选地，所述抓取机构还包括第二移动组件；所述第二移动组件包括第二驱动件以及两对相配合的第二滑轨和第二滑块，两个所述第二滑轨沿所述进料方向分别设置于所述进料机构的两侧，所述第一滑轨架设于两个所述第二滑块上，所述第二驱动件可驱动所述第二滑块沿所述第一滑轨往复运动。
[0012]可选地，所述屏蔽箱包括上盖以及壳体，所述上盖与所述壳体形成一容纳腔；所述屏蔽箱还包括驱动连接的抬升组件和推送组件，所述抬升组件与所述上盖相连接，用于抬升所述上盖，所述推送组件可在所述上盖抬升时，带动所述抬升组件进而带动所述上盖离开所述壳体的上方。
[0013]可选地，所述抬升组件包括设置于所述上盖两侧的两个第三驱动件，所述第三驱动件的驱动端与所述上盖连接；所述推送组件包括第四驱动件以及设置于所述壳体两侧的两对相配合的第三滑轨和第三滑块，所述第三驱动件的固定端与所述第三滑块相连接，所述第四驱动件可驱动所述第三滑块沿所述第三滑轨往复运动。
[0014]可选地，所述屏蔽箱还包括两个缓冲组件，所述缓冲组件包括缓冲器以及安装板，所述安装板设置于所述第三滑轨远离所述第三驱动件的一端，所述缓冲器设置于所述安装板上且朝向所述第三滑块设置。
[0015]可选地，还包括可扩展框架，所述进料机构、所述屏蔽测试机构以及所述抓取机构设置于所述可扩展框架内。
[0016]可选地，所述可扩展框架包括第一框架以及设置于所述第一框架两侧的第二框架，所述进料机构以及所述抓取机构设置于所述第一框架内，所述屏蔽测试机构设置于所述第二框架内，所述第一框架和所述第二框架之间可拆卸连接。
[0017]可选地，所述测试工装包括底板、针板固定架、压紧机构、滑动机构及电池降压模块，所述针板固定块架设在所述底板上，所述针板固定架用于电路板安装，所述电路板上具有供芯片安装的位置，所述滑动机构设置在底板上，所述压紧机构设置在所述滑动机构上，所述压紧机构用以压紧芯片，所述限位块设置在所述底板上以对所述压紧机构进行限位，所述电池降压模块设置在所述底板上。
[0018]可选地，还包括视觉定位机构，用于对所述进料机构上的待测试芯片进行定位，所述视觉定位机构包括定位板、相机支架、相机护罩以及相机，所述相机支架设置于所述定位板上，所述定位板上开设有通孔，所述相机设置在所述相机支架上且与所述通孔向对应，所述相机护罩设置于所述相机的外周。
附图说明
[0019]图1为根据本专利技术一个实施例的模块综测校准机的结构示意图；
[0020]图2为图1所示模块综测校准机的另一视角的结构示意图；
[0021]图3为根据本专利技术一个实施例的抓取机构的结构示意图；
[0022]图4为根据本专利技术一个实施例的屏蔽箱的结构示意图。
[0023]标号说明：进料机构100；屏蔽测试机构200；抓取机构300；第一滑轨311；第一滑块312；机械手320；第二滑轨332；第二滑块333；上盖221；壳体222；第三驱动件223；第四驱动件224
‑
A；第三滑轨224
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B；第三滑块224
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C；缓冲组件225；缓冲器225
‑
A；安装板225
‑
B；可扩展框架400；第一框架410；第二框架420；视觉定位机构500。
具体实施方式
[0024]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附
图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0025]本专利技术提供的一种模块综测校准机，通过进料机构用于输送待测试芯片，多个屏蔽测试机构设置于进料机构的两侧，该屏蔽测试机构包括屏蔽箱以及设置于屏蔽箱内的测试工装，从而可以屏蔽外部的干扰信号，保证芯片功能检测结果的准确性。抓取机构设置于进料机构的上方，其可以从进料机构上抓取待测试芯片，并分别移送至进料机构两侧的屏蔽测试机构进行测试，由此可以提高芯片功能的检测效率。
[0026]为了更好的理解上述技术方案，下面将参照附图更详细地描述本专利技术的示例性实施例。虽然附图中显示了本专利技术的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本专利技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本专利技术，并且能够将本专利技术的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0027]为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体地实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
[0028]请参考图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种模块综测校准机，其特征在于，包括：进料机构，用于输送待测试芯片；多个屏蔽测试机构，沿所述进料机构的进料方向分别设置于所述进料机构的两侧；所述屏蔽测试机构包括用于进行芯片测试的测试工装以及用于屏蔽干扰信号的屏蔽箱，所述测试工装设置于所述屏蔽箱内；至少一个抓取机构，设置于所述进料机构的上方，所述抓取机构包括驱动连接的第一移动组件和机械手，所述机械手可在所述第一移动组件的驱动下从所述进料机构上抓取所述待测试芯片，并分别移送至所述进料机构两侧的所述屏蔽测试机构进行测试。2.如权利要求1所述的模块综测校准机，其特征在于，所述第一移动组件包括第一滑轨、第一滑块以及第一驱动件，所述第一滑轨横设于所述进料机构的上方，所述第一驱动件可驱动所述第一滑块在所述第一滑轨上往复运动；所述机械手与所述第一滑块相连接，且包含多个吸嘴升降组。3.如权利要求2所述的模块综测校准机，其特征在于，所述抓取机构还包括第二移动组件；所述第二移动组件包括第二驱动件以及两对相配合的第二滑轨和第二滑块，两个所述第二滑轨沿所述进料方向分别设置于所述进料机构的两侧，所述第一滑轨架设于两个所述第二滑块上，所述第二驱动件可驱动所述第二滑块沿所述第一滑轨往复运动。4.如权利要求1所述的模块综测校准机，其特征在于，所述屏蔽箱包括上盖以及壳体，所述上盖与所述壳体形成一容纳腔；所述屏蔽箱还包括驱动连接的抬升组件和推送组件，所述抬升组件与所述上盖相连接，用于抬升所述上盖，所述推送组件可在所述上盖抬升时，带动所述抬升组件进而带动所述上盖离开所述壳体的上方。5.如权利要求4所述的模块综测校准机，其特征在于，所述抬升组件包括设置于所述上盖两侧的两个第三驱动件，所述第三驱动件的驱动端与所述上盖连接；所述推送组件包括第四驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：李振果，李辉，高炳程，刘东辉，蔡跃祥，罗添仁，
申请(专利权)人：厦门宏泰智能制造有限公司，
类型：发明
国别省市：