【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在多个电极上施行镀敷的。
技术介绍
伴随半导体元件的高度集成化,搭载半导体元件的电路装置的多管脚化高速发展。作为集成电路用组件的多管脚化对策,在现有的电路装置中,外部引线间隙从0.65mm缩小到0.5mm左右。通过半导体元件的高集成化、多功能化寻求500~1000管脚左右的半导体元件的组件。另外,目前为保护电子部件用衬底的金属部分,或使其和其它电子部件容易接合接合,而在金属部分的特定位置部分地施行镀敷。这样的镀敷的种类多种多样,但可列举具有代表性的湿式电镀及无电解镀敷。一般的,电镀比无电解镀敷可以形成更牢固的镀膜。另外,为进行电镀,必须使被镀敷部件通电。参照图7说明现有的安装衬底及电路装置。图7(A)是电路装置100的剖面图,图7(B)是其背面图(参照专利文献1)。参照图7(A),在由玻璃环氧树脂等构成的安装衬底101的上面形成由铜箔等构成的电极104。在安装衬底101背面形成背面电极105,并利用通孔106和电极104连接。另外,利用镀膜109覆盖电极104及背面电极105。在此,考虑作为焊盘的电极104的接合性,利用电镀形成镀膜109。作为半 ...
【技术保护点】
一种安装衬底的制造方法,其特征在于,其包括:在安装衬底上形成由镀线电连接的多个电极的工序;通过介由所述镀线向所述电极通电,利用电镀在所述电极上覆盖镀膜的工序;通过分断所述镀线,将各个所述电极电分离的工序。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:三田清志,
申请(专利权)人:三洋电机株式会社,关东三洋半导体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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